[實用新型]硅片放料裝置有效
| 申請號： | 202022237073.6 | 申請日： | 2020-10-10 |
| 公開（公告）號： | CN213264578U | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 閆善韻 | 申請（專利權）人： | 蘇州璞智自動化科技有限公司 |
| 主分類號： | B65G47/90 | 分類號： | B65G47/90 |
| 代理公司： | 蘇州拓源科佳知識產權代理事務所(普通合伙) 32533 | 代理人： | 趙艾亮 |
| 地址： | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 硅片 裝置 | ||
1.一種硅片放料裝置，其特征在于：包括機臺(1)、石英舟(2)、石英舟移動機構(3)、硅片對齊機構一(4)、雙移動座線性模組(5)、硅片抓取機構(6)、硅片下沉機構(7)、硅片對齊機構二(8)、定位機構(9)，所述機臺(1)上安裝有石英舟移動機構(3)、硅片對齊機構一(4)、雙移動座線性模組(5)、硅片下沉機構(7)、硅片對齊機構二(8)，雙移動座線性模組(5)位于硅片對齊機構一(4)和硅片對齊機構二(8)上方，雙移動座線性模組(5)的兩個滑座上分別安裝有硅片抓取機構(6)，機臺(1)上設有用于穿過硅片下沉機構(7)的穿孔，硅片對齊機構二(8)位于石英舟移動機構(3)的上方，石英舟移動機構(3)的滑座上安裝有用于定位石英舟(2)的定位機構(9)。
2.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述硅片下沉機構(7)由硅片頂板組一(71)、連接架一(72)、連接架一升降線性模組(73)組成，連接架一升降線性模組(73)的滑座上固定有兩個以上的連接架一(72)，每個連接架一(72)上固定有硅片頂板組一(71)，硅片頂板組一(71)由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂。
3.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述硅片對齊機構一(4)由硅片頂板組二(41)、連接架二(42)、缸體(43)、電機、同步輪、同步帶、滑座組成，缸體固定在機臺(1)上，缸體上滑配連接有兩個滑座，兩個滑座上分別固定有兩個連接架二(42)，連接架二(42)上固定有硅片頂板組二(41)，硅片頂板組二(41)由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂，電機的機體固定在缸體上，缸體上轉動連接有兩個同步輪，電機的輸出軸固定在一個同步輪上，兩個同步輪均嚙合在同步帶上，兩個滑座分別固定在同步帶兩側。
4.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述雙移動座線性模組(5)由模組缸體、兩個滑座、兩根絲桿、兩個絲桿旋轉電機組成，模組缸體固定在機臺(1)上，兩個絲桿旋轉電機分別固定在模組缸體兩端，模組缸體內轉動連接有兩根相互平行的絲桿，兩根絲桿端頭分別固定在兩個絲桿旋轉電機的輸出軸上，兩個絲桿上均螺紋連接有滾珠螺母，兩個滾珠螺母分別固定在兩個滑座上。
5.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述硅片抓取機構(6)由吸板升降線性模組(61)、吸板水平線性模組(62)、吸板(63)組成，吸板升降線性模組(61)的缸體固定在雙移動座線性模組(5)的滑座上，吸板升降線性模組(61)的滑座上固定有吸板水平線性模組(62)，吸板水平線性模組(62)的滑座上固定有數個相互平行且排列呈直線的吸板(63)，吸板(63)上設有吸孔，吸板(63)底部固定有凸起塊，凸起塊固定在吸板水平線性模組(62)的滑座上，相鄰吸板(63)的凸起塊貼合在一起。
6.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述石英舟移動機構(3)為水平線性模組。
7.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述硅片對齊機構二(8)由兩個相互對稱的水平氣缸(81)和兩個硅片頂板組三(82)組成，兩個相互對稱的水平氣缸(81)固定在機臺(1)上，兩個水平氣缸(81)的活塞桿上分別固定有硅片頂板組三(82)，硅片頂板組三(82)由一排相互平行且排列呈直線的頂板組成，頂板端頭設有尖頂。
8.根據權利要求1所述的硅片放料裝置，其特征在于：所述定位機構(9)由壓塊驅動氣缸和壓塊組成，壓塊驅動氣缸的缸體固定在石英舟移動機構(3)的滑座上，壓塊驅動氣缸的活塞桿上固定有壓塊。
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