[實用新型]噴嘴和噴嘴系統有效
| 申請號： | 202021910621.0 | 申請日： | 2020-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN213943561U | 公開（公告）日： | 2021-08-13 |
| 發明（設計）人： | 郭春;郭士選 | 申請（專利權）人： | 北京北方華創微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | B05B1/00 | 分類號： | B05B1/00;B05B1/30 |
| 代理公司： | 北京國昊天誠知識產權代理有限公司 11315 | 代理人： | 施敬勃 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 噴嘴 系統 | ||
1.一種噴嘴，用于向半導體設備中的工藝腔輸送氣體，其特征在于，所述噴嘴設有第一勻氣腔(210)、多個第一送氣通道(110)和多個第二送氣通道(220)，所述第一勻氣腔(210)位于所述噴嘴中，多個所述第一送氣通道(110)和多個所述第二送氣通道(220)均環繞所述噴嘴的軸線設置，各所述第一送氣通道(110)的一端均用于與第一氣源連通，各所述第一送氣通道(110)的另一端均與所述第一勻氣腔(210)連通，各所述第二送氣通道(220)的一端均與所述第一勻氣腔(210)連通，各所述第二送氣通道(220)的另一端均用于與所述工藝腔連通。
2.根據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述第一勻氣腔(210)為閉合環狀空間。
3.根據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，沿所述噴嘴的軸向，所述第一送氣通道(110)和所述第二送氣通道(220)相互交錯。
4.根據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，多個所述第一送氣通道(110)的截面積之和大于多個所述第二送氣通道(220)的截面積之和。
5.根據權利要求4所述的噴嘴，其特征在于，所述第一送氣通道(110)和所述第二送氣通道(220)均為圓柱狀空間，各所述第一送氣通道(110)的直徑均為D6，0.05mm≤D6≤0.35mm，各所述第二送氣通道(220)的直徑均為D11，0.05mm≤D11≤0.25mm。
6.根據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述第一送氣通道(110)背離所述第一氣源的一端端口與所述第一勻氣腔(210)的頂壁連接，沿所述噴嘴的軸向，所述第一送氣通道(110)背離所述第一氣源的一端端口的投影位于所述第一勻氣腔(210)的頂壁的投影之內。
7.根據權利要求1所述的噴嘴，其特征在于，所述噴嘴還設有第二勻氣腔(230)、多個第三送氣通道(130)和多個第四送氣通道(240)，所述第二勻氣腔(230)位于所述噴嘴中，且所述第二勻氣腔(230)位于所述第一勻氣腔(210)的內側，多個所述第三送氣通道(130)和多個所述第四送氣通道(240)均環繞所述噴嘴的軸線設置，各所述第三送氣通道(130)的一端均用于與第二氣源連通，各所述第三送氣通道(130)的另一端均與所述第二勻氣腔(230)連通，各所述第四送氣通道(240)的一端均與所述第二勻氣腔(230)連通，各所述第四送氣通道(240)的另一端均用于與所述工藝腔連通。
8.根據權利要求7所述的噴嘴，其特征在于，所述噴嘴設有第五送氣通道(150)和第六送氣通道(260)，所述第五送氣通道(150)和所述第六送氣通道(260)的軸線與所述噴嘴的軸線重合，所述第五送氣通道(150)的一端與所述第二氣源連通，所述第五送氣通道(150)的另一端與所述第二勻氣腔(230)連通，所述第六送氣通道(260)的一端與所述第二勻氣腔(230)連通，所述第六送氣通道(260)的另一端用于與所述工藝腔連通。
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