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[發明專利]晶片測試系統及其方法在審

專利信息
申請號: 202110034948.9 申請日: 2021-01-12
公開(公告)號: CN113203933A 公開(公告)日: 2021-08-03
發明(設計)人: 蔡佳霖;古文燁;陳典佑;林佳儀 申請(專利權)人: 南亞科技股份有限公司
主分類號: G01R31/28 分類號: G01R31/28;G01N21/95;H01L21/66
代理公司: 隆天知識產權代理有限公司 72003 代理人: 謝強;黃艷
地址: 中國臺*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 晶片 測試 系統 及其 方法
【權利要求書】:

1.一種晶片的測試系統,包括:

一探針裝置,包括一探針卡、一測試器以及一相機,其中該探針卡包括一或多個探針引腳,用以接觸在該晶片中的一待測元件上的一或多個測試墊,該測試器提供一電子信號以測試該待測元件,而在所述多個測試墊已被所述多個探針引腳接觸之后,該相機獲取所述多個測試墊的一影像;

一數據服務器,其中該探針裝置上傳所述多個測試墊的該影像到該數據服務器;

一自動化子系統,從該探針裝置獲得一影像規格,并觸發在所述多個測試墊的該影像中的一探針刮痕的一自動化估計;以及

一探針刮痕估計子系統,用以執行在所述多個測試墊的該影像中的該探針刮痕的該自動化估計,其中該探針刮痕估計子系統從該數據服務器下載所述多個測試墊的該影像,并執行一影像處理操作,以獲得一探針刮痕估計結果,而若是該探針刮痕估計結果表示一探針測試故障的話,則該自動化子系統停止該探針裝置。

2.如權利要求1所述的測試系統,其中由該探針刮痕估計子系統所執行的該自動化估計是決定從該探針刮痕到所述多個測試墊的一邊界的一距離是否在一第一臨界值內,而當從該探針刮痕到所述多個測試墊的該邊界的該距離是在該第一臨界值內時,則該探針測試故障是表示在該探針估計結果中。

3.如權利要求1所述的測試系統,其中由該探針刮痕估計子系統所執行的該自動化估計是決定從該探針刮痕到所述多個測試墊的一邊界的一距離是否在一第二臨界值內,而當從該探針刮痕到所述多個測試墊的該邊界的該距離是在該第二臨界值內時,則該探針測試故障是表示在該探針估計結果中。

4.如權利要求1所述的測試系統,其中由該探針刮痕估計子系統所執行的該自動化估計是決定該探針刮痕的一面積是否大于一第三臨界值,而當該探針刮痕的該面積大于該第三臨界值時,則該探針測試故障是表示在該探針估計結果中。

5.如權利要求1所述的測試系統,其中由該探針刮痕估計子系統所執行的該自動化估計是決定該探針刮痕的一數量是否小于一第四臨界值,而當該探針刮痕的該數量小于該第四臨界值時,則該探針測試故障是表示在該探針估計結果中。

6.如權利要求1所述的測試系統,其中若是該探針刮痕故障在一預定時間限制內的話,則該自動化子系統停止該探針裝置。

7.如權利要求1所述的測試系統,其中該探針刮痕估計子系統上傳所述多個測試墊的一分析影像到該數據服務器。

8.如權利要求1所述的測試系統,其中該測試系統還包括一測試結果分布子系統,用以傳送該探針刮痕估計結果的一報告。

9.如權利要求8所述的測試系統,其中該測試結果分布子系統通過電子郵件傳送該探針刮痕估計結果的該報告。

10.如權利要求1所述的測試系統,其中該測試系統還包括一錯誤監控子系統,用以從該自動化子系統接收一錯誤碼信息以及一批量控制信息,其中該自動化子系統根據從該探針刮痕估計子系統所接收的該探針刮痕估計結果以確定該錯誤碼信息與該批量控制信息。

11.一種晶片的測試方法,包括:

獲取在該晶片中的一待測元件上的一或多個測試墊的一影像,其是通過在一探測裝置中的一相機并在所述多個測試墊已被該探針裝置的一或多個探針引腳所接觸之后執行;

上傳所述多個測試墊的該影像到一數據服務器;

獲得從該探針裝置的一影像規格并觸發在所述多個測試墊的該影像中的一探針刮痕的一自動化估計,其是通過一自動化子系統所執行;

執行在所述多個測試墊的該影像中的該探針刮痕的該自動化估計,其是通過一探針刮痕估計子系統所執行,其中該探針刮痕估計子系統從該數據服務器下載所述多個測試墊的該影像,并執行一影像處理操作,以獲得一探針刮痕估計結果;以及

停止該探針裝置,其是通過一自動化子系統并在滿足該探針刮痕估計結果表示出一探針測試故障的條件下所執行。

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