本實用新型涉及硅片傳送設備領域，尤其是硅片放料裝置。該放料裝置包括機臺、石英舟、石英舟移動機構、硅片對齊機構一、雙移動座線性模組、硅片抓取機構、硅片下沉機構、硅片對齊機構二、定位機構，所述機臺上安裝有石英舟移動機構、硅片對齊機構一、雙移動座線性模組、硅片下沉機構、硅片對齊機構二，雙移動座線性模組位于硅片對齊機構一和硅片對齊機構二上方。本實用新型通過可移動的石英舟來承載硅片。通過硅片對齊機構一將抓取前的硅片進行對齊。通過硅片對齊機構二將疊合在一起后的硅片進行對齊。通過硅片抓取機構進行硅片抓取。通過硅片下沉機構將硅片下沉入石英舟內。本申請提高了硅片裝入石英舟的效率。

技術領域

本實用新型涉及硅片傳送設備領域，尤其是硅片放料裝置。

背景技術

硅片在生產加工的過程中，需要將硅片抓取并放置到石英舟內。但是現有的將硅片放到石英舟的設備工作效率較低。

實用新型內容

為了解決背景技術中描述的技術問題，本實用新型提供了一種硅片放料裝置。通過可移動的石英舟來承載硅片。通過硅片對齊機構一將抓取前的硅片進行對齊。通過硅片對齊機構二將疊合在一起后的硅片進行對齊。通過硅片抓取機構進行硅片抓取。通過硅片下沉機構將硅片下沉入石英舟內。本申請提高了硅片裝入石英舟的效率。

本實用新型解決其技術問題所采用的技術方案是：

一種硅片放料裝置，包括機臺、石英舟、石英舟移動機構、硅片對齊機構一、雙移動座線性模組、硅片抓取機構、硅片下沉機構、硅片對齊機構二、定位機構，所述機臺上安裝有石英舟移動機構、硅片對齊機構一、雙移動座線性模組、硅片下沉機構、硅片對齊機構二，雙移動座線性模組位于硅片對齊機構一和硅片對齊機構二上方，雙移動座線性模組的兩個滑座上分別安裝有硅片抓取機構，機臺上設有用于穿過硅片下沉機構的穿孔，硅片對齊機構二位于石英舟移動機構的上方，石英舟移動機構的滑座上安裝有用于定位石英舟的定位機構。

具體地，所述硅片下沉機構由硅片頂板組一、連接架一、連接架一升降線性模組組成，連接架一升降線性模組的滑座上固定有兩個以上的連接架一，每個連接架一上固定有硅片頂板組一，硅片頂板組一由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂。

具體地，所述硅片對齊機構一由硅片頂板組二、連接架二、缸體、電機、同步輪、同步帶、滑座組成，缸體固定在機臺上，缸體上滑配連接有兩個滑座，兩個滑座上分別固定有兩個連接架二，連接架二上固定有硅片頂板組二，硅片頂板組二由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂，電機的機體固定在缸體上，缸體上轉動連接有兩個同步輪，電機的輸出軸固定在一個同步輪上，兩個同步輪均嚙合在同步帶上，兩個滑座分別固定在同步帶兩側。

具體地，所述雙移動座線性模組由模組缸體、兩個滑座、兩根絲桿、兩個絲桿旋轉電機組成，模組缸體固定在機臺上，兩個絲桿旋轉電機分別固定在模組缸體兩端，模組缸體內轉動連接有兩根相互平行的絲桿，兩根絲桿端頭分別固定在兩個絲桿旋轉電機的輸出軸上，兩個絲桿上均螺紋連接有滾珠螺母，兩個滾珠螺母分別固定在兩個滑座上。

具體地，所述硅片抓取機構由吸板升降線性模組、吸板水平線性模組、吸板組成，吸板升降線性模組的缸體固定在雙移動座線性模組的滑座上，吸板升降線性模組的滑座上固定有吸板水平線性模組，吸板水平線性模組的滑座上固定有數個相互平行且排列呈直線的吸板，吸板上設有吸孔，吸板底部固定有凸起塊，凸起塊固定在吸板水平線性模組的滑座上，相鄰吸板的凸起塊貼合在一起。

具體地，所述石英舟移動機構為水平線性模組。

具體地，所述硅片對齊機構二由兩個相互對稱的水平氣缸和兩個硅片頂板組三組成，兩個相互對稱的水平氣缸固定在機臺上，兩個水平氣缸的活塞桿上分別固定有硅片頂板組三，硅片頂板組三由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂。

具體地，所述定位機構由壓塊驅動氣缸和壓塊組成，壓塊驅動氣缸的缸體固定在石英舟移動機構的滑座上，壓塊驅動氣缸的活塞桿上固定有壓塊。