1.一種向處理裝置輸送聚焦環(huán)的輸送系統(tǒng)，其特征在于：

所述輸送系統(tǒng)包括輸送裝置和位置檢測(cè)系統(tǒng)，

所述處理裝置具有：

腔室主體；和

載置臺(tái)，其設(shè)置于由所述腔室主體提供的腔室內(nèi)，包含基片載置區(qū)域和包圍所述基片載置區(qū)域的聚焦環(huán)載置區(qū)域，

所述輸送裝置構(gòu)成為能夠?qū)⑺鼍劢弓h(huán)輸送到所述聚焦環(huán)載置區(qū)域上，

所述位置檢測(cè)系統(tǒng)包括：

構(gòu)成為能夠產(chǎn)生測(cè)量光的光源；

多個(gè)光學(xué)元件，其構(gòu)成為使所述光源所產(chǎn)生的所述測(cè)量光作為出射光出射并且供反射光入射；

驅(qū)動(dòng)部，其構(gòu)成為使所述光學(xué)元件分別移動(dòng)，以掃描從支承于所述聚焦環(huán)載置區(qū)域的所述聚焦環(huán)至所述基片載置區(qū)域?yàn)橹沟膾呙璺秶?；?/p>

控制部，其構(gòu)成為按每個(gè)所述光學(xué)元件，基于所述掃描范圍內(nèi)的所述反射光來(lái)計(jì)算支承于所述聚焦環(huán)載置區(qū)域的所述聚焦環(huán)與所述載置臺(tái)的位置關(guān)系，

所述輸送裝置構(gòu)成為基于由所述控制部計(jì)算出的所述位置關(guān)系來(lái)調(diào)節(jié)將所述聚焦環(huán)輸送到所述聚焦環(huán)載置區(qū)域上的位置。