[發明專利]一種COF曝光機內玻璃掩模版的異物檢測和清除的方法有效
| 申請號： | 202011343986.4 | 申請日： | 2020-11-26 |
| 公開（公告）號： | CN112394621B | 公開（公告）日： | 2023-07-04 |
| 發明（設計）人： | 戚愛康;計曉東;孫彬;沈洪;李曉華 | 申請（專利權）人： | 上達電子（深圳）股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京博識智信專利代理事務所(普通合伙) 16067 | 代理人： | 徐佳慧 |
| 地址： | 518100 廣東省深圳市寶安區沙井街道黃*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 cof 曝光 玻璃 模版 異物 檢測 清除 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種COF曝光機內玻璃掩模版的異物檢測和清除的方法，其特征在于：采用精密異物檢測裝置(1)和異物清除裝置(2)，對COF曝光機內玻璃掩模版進行異物檢測和異物清除；
所述異物檢測的方法采用精密異物檢測裝置(1)，精密異物檢測裝置(1)包括入射光源(11)、感應傳感器(12)和連接導線(13)，首先由入射光源(11)發射入射光對玻璃掩模版(3)進行照射，玻璃掩模版(3)上的異物(4)被照射后會發生光反射，反射光會被感應傳感器(12)感應到，最終生成異物(4)坐標數據，由連接導線(13)將數據傳輸到處理器；
所述異物清除的方法采用異物清除裝置(2)，異物清除裝置(2)包括強力去靜電離子風扇(21)、異物吸取器(22)、異物清除裝置框體(23)和傳輸導線(24)，異物吸取器(22)包括異物過濾器(221)和異物儲存器(222)，異物清除裝置(2)讀取精密異物檢測裝置(1)傳出的數據，進行定點清除異物(4)，由強力去靜電離子風扇(21)對異物(4)進行吹風，并進行靜電去除，被去除靜電的異物(4)沒有黏附性，同時異物吸取器(22)強力把異物吸走，通過異物過濾器(221)過濾后被異物儲存器(222)儲存槽儲存。
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