[發明專利]特高純氧化鋁陶瓷金屬化方法在審
| 申請號: | 202010419627.6 | 申請日: | 2020-05-18 |
| 公開(公告)號: | CN111548193A | 公開(公告)日: | 2020-08-18 |
| 發明(設計)人: | 羅毅;段冰;尚華;林貴洪 | 申請(專利權)人: | 宜賓紅星電子有限公司 |
| 主分類號: | C04B41/88 | 分類號: | C04B41/88 |
| 代理公司: | 成都虹橋專利事務所(普通合伙) 51124 | 代理人: | 伍云萍 |
| 地址: | 644000 四川*** | 國省代碼: | 四川;51 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 高純 氧化鋁陶瓷 金屬化 方法 | ||
本發明屬于電子功能陶瓷材料技術領域,具體涉及一種特高純氧化鋁陶瓷金屬化方法。針對氧化鋁陶瓷金屬化燒結過程導致的陶瓷基體強度低、熱導率及氣密性差等問題,本發明提供了一種特高純氧化鋁陶瓷金屬化方法,包括以下步驟:a、稱取原材料粉體,分散于酒精,球磨、烘干,制備金屬化漿料添加劑;b、將鉬粉、三氧化鉬粉、錳粉、金屬化漿料添加劑混合,得到粉料,球磨,制得金屬化粉料;c、金屬化粉料振磨,即得金屬化漿料;d、將金屬化漿料印刷或涂覆后燒結,得到金屬化產品。本發明的金屬化漿料燒結溫度低于現有燒結溫度,可多次金屬化燒結,提高金屬化層厚度,鍍鎳后,金屬化層的剝離效果好,剝離強度高,金屬化抗拉強度性能好。
技術領域
本發明屬于電子功能陶瓷材料技術領域,具體涉及一種特高純氧化鋁陶瓷金屬化方法。
背景技術
隨著電子元器件向大功率、小型化發展,氧化鋁陶瓷因體積電阻率大、抗折強度高、硬度大、低介質損耗、線性膨脹系數小、高絕緣性能以及可以和金屬進行焊接、封接等特點,而被廣泛用于軍事通訊、遙感遙測電子對抗、光電技術等領域,成為微電子器件(厚、薄膜電路、大功率半導體器件)、光電器件(紅外探測、成像)生產不可缺少的重要原材料。
目前國內外氧化鋁陶瓷金屬化方法各不相同,其中,最主要的方法為活性金屬化法,主要分為鉬系方法和鎢系方法兩大類,該方法由于成本相對較低、對設備要求不高,在工業化生產中大量使用。但該方法在金屬化燒結過程中會導致陶瓷晶粒的二次長大,降低陶瓷基體的機械強度,影響陶瓷金屬化后的熱導率及氣密性,進而影響封接后整體電子元件或器件的性能。
為解決上述問題,本發明專利提出了一種特高純氧化鋁陶瓷金屬化及其制備方法。
發明內容
本發明要解決的技術問題為:氧化鋁陶瓷金屬化燒結過程導致的陶瓷基體強度低、熱導率及氣密性差等問題。
本發明解決上述技術問題的技術方案為:提供一種特高純氧化鋁陶瓷金屬化方法。本發明的方法包括以下步驟:
a、制備金屬化漿料添加劑:
按照質量百分比Al2O3 40~60%、SiO2 30~50%、CaO 2~7%、MgO 2~5%和Y2O31~3%稱取原材料粉體;
將原材料粉體分散于加入了球磨介質的酒精中,球磨、烘干,即得金屬化漿料添加劑;
b、制備金屬化粉料:
按照質量百分比鉬粉65~70%、三氧化鉬粉3~8%、錳粉5~12%、金屬化漿料添加劑10~27%進行混合,得到粉料,再按照重量比粉料︰瑪瑙瓷球=1︰1~2進行球磨處理,制得金屬化粉料;
c、制備金屬化漿料:
按照重量比金屬化粉料︰粘合劑︰瑪瑙瓷球=1︰0.3~0.4︰1,振磨24~36h,再加壓過250~300目篩網,即得金屬化漿料;
d、金屬化燒結:
將步驟c制得的金屬化漿料印刷或者涂覆在特高純氧化鋁陶瓷基體表面,每次印刷或者涂覆后,烘干、燒結,得到金屬化產品。
其中,步驟a所述的原材料粉體與酒精、球磨介質的重量比為1︰1︰1.5~2。
其中,步驟a所述的球磨介質粒徑為的瑪瑙球或氧化鋁瓷球。
其中,步驟a所述的酒精中乙醇的體積分數為50~70%。
其中,所述的原材料粉體、鉬粉、三氧化鉬粉、錳粉、乙基纖維素、松油醇、蓖麻油、魚油均為分析純。
其中,所述的SiO2粉體粒度D50≤0.5μm。
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