本發明公開了一種提高特征X射線強度值的測試方法，包括：利用電子探針不同波譜儀上的多個分光晶體，形成待測元素的測試系統，同時測試同一個待測元素；獲取標準樣品中待測元素的總凈計數；獲取待測樣品中待測元素的總凈計數；根據標準樣品中待測元素的總凈計數、待測樣品中待測元素的總凈計數與標準樣品中待測元素的濃度計算待測樣品中待測元素的濃度；根據待測樣品中待測元素在各個分光晶體上的背景強度，獲取待測樣品中待測元素的總背景強度，進而計算待測元素的檢測限。本發明可以提高I_unk值，降低測試的檢測限，或者在不改變I_unk值的前提下降低測試電流避免造成待測樣品被破壞而發生元素遷移的現象。

技術領域

本發明涉及電子探針測試技術領域。更具體地說，本發明涉及一種提高特征X射線強度值的測試方法。

背景技術

電子探針作為一種微區原位分析手段，可快速準確的分析固體樣品的元素濃度，在地質學、材料科學等領域得到廣泛的應用，主要應用于主量元素的分析測試。電子探針相對于其它微區原位分析測試手段具有空間分辨率小、無損、測試準確的特點，因此，利用電子探針開展微區原位微量元素的分析也越來越受到重視。

電子探針的基本原理是根據電子束轟擊樣品產生X射線，根據測試出來樣品的元素的特征X射線的強度與標準樣品的元素的特征X射線強度的對比，通過基質校正得出樣品中元素的百分濃度，其公式如下：

其中，C_unk代表待測樣品待測元素的濃度，C_std代表標準樣品待測元素的濃度，I_unk代表待測樣品待測元素的強度，I_std代表標準樣品待測元素的強度，G_ZAF代表基質校正因子。電子探針定量分析的時候就是利用一道波譜儀上的一個分光晶體測試出元素的特征X射線強度。

在利用電子探針測試微量元素的時候，由于元素濃度低，測試出來的I_unk值很低。為了提高測試的精確度，就必須提高I_unk值。目前，提高I_unk值的方法包括改變加速電壓、增大電子束流和增長測試時間，而這些方法容易造成測試樣品被破壞而發生元素遷移，導致測試結果不準確。

發明內容

本發明的一個目的是解決至少上述問題，并提供至少后面將說明的優點。

本發明還有一個目的是提供一種提高特征X射線強度值的測試方法，利用電子探針不同波譜儀上的多個分光晶體，利用各個分光晶體同時測試同一元素特征X射線強度，這種方法在不提高測試電流的條件下，能提高I_unk值，同時避免使用大電流造成待測樣品被破壞而發生元素遷移的現象。

為了實現根據本發明的這些目的和其它優點，提供了一種提高特征X射線強度值的測試方法，包括：

利用電子探針不同波譜儀上的多個分光晶體，形成待測元素的測試系統，同時測試同一個待測元素；

獲取標準樣品中待測元素的總凈計數；

獲取待測樣品中待測元素的總凈計數；

根據標準樣品中待測元素的總凈計數、待測樣品中待測元素的總凈計數與標準樣品中待測元素的濃度計算待測樣品中待測元素的濃度；

根據待測樣品中待測元素在各個分光晶體上的背景強度，獲取待測樣品中待測元素的總背景強度。

優選的是，根據待測樣品中待測元素的總背景強度，計算待測元素的檢測限。

優選的是，不同波譜儀上的分光晶體為同種分光晶體。

優選的是，不同波譜儀上的分光晶體為不同種分光晶體。