本發(fā)明公開(kāi)了一種用來(lái)監(jiān)測(cè)帕金森綜合征的柔性振動(dòng)傳感器加工方法，包括以下步驟：旋涂光刻膠，曝光，顯影，蒸鍍Ni膜，除膠與清洗，生長(zhǎng)CA自交聯(lián)陣列，轉(zhuǎn)移至柔性基板，清洗及剝離，傳感器制作。本發(fā)明中生產(chǎn)出的柔性振動(dòng)傳感器具有功耗低、穩(wěn)定性高、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，故在可穿戴健康監(jiān)測(cè)方面具有巨大的應(yīng)用潛力，在制造具有低成本、耐用的柔性傳感器方向具有巨大潛力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及柔性電子領(lǐng)域，尤其涉及一種用來(lái)監(jiān)測(cè)帕金森綜合征的柔性振動(dòng)傳感器加工方法。

背景技術(shù)

帕金森病是當(dāng)今世界老齡人口的重要公共衛(wèi)生負(fù)擔(dān)。通過(guò)便攜式醫(yī)療傳感器監(jiān)測(cè)相關(guān)的生理信號(hào)，是診斷帕金森病的一種低成本且便捷的方法。其中薄膜電子學(xué)在柔性醫(yī)療傳感器的用中發(fā)揮了重要作用，它們的共同特征是固體薄膜和網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)。然而由于缺陷和間隙的存在，固體薄膜只能承受很小范圍內(nèi)的彎曲，并且由于納米線之間的強(qiáng)相互作用，網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)降低了彎曲傳感器的靈敏度。柔性便攜式傳感電子設(shè)備迫切需要找到新的材料和技術(shù)，以得到可靠的人體評(píng)估數(shù)據(jù)。在這里，我們公開(kāi)了一種新型的三維（3D）碳納米棒陣列（CA），其特征在于垂直排列的納米棒和自交聯(lián)的結(jié)構(gòu)。與二維（2D）碳納米管網(wǎng)絡(luò)和固體薄膜相比，這種自交互幾何形狀在應(yīng)變力作用下具有較高抗裂、抗碎性。實(shí)驗(yàn)表明在大約10000次彎曲實(shí)驗(yàn)中CA表現(xiàn)出高靈敏度和良好的穩(wěn)定性。因此基于CA的柔性裝置能夠記錄低頻振動(dòng)，并且能夠很好地監(jiān)測(cè)人體的震顫（帕金森等疾病的初始癥狀）。3D自交聯(lián)CA膜通過(guò)監(jiān)測(cè)與健康相關(guān)的靜止震顫，可用于相關(guān)疾病的早期診斷。在制造具有低成本、耐用的柔性傳感器方向具有巨大潛力。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是提供一種用來(lái)監(jiān)測(cè)帕金森綜合征的柔性振動(dòng)傳感器加工方法。

本發(fā)明的創(chuàng)新點(diǎn)在于本發(fā)明中生產(chǎn)出的柔性振動(dòng)傳感器具有功耗低、穩(wěn)定性高、靈敏度高等優(yōu)點(diǎn)，故在可穿戴健康監(jiān)測(cè)方面具有巨大的應(yīng)用潛力，在制造具有低成本、耐用的柔性傳感器方向具有巨大潛力。

為實(shí)現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明的技術(shù)方案是：一種用來(lái)監(jiān)測(cè)帕金森綜合征的柔性振動(dòng)傳感器加工方法，包括以下步驟：

（1）旋涂光刻膠：將光刻膠滴在耐高溫基板上，旋涂形成1~10um厚度的光刻膠薄膜，隨后在熱板上以90~120℃的溫度烘烤2~10分鐘以使光刻膠固化得到涂膠板；

（2）曝光：對(duì)涂膠板進(jìn)行光刻曝光，在光刻機(jī)上放置刻有基底圖案的掩膜板，將光刻膠板放置在掩膜板下方進(jìn)行光刻曝光得到圖案化改性涂膠板；

（3）顯影：使用光刻膠顯影劑對(duì)圖案化改性涂膠板進(jìn)行顯影得到顯影板，顯影板上設(shè)有和掩膜板上的基底圖案一樣的圖案或相反圖案；

（4）蒸鍍Ni膜：使用電子束蒸發(fā)設(shè)備將靶材設(shè)為Ni，對(duì)顯影板進(jìn)行蒸鍍，蒸鍍后退火處理后形成Ni膜厚度為5~10nm的Ni膜板；

（5）除膠與清洗：將Ni膜板放置于丙酮溶液中清洗，洗去Ni膜板上面的光刻膠和位于光刻膠表面的Ni膜，得到圖案化的Ni膜板；

（6）生長(zhǎng)CA自交聯(lián)陣列：將圖案化的Ni膜板放置于管式爐中，升溫至850~950℃，使圖案化的Ni膜板表面的Ni膜生成為液態(tài)Ni納米顆粒，接著引入H2，然后升溫至1000~1200℃，保持溫度10~20分鐘后將H2調(diào)整成CH4通入使管式爐內(nèi)部壓力逐漸增加至120~180mbar并保持1000~1200℃的溫度20~30分鐘，然后關(guān)閉管式爐并將CH4調(diào)整為 H2通入管式爐內(nèi)，開(kāi)始自然降溫，當(dāng)溫度降至100~300°C時(shí)將H2調(diào)整成惰性氣體通入，至管式爐內(nèi)部降至室溫得到CA自交聯(lián)陣列板；

（7）轉(zhuǎn)移至柔性基板：將可溶性基底材料滴在CA自交聯(lián)陣列板表面旋涂形成薄膜狀可溶性基底材料涂層；然后烘烤使薄膜狀可溶性基底材料涂層固化得到固化板；隨后將固化板置入5~40%的HF溶液中，刻蝕使固化板上的耐高溫基板剝離得到可溶性基底材料/CA陣列層;