10.一種制造一反射性光罩的方法，其特征在于，該方法包括：

在一光罩素材之上形成一光阻層，該光罩素材包括一基板、在該基板上的一反射性多層、在該反射性多層上的吸收層，及一硬光罩層；

圖案化該光阻層；

使用該經圖案化的光阻層作為一蝕刻光罩來圖案化該硬光罩層；

移除該經圖案化的光阻層；

通過使用經圖案化的該硬光罩層作為一蝕刻光罩來圖案化該吸收層；以及

在經圖案化的該吸收層之上形成一光催化層，其中：

該吸收層攜載具有開口的電路圖案，

該光催化層在該吸收層的所述開口處經形成在該反射性多層之上，以及

該光催化層包括選自由氧化鈦(TiO₂)、氧化錫(SnO)、氧化鋅(ZnO)及硫化鎘(CdS)組成的群組的一者。