[發明專利]一種多氣環多逃逸通道的透明窗產生裝置和在線測量系統有效
| 申請號: | 202010396945.5 | 申請日: | 2020-05-12 |
| 公開(公告)號: | CN111693647B | 公開(公告)日: | 2022-12-20 |
| 發明(設計)人: | 高詠生;朱錦煒 | 申請(專利權)人: | 香港科技大學 |
| 主分類號: | G01N33/00 | 分類號: | G01N33/00 |
| 代理公司: | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人: | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址: | 中國香港*** | 國省代碼: | 香港;81 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 多氣環多 逃逸 通道 透明 產生 裝置 在線 測量 系統 | ||
1.一種多氣環多逃逸通道的透明窗產生裝置,該透明窗產生裝置用于在線測量系統,其特征在于,所述透明窗產生裝置的一側表面為執行面,所述執行面用于朝向待檢測的工件設置,所述透明窗產生裝置包括至少一組測量通道、至少一組輔助噴氣通道、至少一組主環形噴氣通道和至少一組環形排氣通道,每組所述輔助噴氣通道包括至少一個所述輔助噴氣通道,每組所述主環形噴氣通道包括至少一個所述主環形噴氣通道,每組所述環形排氣通道包括至少一個所述環形排氣通道:
每組所述測量通道都包括探測信號入口、探測信號出口和探測口,所述探測口形成在所述執行面上,且所述測量通道用于將探測信號入口入射的信號引導至所述探測口,并將從探測口入射的信號引導至所述探測信號出口;
每組所述主環形噴氣通道對應一組所述測量通道,所述主環形噴氣通道的出口形成在所述執行面上,所述主環形噴氣通道環繞在相應的所述測量通道外部,且所述主環形噴氣通道設置為使得該主環形噴氣通道噴出的氣體朝遠離該主環形噴氣通道對應的所述測量通道的方向流動;
每組所述輔助噴氣通道對應一組所述測量通道,所述輔助噴氣通道的出口形成在所述執行面上,所述輔助噴氣通道用于朝相應的所述探測口的外圍噴出氣體,且所述輔助噴氣通道設置為使得該噴氣通道噴出的氣體朝遠離該輔助噴氣通道對應的探測口的方向流動;
每組所述環形排氣通道對應一組所述主環形噴氣通道,所述環形排氣通道的入口形成在所述執行面上,所述環形排氣通道環繞相應的主環形噴氣通道設置;
每組所述主環形噴氣通道包括間隔設置的多個所述主環形噴氣通道;
所述透明窗產生裝置還包括至少一條補氣通道,在同一組所述主環形噴氣通道中,相鄰兩個所述主環形噴氣通道之間設置有所述補氣通道;
所述透明窗產生裝置包括多個環形排氣通道,該多個所述環形排氣通道同軸設置,
位于內圈的至少一個所述環形排氣通道的一部分的寬度小于該環形排氣通道其余部分的寬度;
位于最外圈的環形排氣通道的寬度大于位于內圈的環形排氣通道的寬度,其中,
多個主環形噴氣通道設置在輔助噴氣通道的外側;
在遠離所述執行面的方向上,所述環形排氣通道的內徑逐漸增加。
2.根據權利要求1所述的透明窗產生裝置,其特征在于,相鄰兩個所述主環形噴氣通道之間設置有多個所述補氣通道,多個所述補氣通道環繞所述主環形噴氣通道的軸線均勻間隔設置。
3.根據權利要求1或2所述的透明窗產生裝置,其特征在于,所述主環形噴氣通道包括互相連通的豎直環形噴氣通道部和傾斜環形噴氣通道部,所述傾斜環形噴氣通道的一端開口與所述豎直環形噴氣通道部連通,所述傾斜環形噴氣通道部的另一端開口形成在所述執行面上。
4.根據權利要求3所述的透明窗產生裝置,其特征在于,所述透明窗產生裝置還包括第一進氣通道和緩沖腔,每組所述主環形噴氣通道對應一個所述緩沖腔和一個所述第一進氣通道,所述緩沖腔與相應的所述主環形噴氣通道的背離所述執行面的開口連通,所述第一進氣通道的一端開口與相應的所述緩沖腔連通,所述第一進氣通道的另一端所述透明窗產生裝置的外部相通。
5.根據權利要求1或2所述的透明窗產生裝置,其特征在于,所述透明窗產生裝置包括裝置本體,所述測量通道、所述輔助噴氣通道、所述主環形噴氣通道、所述環形排氣通道均形成在所述裝置本體內,且所述測量通道的探測信號入口、所述測量通道的探測信號出口、所述主環形噴氣通道的入口、所述環形排氣通道的出口均位于所述裝置本體的外表面上。
6.根據權利要求5所述的透明窗產生裝置,其特征在于,所述裝置本體包括主體部和形成在所述主體部上的底盤,所述主體部上形成有用于朝向所述工件的工作表面,所述底盤環繞所述主體部的工作表面設置,且所述底盤的底面與所述工作表面平齊。
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