在本觀察方法中，從光學相干斷層成像儀獲取測量對象在與深度方向相交的平面中的多個不同位置處的測量值(S100)。在本觀察方法中，對多個位置中的每個位置處的同一深度位置的測量值求平均(S104)。在本觀察方法中，在深度方向上對多個深度位置中的每個深度位置處的平均值計算積分值(S105)。在本觀察方法中，基于積分值來計算測量對象的收縮參數(S106)。

相關申請的交叉引用

本申請要求于2018年9月19日向日本專利局遞交的日本專利申請No.2018-175163的優先權，其公開內容通過引用整體并入本文中。

技術領域

本公開涉及一種觀察方法和觀察裝置。

背景技術

陶瓷在諸如硬度、耐熱性、耐腐蝕性和電氣絕緣性等各種物理性質方面是極佳的。因此，為了實現在特定應用中要求的功能而制造的陶瓷結構正在被用于多種用途。

陶瓷結構是通過對原料執行諸如混合步驟、成型步驟、干燥步驟和燒制步驟等步驟制成的(參見專利文獻1)。正在被制造的陶瓷結構在諸如干燥步驟和燒制步驟之類的步驟期間收縮。收縮后的結構被磨削以符合所要求的尺寸。收縮后的結構堅硬，磨削需要花費時間。因此，在成型步驟中的、收縮之前的結構(在下文中，被稱為“成型體”)的尺寸被確定為使得該結構盡可能地接近在收縮之后所要求的尺寸。

制造工藝期間的收縮取決于諸如成型體的性質之類的因素而變化。因此，即使利用相同的混合，要確定的成型體的尺寸也隨混合原料的每一批次而變化。在現有技術的成型步驟中，通過橡膠壓力機等來成型中間成型體，通過檢查中間成型體來估計收縮率，基于收縮率來確定成型體的尺寸，并且將中間成型體切削為與該成型體的尺寸相匹配的尺寸。中間成型體的檢查花費相對較長的時間。因此，提取由同一批次混合的原料制成的中間成型體的一部分以檢查該部分的中間成型體，并且將基于該檢查而估計的收縮率作為同一批次的成型體的收縮率，以調整諸如切削量之類的切削條件。

引文列表

專利文獻

專利文獻1：日本專利公開No.2017-170869

發明內容

根據第一方面的觀察方法包括：

從光學相干斷層成像儀獲取測量對象在與深度方向相交的平面中的不同的多個位置處的測量值；

通過對所述多個位置中的每個位置處的同一深度位置處的測量值求平均，來計算平均值；

通過在所述深度方向上對所述深度位置中的每個深度位置處的平均值進行積分，來計算積分值；以及

基于所述積分值來計算所述測量對象的收縮參數。

另外，根據第二方面的觀察方法包括：

從光學相干斷層成像儀獲取測量對象在與深度方向相交的平面中的不同的多個位置處的測量值；

通過在所述深度方向上對所述多個位置中的每個位置處的測量值進行積分，來計算積分值；

通過對針對所述多個位置中的每個位置計算的積分值求平均，來計算平均值；以及

基于所述平均值來計算所述測量對象的收縮參數。

另外，根據第三方面的觀察裝置包括：

控制器，所述控制器從光學相干斷層成像儀獲取測量對象在與深度方向相交的平面中的不同的多個位置處的測量值，通過對所述多個位置中的每個位置處的同一深度位置處的所述測量值求平均，來計算平均值，通過對所述深度位置中的每個深度位置處的平均值進行積分，來計算積分值，并且基于所述積分值來計算所述測量對象的收縮參數。

附圖說明

在附圖中：