本發(fā)明公開(kāi)了一種檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法，該檢測(cè)設(shè)備包括檢測(cè)組件和驅(qū)動(dòng)組件；本發(fā)明中設(shè)置有至少兩排檢測(cè)單元，所有檢測(cè)單元沿第一方向和第二方向排列形成矩陣結(jié)構(gòu)，當(dāng)檢測(cè)工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)待測(cè)物或檢測(cè)組件至少一者沿第一方向或第二方向至少一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)這樣可以利用各檢測(cè)單元對(duì)待測(cè)物表面的不同區(qū)域進(jìn)行掃描，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)整個(gè)表面的掃描，即本發(fā)明中待檢測(cè)物表面的掃描是通過(guò)多個(gè)檢測(cè)單元共同完成的，與僅設(shè)置一個(gè)光路組件對(duì)檢測(cè)面進(jìn)行掃描相比，本發(fā)明所提供的檢測(cè)設(shè)備通過(guò)至少四個(gè)檢測(cè)單元對(duì)待測(cè)物表面不同區(qū)域進(jìn)行同時(shí)掃描，大大提高了對(duì)待測(cè)表面的檢測(cè)效率，并且該方式成像質(zhì)量也相對(duì)比較高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法。

背景技術(shù)

當(dāng)前半導(dǎo)體晶圓表面質(zhì)量的檢測(cè)通常使用光學(xué)檢測(cè)裝置。光學(xué)檢測(cè)裝置通常包括光源和物鏡，光源用于照亮被檢測(cè)晶圓的部分區(qū)域，晶圓反射的光線(xiàn)部分經(jīng)過(guò)物鏡傳導(dǎo)至相機(jī)等部件以獲取晶圓部分區(qū)域的圖像，進(jìn)而分析晶圓該部分區(qū)域的質(zhì)量。通過(guò)移動(dòng)被檢測(cè)晶圓或者光學(xué)檢測(cè)裝置的位置以實(shí)現(xiàn)晶圓整個(gè)區(qū)域的檢測(cè)。

在晶圓的檢測(cè)過(guò)程中，如何盡量提高晶圓的檢測(cè)速度，這是本領(lǐng)域內(nèi)技術(shù)人員始終關(guān)注的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的為提供一種能夠提高檢測(cè)速度的檢測(cè)設(shè)備及檢測(cè)方法。

本發(fā)明提供了一種檢測(cè)設(shè)備，包括檢測(cè)組件，所述檢測(cè)組件包括至少兩排檢測(cè)單元，不同排檢測(cè)單元在待測(cè)物表面的視場(chǎng)區(qū)沿第一方向排列，每排檢測(cè)單元包括至少兩個(gè)檢測(cè)單元，每排的檢測(cè)單元在待測(cè)物表面形成的視場(chǎng)區(qū)沿第二方向排列，所述檢測(cè)單元用于對(duì)待測(cè)物進(jìn)行檢測(cè)；所述第二方向垂直于所述第一方向；

驅(qū)動(dòng)組件，被配置為驅(qū)動(dòng)待測(cè)物沿第一方向和/或第二方向移動(dòng)，或者驅(qū)動(dòng)所述檢測(cè)組件整體沿第一方向和/或第二方向移動(dòng)。

本發(fā)明中設(shè)置有至少兩排檢測(cè)單元，所有檢測(cè)單元沿第一方向和第二方向排列形成矩陣結(jié)構(gòu)，當(dāng)檢測(cè)工作時(shí)，驅(qū)動(dòng)組件能夠驅(qū)動(dòng)待測(cè)物或檢測(cè)組件至少一者沿第一方向或第二方向至少一個(gè)方向運(yùn)動(dòng)這樣可以利用各檢測(cè)單元對(duì)待測(cè)物表面的不同區(qū)域進(jìn)行掃描，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)整個(gè)表面的掃描，即本發(fā)明中待檢測(cè)物表面的掃描是通過(guò)多個(gè)檢測(cè)單元共同完成的，與僅設(shè)置一個(gè)光路組件對(duì)檢測(cè)面進(jìn)行掃描相比，本發(fā)明所提供的檢測(cè)設(shè)備通過(guò)至少四個(gè)檢測(cè)單元對(duì)待測(cè)物表面不同區(qū)域進(jìn)行同時(shí)掃描，大大提高了對(duì)待測(cè)表面的檢測(cè)效率，并且該方式成像質(zhì)量也相對(duì)比較高。

可選的，每一所述檢測(cè)單元包括光路組件和探測(cè)部件；

所述光路組件，用于將光源發(fā)出的光線(xiàn)傳導(dǎo)至待測(cè)物表面的檢測(cè)區(qū)域并將所述檢測(cè)區(qū)域所形成的信號(hào)光傳導(dǎo)至所述探測(cè)部件；

所述探測(cè)部件，用于根據(jù)所述信號(hào)光對(duì)所述檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行檢測(cè)；

檢測(cè)工作時(shí)，各所述檢測(cè)單元的掃描范圍至少部分不重合。

可選的，鄰兩排所述光路組件的視場(chǎng)區(qū)間距相等，且相鄰兩排所述視場(chǎng)區(qū)間距為L(zhǎng)/N，每一排所述視場(chǎng)區(qū)的數(shù)量為M個(gè)，同一排中相鄰所述視場(chǎng)區(qū)的間距為S/M，其中L為沿第一方向檢測(cè)面的最大尺寸，S為沿垂直于所述第一方向所述待測(cè)物表面的最大尺寸。

可選的，所述探測(cè)部件包括：管鏡和探測(cè)器，所述管鏡用于使所述信號(hào)光匯聚至所述探測(cè)器；

各所述探測(cè)部件的光軸均平行于所述待測(cè)物表面的檢測(cè)面，并且各所述探測(cè)部件的光軸位于同一水平面內(nèi)；

或者/和，部分所述探測(cè)部件的光軸平行于所述待測(cè)物表面的檢測(cè)面，并且各所述相機(jī)的光軸位于同一水平面內(nèi)，部分所述探測(cè)部件的光軸垂直于所述檢測(cè)面。

可選的，所述光路組件通過(guò)光纖與所述光源連接；