8.一種空間用微氣體流量控制器標定方法，其特征在于，該方法應用于如權利要求1-7任一項所述的空間用微氣體流量控制器標定系統中，該方法包括：

步驟1：將各部件布置連接，調整試驗箱內的環境，設定試驗箱內的溫度，使試驗箱內部保持真空環境；

步驟2：設定待標定微氣體流量控制器的量程，打開第一自鎖閥和減壓閥，調整待標定微氣體流量控制器入口的壓力；

步驟3：對真空計量罐進行排空處理，關閉手動閥，打開真空泵，關閉第二自鎖閥和第四自鎖閥，打開第三自鎖閥，使真空計量罐壓力降為初始氣壓并保持；

步驟4：對氣路管道進行預排空處理，關閉第三自鎖閥和第四自鎖閥，打開第二自鎖閥，實現氣路管道的真空預處理；

步驟5：打開第四自鎖閥，關閉第二自鎖閥，關閉真空泵，使儲氣瓶內的氣體通過待標定微氣體流量控制器流入真空計量罐，開始進行真空計量罐內氣壓的測量；

步驟6：調整真空計量罐內的溫度，實時監控真空計量罐內的溫度及壓力的變化，每隔一段時間記錄一次真空計量罐內的氣壓，為保證真空計量罐內的環境始終為中真空環境，當真空計量罐內的氣壓大于90Pa時，完成并結束該組數據的測量，打開手動閥，關閉第四自鎖閥；

步驟7：對氣壓測量數據進行處理，舍棄氣流不穩定的測量數據；

步驟8：對穩定狀態下的氣壓測量數據進行處理，計算當前工況下待標定微氣體流量控制器的標定值，獲得單點標定數據；

步驟9：設定試驗箱不同的工況，即將試驗箱內的溫度調整成不同的溫度，將待標定微氣體流量控制器的量程調整成不同的量程；

步驟10：重復步驟3到步驟8，獲得不同工況下，多點標定數據的測量。