[實用新型]一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置有效
| 申請號： | 201922193450.8 | 申請日： | 2019-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN211613464U | 公開（公告）日： | 2020-10-02 |
| 發明（設計）人： | 徐寶林;陳維龍 | 申請（專利權）人： | 無錫維勝威信息科技有限公司 |
| 主分類號： | B07C5/00 | 分類號： | B07C5/00;B07C5/02;B07C5/36 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 214135 江蘇省無錫市新吳區*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 半導體器件 缺陷 視覺 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置，其特征在于：包括通過傳送帶依次連接的上料裝置、檢測裝置、標記裝置和下料裝置，所述檢測裝置包括視覺檢測組件一、視覺檢測組件二和視覺檢測組件三，所述視覺檢測組件一包括相機一、鏡頭一和光源一，所述視覺檢測組件二包括相機二、鏡頭二和光源二，所述視覺檢測組件三包括相機三、鏡頭三和光源三，所述視覺檢測組件一、視覺檢測組件二均設置在傳送帶上方，所述視覺檢測組件三設置在傳送帶下方。
2.根據權利要求1所述的一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置，其特征在于：所述上料裝置包括上料架和傳動機構，所述傳動機構與傳送帶連接，所述上料架設置在傳送帶上方。
3.根據權利要求1所述的一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置，其特征在于：所述下料裝置包括良品下料架和不良品分料臺。
4.根據權利要求1所述的一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置，其特征在于：所述光源一、光源二、光源三均為環形光源。
5.根據權利要求1所述的一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置，其特征在于：所述檢測裝置部分的傳送帶上還設置有固定卡環。
6.根據權利要求1所述的一種半導體器件缺陷視覺檢測裝置，其特征在于：所述傳送帶位于視覺檢測組件二、視覺檢測組件三之間的部分為斷開狀。
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