[發明專利]一種檢測設備及檢測方法在審
| 申請號： | 202110352735.0 | 申請日： | 2021-03-31 |
| 公開（公告）號： | CN113075232A | 公開（公告）日： | 2021-07-06 |
| 發明（設計）人： | 陳魯;楊樂;張嵩 | 申請（專利權）人： | 深圳中科飛測科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/95 | 分類號： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知識產權代理有限公司 11227 | 代理人： | 李帶娣 |
| 地址： | 518110 廣東省深圳市龍華區大浪街*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 設備 方法 | ||
1.檢測設備，其特征在于，包括檢測組件，所述檢測組件包括至少兩排檢測單元，不同排檢測單元在待測物表面的視場區沿第一方向排列，每排檢測單元包括至少兩個檢測單元，每排的檢測單元在待測物表面形成的視場區沿第二方向排列，所述檢測單元用于對待測物進行檢測；所述第二方向垂直于所述第一方向；
驅動組件，被配置為驅動待測物沿第一方向和/或第二方向移動，或者驅動所述檢測組件整體沿第一方向和/或第二方向移動。
2.如權利要求1所述的檢測設備，其特征在于，每一所述檢測單元包括光路組件(10)和探測部件(20)；
所述光路組件(10)，用于將光源發出的光線傳導至待測物表面的檢測區域并將所述檢測區域所形成的信號光傳導至所述探測部件(20)；
所述探測部件(20)，用于根據所述信號光對所述檢測區域進行檢測；
檢測工作時，各所述檢測單元的掃描范圍至少部分不重合。
3.如權利要求2所述的檢測設備，其特征在于，各所述檢測單元的光路組件(10)的光出射口(10a)位于所述待測物表面的同一側，并且沿第一方向各所述光出射口(10a)形成多排，每一排具有至少兩個間隔布置的所述光出射口(10a)，由所述檢測區域反射的信號光經所述光出射口(10a)后進入所述探測部件(20)。
4.如權利要求2所述的檢測設備，其特征在于，相鄰兩排所述光路組件(10)的視場區間距相等，且相鄰兩排所述視場區間距為L/N，每一排所述視場區的數量為M個，同一排中相鄰所述視場區的間距為S/M，其中L為沿第一方向檢測面的最大尺寸，S為沿垂直于所述第一方向所述待測物表面的最大尺寸。
5.如權利要求2所述的檢測設備，其特征在于，所述探測部件(20)包括：管鏡和探測器，所述管鏡用于使所述信號光匯聚至所述探測器；
各所述探測部件(20)的光軸均平行于所述待測物表面，并且各所述探測部件(20)的光軸位于同一水平面內；
或者/和，部分所述探測部件(20)的光軸平行于所述待測物表面，并且該部分所述探測部件(20)的光軸位于同一水平面內，部分所述探測部件(20)的光軸垂直于所述待測物表面。
6.如權利要求2或5所述的檢測設備，其特征在于，所述光路組件(10)通過光纖與所述光源連接；
所述光路組件的光軸垂直所述待測物表面；所述光路組件包括：分束器和物鏡；所述分束器，用于使光源發出的光透過至所述物鏡，所述物鏡還用于收集由待測物表面返回的信號光，并傳送至所述分束器，所述分束器還用于使所述物鏡收集的所述信號光反射至所述探測部件(20)。
7.如權利要求6所述的檢測設備，其特征在于，所述光路組件還包括：與光源連接的準直組件，用于對光源發出的光進行準直；所述分束器接收經所述準直組件準直的光；位于所述光源和物鏡之間光路上的濾波器組件，所述濾波組件包括一個或多個光闌。
8.如權利要求2所述的檢測設備，其特征在于，所述光路組件(10)通過光纖與所述光源連接；
所述光路組件(10)包括：分束器(13)和物鏡(14)；所述光路組件(10)位于光源和所述分束器(13)之間的光軸平行于所述待測物表面；所述分束器，用于使光源發出的光反射至所述物鏡(14)，所述物鏡(14)還用于收集由待測物表面返回的信號光，并傳送至所述分束器(13)，部分探測部件(20)中的為第一探測部件(20’)，部分為探測部件(20)第二探測部件(20”)，所述第二探測部件(20”)的光軸垂直于所述待測物表面，其中所述第一探測部件(20’)還包括反射件，所述分束器(13)還用于使所述物鏡收集的所述信號光透射至所述第二探測部件(20”)，或者還用于使所述物鏡收集的所述信號光透射至所述反射件，所述反射件將所述分束器傳導的信號光反射使信號光的傳播方向旋轉90°后到達所述第一探測部件(20’)。
9.如權利要求8所述的檢測設備，其特征在于，所述第一探測部件的視場區與所述第二探測部件的視場區間隔設置。
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