[發明專利]脆性材料基板的截斷裝置以及切斷系統在審
| 申請號: | 202010220948.3 | 申請日: | 2020-03-25 |
| 公開(公告)號: | CN111747639A | 公開(公告)日: | 2020-10-09 |
| 發明(設計)人: | 江島谷彰 | 申請(專利權)人: | 三星鉆石工業股份有限公司 |
| 主分類號: | C03B33/03 | 分類號: | C03B33/03;C03B33/033 |
| 代理公司: | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人: | 劉文海 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 脆性 材料 截斷 裝置 以及 切斷 系統 | ||
本發明的目的在于提供能夠高效地截斷在產品區域的周圍具有邊料區域的脆性材料基板的截斷裝置以及切斷系統。截斷裝置是脆性材料基板的截斷裝置,對形成有刻劃線的脆性材料基板施加應力而沿著刻劃線從脆性材料基板的產品區域分割邊料區域,其具備:基板移送機構,其保持脆性材料基板并進行移送;以及邊料把持機構,其把持脆性材料基板的邊料區域,基板移送機構具有保持脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的脆性材料基板繞沿著該脆性材料基板的主面的法線的軸旋轉的回旋部,邊料把持機構具有把持邊料的把持部,基板保持部與把持部設置為能夠相對地接近或遠離。
技術領域
本發明涉及用于將玻璃基板等脆性材料基板進行切斷的脆性材料基板的截斷裝置以及切斷系統。
背景技術
在將玻璃基板等脆性材料基板進行切斷的加工中,以往,將刀輪按壓于基板表面而形成刻劃線,然后,沿著刻劃線施加外力而使龜裂從刻劃線發展,由此切斷成產品的形狀(參照專利文獻1)。
近年來,液晶顯示器面板等顯示器面板產品的形狀正在多樣化,角為曲線的四邊形、僅由曲線構成的形狀等的顯示器面板的生產不斷增加。
在先技術文獻
專利文獻
專利文獻1:WO2002/057192
發明內容
發明要解決的課題
在以往的通常截斷裝置中,需要與截斷的線對應地變更工作臺上的基板的位置。
因此,本發明的目的在于,提供一種能夠高效地截斷在產品區域的周圍具有邊料區域的脆性材料基板的截斷裝置。
用于解決課題的手段
為了解決上述課題而完成的本發明的脆性材料基板的截斷裝置是對形成有刻劃線的脆性材料基板施加應力而沿著刻劃線從脆性材料基板的產品區域分割邊料區域的截斷裝置,其中,該截斷裝置具備:基板移送機構,其保持脆性材料基板并進行移送;以及邊料把持機構,其把持脆性材料基板的邊料區域,基板移送機構具有保持脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的脆性材料基板繞沿著該脆性材料基板的主面的法線的軸旋轉的回旋部,邊料把持機構具有把持邊料區域的把持部,基板保持部與把持部設置為能夠相對地接近或遠離。
另外,為了解決上述課題而完成的本發明的脆性材料基板的切斷系統是在脆性材料基板形成刻劃線并對形成有刻劃線的脆性材料基板施加應力而沿著刻劃線從脆性材料基板的產品區域分割邊料區域的切斷系統,其中,該切斷系統具備:刻劃機構,其在脆性材料基板形成用于從產品區域分離邊料區域的刻劃線;基板移送機構,其保持脆性材料基板并進行移送;以及邊料把持機構,其把持脆性材料基板的邊料區域,基板移送機構具有保持脆性材料基板的基板保持部、以及使保持的脆性材料基板繞沿著該脆性材料基板的主面的法線的軸旋轉的回旋部,邊料把持機構具有把持邊料區域的把持部,基板保持部與把持部設置為能夠相對地接近或遠離。
發明效果
根據本發明的截斷裝置以及切斷系統,由于將基板保持為能夠繞該基板的主面的法線的軸旋轉,因此能夠在不更換基板的情況下高效地分離產品區域P的周圍的邊料區域。另外,能夠根據邊料區域的形狀,變更基板W的方向以及要把持的位置,因此能夠根據邊料的形狀可靠地進行截斷。
附圖說明
圖1是表示本發明的截斷裝置的一實施方式的主視示意圖。
圖2是本發明的截斷裝置的基板保持頭周圍的俯視示意圖。
圖3是形成有刻劃線的基板的示意圖。
圖4是用于說明本發明的截斷裝置的動作的示意圖。
圖5是將本發明的截斷裝置和刻劃裝置組合而成的基板切斷系統的主視示意圖。
附圖標記說明:
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