本申請涉及測量標定技術領域，具體而言，涉及一種空間用微氣體流量控制器標定系統及方法，包括：試驗箱、真空計量罐以及真空泵，其中：試驗箱內部包括依次連接的儲氣瓶、第一自鎖閥、減壓閥以及待標定微氣體流量控制器；待標定微氣體流量控制器通過旋轉接點和氣路管道與真空計量罐連通；真空泵通過第二自鎖閥與氣路管道連通，通過第三自鎖閥與真空計量罐直接連通。本申請提供了一種真空環境下，溫度變化或者不變化時微氣體流量更精確的計量方法，消除了管道對流量控制器標定結果的影響，實現了微氣體流量控制器設備在真空、變溫環境下的標定，為空間用微氣體流量控制器標定校準提供了數據。

技術領域

本申請涉及測量標定技術領域，具體而言，涉及一種空間用微氣體流量控制器標定系統及方法。

背景技術

微氣體流量控制器在航天領域有廣泛的應用需求，市場上普通的氣體流量控制器使用及標定環境均為標準氣壓，室溫(標準溫度)下，但是航天用流量控制器使用要求較高，氣體出口多為真空環境且工作在變溫狀態下。

航天用微氣體流量控制器，需對其在真空、變溫狀況下進行標定校準，以適應環境對流量控制器的影響?，F常用的氣體流量標定方法有標準流量控制器法、標準裝置法等，計量部門檢定時，通常將標準流量控制器接在待標定流量測量裝置的入口處，檢定流量示值誤差，但是由于待標定流量測量裝置的實際使用環境與狀態與標定檢驗狀態不同，檢定結果不能證明實際工況下流量控制器的測量及控制精度，這些方法僅適用于常溫，標準狀況下的氣體流量標定。

真空、變溫環境下微小流量的測量，由于測量過程中氣體管道溫度變化導致氣體體積變化與流動遠遠大于微小氣體流量控制器的輸出控制，影響不可忽視。因此需要一種標定方法，消除管道對流量控制器量的影響，實現微氣體流量控制器量設備在真空、變溫環境下的標定。

發明內容

本申請的目的在于提供一種空間用微氣體流量控制器標定系統及方法，主要適用于在真空變溫環境下對微流量控制器進行標定，測量準確，誤差較小。

根據本申請提供的一種空間用微氣體流量控制器標定系統，包括：試驗箱、真空計量罐以及真空泵，其中：試驗箱內部包括依次連接的儲氣瓶、第一自鎖閥、減壓閥以及待標定微氣體流量控制器；待標定微氣體流量控制器通過旋轉接點和氣路管道與真空計量罐連通；真空泵通過第二自鎖閥與氣路管道連通，通過第三自鎖閥與真空計量罐直接連通。

進一步的，待標定微氣體流量控制器與真空計量罐之間的氣路管道上設置有第四自鎖閥。

進一步的，待標定微氣體流量控制器與真空計量罐之間的氣路管道上還設置有手動閥。

進一步的，真空計量罐內部設置有第一壓力傳感器、第二壓力傳感器、第一溫度計以及第二溫度計。

進一步的，真空計量罐的外部設置有保溫層。

進一步的，還包括控制系統，控制系統用于控制調整試驗箱內的工況以及調節各閥門的開啟與閉合。

進一步的，試驗箱內為真空環境。