[實用新型]一種抗倒伏微結構有效

申請號：	202020030067.0	申請日：	2020-01-08
公開（公告）號：	CN211946252U	公開（公告）日：	2020-11-17
發明（設計）人：	夏錦濤;陶衛東;丁阿飛;孟祥俊	申請（專利權）人：	寧波大學;寧波格特威電機有限公司
主分類號：	B81C1/00	分類號：	B81C1/00;B81B3/00;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/027
代理公司：	寧波誠源專利事務所有限公司 33102	代理人：	徐雪波;王瑩
地址：	315211 浙***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種倒伏微結構
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【權利要求書】：

1.一種抗倒伏微結構，包括設置在基底上方的目標微結構體(1)，其特征在于：還包括固結在基底和目標微結構體(1)之間的支撐微結構體(2)，所述支撐微結構體(2)的上表面與目標微結構體(1)的連接面一體連接，所述支撐微結構體(2)的下表面與基底相固結，并且支撐微結構體(2)與基底的固結面積大于目標微結構體(1)的連接面的固結面積。

2.根據權利要求1所述的抗倒伏微結構，其特征在于：對應于目標微結構體(1)的每個連接面均匹配設置一個支撐微結構體(2)。

3.根據權利要求2所述的抗倒伏微結構，其特征在于：每個支撐微結構體(2)在基底上的投影面積大于目標微結構體(1)對應的連接面在基底上的投影面積。

4.根據權利要求1至3任一權利要求所述的抗倒伏微結構，其特征在于：所述支撐微結構體(2)包括多層同心且間隔設置的環形壁(21)。

5.根據權利要求4所述的抗倒伏微結構，其特征在于：所述支撐微結構體(2)的中心空心設置。

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