[發明專利]液處理裝置和液處理裝置的液檢測方法在審
| 申請號： | 202010921031.6 | 申請日： | 2020-09-04 |
| 公開（公告）號： | CN112485970A | 公開（公告）日： | 2021-03-12 |
| 發明（設計）人： | 桾本裕一朗;羽山隆史;鈴木秀啟 | 申請（專利權）人： | 東京毅力科創株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322 | 代理人： | 龍淳;劉芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 處理 裝置 檢測 方法 | ||
1.一種液處理裝置，其特征在于，包括：
能夠載置基片的載置部；
對載置于所述載置部的所述基片供給處理液以進行處理的噴嘴；
用于拍攝所述噴嘴以獲取圖像數據的拍攝部；和
檢測部，其基于多個所述圖像數據來檢測液面，該多個所述圖像數據是在不從所述噴嘴供給所述處理液的期間內的彼此不同的時刻獲得的，所述液面由設置于所述噴嘴內的所述處理液的流路中的該處理液或者該處理液以外的液體形成。
2.如權利要求1所述的液處理裝置，其特征在于：
所述檢測部通過比較所得到的多個圖像之間的彼此對應的位置的像素的參數，來檢測所述液面。
3.如權利要求2所述的液處理裝置，其特征在于：
所述像素的參數是亮度，
所述檢測部對圖像的各位置求取所述多個圖像之間彼此對應的位置的像素中的亮度的最大值，來檢測所述液面。
4.如權利要求1或2所述的液處理裝置，其特征在于：
所述檢測部基于所述像素的參數處于預先設定的范圍的區域在所述多個圖像之間的位置變化，來檢測所述液面。
5.如權利要求4所述的液處理裝置，其特征在于：
所述像素的參數是亮度，
所述檢測部基于所述多個圖像之間的、具有預先設定的亮度的區域的位置變化，來檢測所述液面。
6.如權利要求1或2所述的液處理裝置，其特征在于：
包括用于使所述液面振動的振動施加部。
7.如權利要求6所述的液處理裝置，其特征在于：
所述振動施加部包括：
供流體流通的流體用的流路，其用于調節要供給到所述噴嘴的所述處理液的溫度；和
用于在所述流體用的流路中使所述流體流通的泵。
8.如權利要求1或2所述的液處理裝置，其特征在于：
包括預先存儲有關于所述噴嘴的基準數據的存儲器，
所述檢測部基于多個所述圖像數據中的至少一者和所述基準數據，來判斷在所述噴嘴的外側是否附著有液滴。
9.如權利要求8所述的液處理裝置，其特征在于：
所述檢測部是控制部，其推斷所述液滴的大小，基于推斷出的大小輸出控制信號以進行應對處理。
10.如權利要求1或2所述的液處理裝置，其特征在于：
所述檢測部是控制部，其在檢測到的所述液面位置異常時輸出控制信號以進行應對處理。
11.如權利要求1或2所述的液處理裝置，其特征在于，包括：
將防干燥液供給到該噴嘴的外側的防干燥液供給部，所述防干燥液用于防止所述噴嘴內的處理液干燥；和
用于從所述噴嘴吸引所述防干燥液的吸引部，
所述處理液以外的液體是該防干燥液，
所述彼此不同的時刻是不用該吸引部進行吸引的期間內的時刻。
12.一種液處理裝置的液檢測方法，其特征在于：
所述液處理裝置包括：
能夠載置基片的載置部；和
對載置于所述載置部的所述基片供給處理液以進行處理的噴嘴，
所述液檢測方法包括：
用拍攝部拍攝所述噴嘴來獲得圖像數據的步驟；
用檢測部基于多個所述圖像數據來檢測液面的步驟，該多個所述圖像數據是在不從所述噴嘴供給所述處理液的期間內的彼此不同的時刻獲得的，所述液面由設置于所述噴嘴內的所述處理液的流路中的該處理液或者該處理液以外的液體形成。
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