本發明提供一種輸送系統和輸送方法。輸送聚焦環的輸送系統包括處理系統和位置檢測系統，處理系統包括：處理裝置，其具有腔室主體和包含基片載置區域及聚焦環載置區域的載置臺；以及能夠輸送聚焦環的輸送裝置，位置檢測系統包括：光源；構成為使光出射并且供反射光入射的多個光學元件；驅動部，其構成為使光學元件分別移動以掃描從聚焦環至基片載置區域為止的掃描范圍；和控制部，其構成為按每個光學元件，基于掃描范圍內的反射光計算聚焦環與載置臺的位置關系，輸送裝置構成為基于計算出的位置關系來調節將聚焦環輸送到聚焦環載置區域上的位置。根據本發明，能夠提供高精度地輸送聚焦環的技術。

技術領域

本發明的例示的實施方式涉及輸送系統和輸送方法。

背景技術

專利文獻1中記載了半導體制造裝置。該裝置包括基片處理室、聚焦環待機室和輸送機構。在基片處理室的內側配置有電極。在電極上載置基片。聚焦環待機室收納多個聚焦環。輸送機構以不使基片處理室內大氣開放的方式將收納于聚焦環待機室中的聚焦環輸送到基片處理室。聚焦環以包圍載置于電極的基片的周圍的方式配置。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2006-196691號公報。

發明內容

發明要解決的問題

本發明提供高精度地輸送聚焦環的技術。

用于解決問題的技術手段

在一個例示的實施方式中，提供向處理裝置輸送聚焦環的輸送系統。輸送系統包括輸送裝置和位置檢測系統。處理裝置包括腔室主體和設置于由腔室主體提供的腔室內的載置臺。載置臺包含基片載置區域和包圍基片載置區域的聚焦環載置區域。輸送裝置構成為能夠將聚焦環輸送到聚焦環載置區域上。位置檢測系統包括光源、多個光學元件、驅動部和控制部。光源構成為能夠產生測量光。多個光學元件構成為使由光源產生的測量光作為出射光出射并且供反射光入射。驅動部構成為使光學元件分別移動，以掃描從支承于聚焦環載置區域的聚焦環至基片載置區域為止的掃描范圍。控制部構成為按每個光學元件，基于掃描范圍內的反射光計算支承于聚焦環載置區域的聚焦環與載置臺的位置關系。輸送裝置構成為基于由控制部計算出的位置關系來調節將聚焦環輸送到聚焦環載置區域上的位置。

發明效果

依照一個例示的實施方式的系統和方法，能夠高精度地輸送聚焦環。

附圖說明

圖1是表示處理系統的一個例子的圖。

圖2是表示處理裝置的主要部分縱截面結構的一個例子的圖。

圖3是表示一實施方式的位置檢測系統的一個例子的結構圖。

圖4是表示使用三個光學元件的掃描的一個例子的圖。

圖5是表示一實施方式的位置檢測系統的掃描范圍的一個例子的圖。

圖6是表示一實施方式的輸送聚焦環的方法的處理的一個例子的流程圖。

圖7是表示判斷輸送到輸送裝置的聚焦環的輸送位置的一個例子的圖。

圖8是表示載置臺與聚焦環的位置關系恰當的情況的一個例子的圖。

圖9是表示載置臺與聚焦環的位置關系不恰當的情況的一個例子的圖。

圖10是表示使用兩個光學元件的掃描的一個例子的圖。

圖11是表示根據使用兩個光學元件的掃描結果以極坐標計算位置關系的一個例子的圖。

附圖標記說明