本發(fā)明提供一種多氣環(huán)多逃逸通道的透明窗產(chǎn)生裝置，該透明窗產(chǎn)生裝置用于在線測量系統(tǒng)，所述透明窗產(chǎn)生裝置的一側(cè)表面為執(zhí)行面，所述執(zhí)行面用于朝向待檢測的工件設(shè)置，所述透明窗產(chǎn)生裝置包括至少一組測量通道、至少一組輔助噴氣通道、至少一組主環(huán)形噴氣通道和至少一組環(huán)形排氣通道，每組所述輔助噴氣通道包括至少一個所述輔助噴氣通道，每組所述主環(huán)形噴氣通道包括至少一個所述主環(huán)形噴氣通道，每組所述環(huán)形排氣通道包括至少一個所述環(huán)形排氣通道。本發(fā)明還提供一種在線測量系統(tǒng)，能夠?qū)ぜ砻孢M(jìn)行精確測量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及機(jī)加工中的在線測量系統(tǒng)，具體地，涉及一種多氣環(huán)多逃逸通道的透明窗產(chǎn)生裝置和一種包括該透明窗產(chǎn)生裝置的在線測量系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在對工件進(jìn)行機(jī)加工時，為了判斷工件的表面狀態(tài)，需要對工件的表面狀態(tài)進(jìn)行測量。

現(xiàn)有的測量類型包括在線測量、離線測量和在位測量，其中，因在線測量不會打斷正在進(jìn)行的機(jī)加工過程，因此，得到了越來越廣泛的應(yīng)用。

在機(jī)加工的過程中刀具與工件相互作用產(chǎn)生大量的熱以及大量的切屑，為了提高加工精度、保證工件表面質(zhì)量以及刀具的壽命，必須使用冷卻劑降低加工過程中工件的表面溫度。但是，冷卻劑的存在容易影響到在線測量的準(zhǔn)確性。

因此，如何避免冷卻劑對在線測量造成不良影響成為本領(lǐng)域亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種多氣環(huán)多逃逸通道的透明窗產(chǎn)生裝置和一種包括該透明窗產(chǎn)生裝置的在線測量系統(tǒng)，所述透明窗產(chǎn)生裝置能夠在對正在加工的工件進(jìn)行測量時，降低甚至消除冷卻劑對測量的影響。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，作為本發(fā)明的一個方面，提供一種多氣環(huán)多逃逸通道的透明窗產(chǎn)生裝置，該透明窗產(chǎn)生裝置用于在線測量系統(tǒng)，其特征在于，所述透明窗產(chǎn)生裝置的一側(cè)表面為執(zhí)行面，所述執(zhí)行面用于朝向待檢測的工件設(shè)置，所述透明窗產(chǎn)生裝置包括至少一組測量通道、至少一組輔助噴氣通道、至少一組主環(huán)形噴氣通道和至少一組環(huán)形排氣通道，每組所述輔助噴氣通道包括至少一個所述輔助噴氣通道，每組所述主環(huán)形噴氣通道包括至少一個所述主環(huán)形噴氣通道，每組所述主環(huán)形排氣通道包括至少一個所述環(huán)形排氣通道：

每組所述測量通道都包括探測信號入口、探測信號出口和探測口，所述探測口形成在所述執(zhí)行面上，且所述測量通道用于將探測信號入口入射的信號引導(dǎo)至所述探測口，并將從探測口入射的信號引導(dǎo)至所述探測信號出口；

每組所述主環(huán)形噴氣通道對應(yīng)一組所述測量通道，所述主環(huán)形噴氣通道的出口形成在所述執(zhí)行面上，所述主環(huán)形噴氣通道環(huán)繞在相應(yīng)的所述測量通道外部，且所述主環(huán)形噴氣通道設(shè)置為使得該主環(huán)形噴氣通道噴出的氣體朝遠(yuǎn)離該主環(huán)形噴氣通道對應(yīng)的所述測量通道的方向流動；

每組所述輔助噴氣通道對應(yīng)一組所述測量通道，所述噴氣通道的出口形成在所述執(zhí)行面上，所述噴氣通道用于朝相應(yīng)的所述探測口的外圍噴出氣體，且所述噴氣通道設(shè)置為使得該噴氣通道噴出的氣體朝遠(yuǎn)離該噴氣通道對應(yīng)的探測口的方向流動；

每組所述環(huán)形排氣通道對應(yīng)一組所述主環(huán)形噴氣通道，所述環(huán)形排氣通道的入口形成在所述執(zhí)行面上，所述環(huán)形排氣通道環(huán)繞相應(yīng)的主環(huán)形噴氣通道設(shè)置。

可選地，每組所述主環(huán)形噴氣通道包括間隔設(shè)置的多個所述主環(huán)形噴氣通道。

可選地，所述透明窗產(chǎn)生裝置還包括至少一條補(bǔ)氣通道，在同一組所述主環(huán)形噴氣通道中，相鄰兩個所述主環(huán)形噴氣通道之間設(shè)置有所述補(bǔ)氣通道。

可選地，相鄰兩個所述主環(huán)形噴氣通道之間設(shè)置有多個所述補(bǔ)氣通道，多個所述補(bǔ)氣通道環(huán)繞所述主環(huán)形噴氣通道的軸線均勻間隔設(shè)置。

可選地，所述主環(huán)形噴氣通道包括互相連通的豎直環(huán)形噴氣通道部和傾斜環(huán)形噴氣通道部，所述傾斜環(huán)形噴氣通道的一端開口與所述豎直環(huán)形噴氣通道部連通，所述傾斜環(huán)形噴氣通道部的另一端開口形成在所述執(zhí)行面上。