本發(fā)明提供了一種波前測量設(shè)備及波前測量方法，包括：波前補(bǔ)償系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及檢測系統(tǒng)；所述控制系統(tǒng)連接所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)和所述檢測系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)控制所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)補(bǔ)償輸入波前，使所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)輸出可被所述檢測系統(tǒng)檢測的波前。本發(fā)明直接對待測波前或器件的輸出波前進(jìn)行補(bǔ)償，并檢測補(bǔ)償后的波前，而非模擬待測波前，將模擬的待測波前與待測波前進(jìn)行干涉；波前補(bǔ)償系統(tǒng)對輸入的待測波前做補(bǔ)償，將其補(bǔ)償為接近平行光或球面波或已知的特定的波前，從而可被檢測設(shè)備讀取。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及光學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，具體地，涉及一種波前測量設(shè)備及波前測量方法。

背景技術(shù)

現(xiàn)有波前檢測設(shè)備主要包括：夏克哈特曼傳感器、橫向剪切干涉儀、曲率波前傳感器和波前分析儀，而波前檢測設(shè)備局限很多，例如夏克哈特曼波前傳感器等，只能檢測接近平行光或球面波的波前，對于復(fù)雜的波前無法檢測。

專利文獻(xiàn)CN 108278977A公開了一種測量儀和一種測量方法，其中提供的測量儀，包括光發(fā)生模塊、光信號(hào)接收模塊、光路系統(tǒng)、控制模塊和空間光調(diào)制模塊。該光發(fā)生模塊產(chǎn)生入射光束并將該入射光束經(jīng)該光路系統(tǒng)傳輸至該空間光調(diào)制模塊和待測物體。該空間光調(diào)制器接收第一調(diào)制信號(hào)和該入射光束，產(chǎn)生第一調(diào)制光束，并將其射入該光路系統(tǒng)。該光路系統(tǒng)接收該第一調(diào)制光束和參考光束，并傳輸至該光信號(hào)接收模塊。該光信號(hào)接收模塊生成測量數(shù)據(jù)并傳輸至該控制模塊。該方案通過與待測面的波前干涉來檢測面型。但其所涉及的是一種干涉儀，是通過模擬模擬待測器件波前并于實(shí)際器件波前相干涉的方式來實(shí)現(xiàn)檢測，而非本發(fā)明中對輸入的波前/待測器件的波前進(jìn)行補(bǔ)償，并直接檢測補(bǔ)償后的波前。

專利文獻(xiàn)CN 109520712A公開了一種光學(xué)檢測方法、系統(tǒng)及光學(xué)器件制造系統(tǒng)，包括：圖像生成系統(tǒng)：生成測試圖像信息，將含有所述測試圖像信息的光輸出至待測器件；圖像檢測系統(tǒng)：根據(jù)經(jīng)過所述待測器件的光得到檢測圖像信息；控制系統(tǒng)：根據(jù)所述檢測圖像信息的成像質(zhì)量，得到像差參數(shù)。通過補(bǔ)償待測器件的缺失和/或缺陷，從而輸出波前/成像。但其方案是通過對待測器件的輸入輸出波前進(jìn)行補(bǔ)償(補(bǔ)償缺失部分或缺陷而非待測器件)使其模擬最終成像結(jié)果，從而檢測待測器件的成像質(zhì)量，與本發(fā)明的補(bǔ)償輸入或待測器件波前使其可被后續(xù)檢測原理不同(波前檢測不成像，輸出的是平面波或球面波)，使用領(lǐng)域也不同，例如上述發(fā)明并不具備測量波前的功能，也無法檢測待測器件面型等。

發(fā)明內(nèi)容

針對現(xiàn)有技術(shù)中的缺陷，本發(fā)明的目的是提供一種波前測量設(shè)備。

根據(jù)本發(fā)明提供的一種波前測量設(shè)備，包括：波前補(bǔ)償系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及檢測系統(tǒng)；

所述控制系統(tǒng)連接所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)和所述檢測系統(tǒng)，所述控制系統(tǒng)控制所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)補(bǔ)償輸入波前，使所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)輸出可被所述檢測系統(tǒng)檢測的波前。

優(yōu)選地，所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)包含空間光調(diào)制器。

優(yōu)選地，所述空間光調(diào)制器使用純相位調(diào)制的硅基液晶或液晶器件和/或透射式的相位調(diào)制液晶器件。

優(yōu)選地，所述波前測量設(shè)備還包括光源系統(tǒng)。

優(yōu)選地，所述波前測量設(shè)備還包括光學(xué)耦合系統(tǒng)，設(shè)置于所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)前端和/或所述波前補(bǔ)償系統(tǒng)和所述檢測系統(tǒng)之間。

優(yōu)選地，所述光學(xué)耦合系統(tǒng)包含濾波系統(tǒng)。

優(yōu)選地，所述光學(xué)耦合系統(tǒng)包含透鏡。

優(yōu)選地，所述光學(xué)耦合系統(tǒng)包含分光和/或合光器件，將光源發(fā)出的光束分為多個(gè)部分，一部分輸入待測器件后被補(bǔ)償系統(tǒng)補(bǔ)償，另一部分作為參考光與補(bǔ)償系統(tǒng)輸出的光波前合路后輸入檢測系統(tǒng)。

優(yōu)選地，所述檢測系統(tǒng)包含CCD和/或CMOS。

優(yōu)選地，所述檢測系統(tǒng)通過檢測干涉條紋的方式來實(shí)現(xiàn)檢測。。