本發(fā)明公開了一種曝光裝置及曝光方法，曝光裝置包括機(jī)架、第一曝光組件、第二曝光組件、監(jiān)測(cè)組件和控制器，第一曝光組件和第二曝光組件均設(shè)在機(jī)架上，第一曝光組件和第二曝光組件之間形成曝光區(qū)；監(jiān)測(cè)組件設(shè)在機(jī)架上，監(jiān)測(cè)組件用于監(jiān)測(cè)基板的位置；控制器與第一曝光組件、第二曝光組件和監(jiān)測(cè)組件電性連接。曝光方法能夠應(yīng)用于前述的曝光裝置。該曝光裝置，基板通過(guò)曝光區(qū)時(shí)，第一曝光組件和第二曝光組件分別對(duì)基板的相對(duì)兩側(cè)進(jìn)行曝光，實(shí)現(xiàn)雙面曝光，曝光效率高；同時(shí)，監(jiān)測(cè)組件實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)基板的位置，控制器根據(jù)基板的實(shí)時(shí)位置及時(shí)調(diào)整第一曝光組件和第二曝光組件的曝光路徑，以提高曝光精度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及激光直寫曝光技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種曝光裝置及曝光方法。

背景技術(shù)

信息革命基于集成電路技術(shù)的發(fā)展，隨著集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展和產(chǎn)品性能的飛速迭代，對(duì)集成電路板的需求也越來(lái)越旺盛。一方面，需要擴(kuò)大集成電路的產(chǎn)能，另一方面，又要保證集成電路的產(chǎn)品性能，這就對(duì)集成電路板的制造商們提出了更高挑戰(zhàn)。

柔性電路板(Flexible?Printed?Circuit簡(jiǎn)稱FPC)是以聚酰亞胺或聚酯薄膜為基材制成的一種具有高度可靠性、絕佳可撓性的印刷電路板，并具有配線密度高、重量輕、厚度薄、彎折性好等特點(diǎn)。柔性電路板作為集成電路的一個(gè)重要組成部分，最常見的就是覆蓋在顯示器屏幕的觸摸屏。用戶觸摸時(shí)，觸摸屏可以識(shí)別觸摸點(diǎn)的位置、移動(dòng)方向以及移動(dòng)速度等信息，并將信號(hào)傳遞給處理器，實(shí)現(xiàn)用戶與處理器的交互。

然而，傳統(tǒng)的柔性電路板曝光方式采用的是普通PCB板的曝光方式，也即，基板進(jìn)料到固定區(qū)域后停止，隨后進(jìn)行識(shí)別和曝光，整個(gè)曝光過(guò)程效率極低，不僅曝光效率低，影響產(chǎn)能，而且曝光精度差，影響性能。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，有必要提供一種曝光裝置及曝光方法；該曝光裝置曝光效率高，且曝光精度高；該曝光方法能夠應(yīng)用于前述的曝光裝置，曝光精度高。

其技術(shù)方案如下：

一個(gè)實(shí)施例提供了一種曝光裝置，包括：

機(jī)架；

第一曝光組件和第二曝光組件，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均設(shè)在所述機(jī)架上，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件之間形成曝光區(qū)；

監(jiān)測(cè)組件，所述監(jiān)測(cè)組件設(shè)在所述機(jī)架上，所述監(jiān)測(cè)組件用于監(jiān)測(cè)基板的位置；及

控制器，所述控制器與所述第一曝光組件、所述第二曝光組件和所述監(jiān)測(cè)組件電性連接。

上述曝光裝置，基板通過(guò)曝光區(qū)時(shí)，第一曝光組件和第二曝光組件分別對(duì)基板的相對(duì)兩側(cè)進(jìn)行曝光，實(shí)現(xiàn)雙面曝光，曝光效率高；同時(shí)，監(jiān)測(cè)組件實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)基板的位置，控制器根據(jù)基板的實(shí)時(shí)位置及時(shí)調(diào)整第一曝光組件和第二曝光組件的曝光路徑，以提高曝光精度。

下面進(jìn)一步對(duì)技術(shù)方案進(jìn)行說(shuō)明：

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述機(jī)架包括底板、第一側(cè)板和第二側(cè)板，所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板分別固定在所述底板的相對(duì)兩端，所述第一曝光組件和所述第二曝光組件均設(shè)在所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板之間。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第一曝光組件包括第一安裝架和第一曝光引擎，所述第一安裝架的兩端分別與所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板固定，所述第一曝光引擎設(shè)在所述第一安裝架上，所述第一曝光引擎設(shè)有至少一個(gè)并能夠沿所述第一安裝架移動(dòng)，所述第一曝光引擎與所述控制器電性連接；

所述第二曝光組件包括第二安裝架和第二曝光引擎，所述第二安裝架的兩端分別與所述第一側(cè)板和所述第二側(cè)板固定，所述第二曝光引擎設(shè)在所述第二安裝架上，所述第二曝光引擎設(shè)有至少一個(gè)并能夠沿所述第二安裝架移動(dòng)，所述第二曝光引擎與所述控制器電性連接。