1.一種載臺組件，適用于防止基材的非目標面受沉積，其特征在于，所述載臺組件包括：

基座，具有圓形凹槽，以使所述基座的中間形成圓形的基材承載座，所述圓形凹槽的外緣與所述基座的外緣之間具有第一距離并形成外墻底座，其中所述外墻底座具有外墻底座內面，而所述外墻底座內面相鄰所述圓形凹槽；以及

外墻，沿著所述外墻底座向上延伸，所述外墻具有外墻內面，而所述外墻內面相鄰所述圓形凹槽，其中所述外墻內面與所述外墻底座內面彼此切齊；

其中所述圓型凹槽的外緣與所述基材承載座的邊緣之間具有第一寬度，以及所述圓形凹槽的底部與所述外墻的頂部具有垂直的第一深度，其中所述第一深度與所述第一寬度的深寬比為1.5-4；

其中所述第一寬度小于或等于5毫米。