1.一種上下料裝置，其特征在于，包括：

物料輸入機構(100)，能夠輸入載滿待處理的硅片(1)的花籃(20)；

物料輸出機構(200)，能夠輸出載滿處理好的硅片(1)的花籃(20)；

其中，所述物料輸入機構(100)與所述物料輸出機構(200)沿豎直方向間隔布置；

中轉機構(300)，能夠沿豎直方向運動；

其中，所述中轉機構(300)能夠對接所述物料輸入機構(100)輸出端，以便于接收花籃(20)；隨后，所述中轉機構(300)朝向所述物料輸出機構(200)運動，能夠對接所述物料輸出機構(200)的輸入端，以便于所述花籃(20)轉移；

搬運機構(400)，能夠從花籃(20)中取出待處理的硅片(1)，并能夠將處理好的硅片(1)置入空花籃(20)中；

其中，所述物料輸入機構(100)包括沿水平方向間隔布置的第一輸入線(110)和第二輸入線(120)，所述第一輸入線(110)和所述第二輸入線(120)分別能夠輸入花籃(20)；

翻轉機構(500)，設于所述第二輸入線(120)或者所述中轉機構(300)一側，能夠提取由所述第二輸入線(120)輸入的，載滿待處理的硅片(1)的花籃(20)，并將所述花籃(20)翻轉180°；

一個工作循環中，所述第一輸入線(110)和所述第二輸入線(120)分別能夠輸入一組花籃(20)，所述翻轉機構(500)將其中一組花籃(20)翻轉，使得所述搬運機構(400)接取兩組所述花籃(20)中待處理的硅片(1)時，其中一組硅片(1)的第一面朝上，另一組硅片(1)的第二面朝上。