6.一種離子植入在線監測裝置，其特征在于，包括：獲取單元，計算單元和比較單元；

所述獲取單元，用于獲取當前進行離子植入的晶圓的理論離子植入劑量；以及用于獲取離子植入設備以所述理論離子植入劑量進行離子植入的運行參數；

所述計算單元，用于利用所述運行參數和所述理論離子植入劑量進行計算得到離子植入比；

所述比較單元，用于將所述離子植入比與預設植入比進行比較，以及根據比較結果確定本次離子植入得到的晶圓產品是否異常；

所述運行參數為靶盤上下移動次數、靶盤上下移動速度和離子束電流；

所述計算單元進一步用于：

將所述離子束電流與所述靶盤上下移動次數相乘，以得到第一乘積；

將所述靶盤上下移動速度與所述理論離子植入劑量相乘，以得到第二乘積；

將所述第一乘積與所述第二乘積的比值作為所述離子植入比；

其中，所述離子束電流以毫安為單位取值，所述靶盤上下移動速度以英尺/秒為單位取值，所述理論離子植入劑量以1E+13為單位取值，所述靶盤上下移動次數以次為單位取值。