1.一種用來監測帕金森綜合征的柔性振動傳感器加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

（1）旋涂光刻膠：將光刻膠滴在耐高溫基板上，旋涂形成1~10um厚度的光刻膠薄膜，隨后在熱板上以90~120℃的溫度烘烤2~10分鐘以使光刻膠固化得到涂膠板；

（2）曝光：在光刻機上放置刻有基底圖案的掩膜板，將涂膠板放置在掩膜板下方進行光刻曝光得到圖案化改性涂膠板；

（3）顯影：使用光刻膠顯影劑對圖案化改性涂膠板進行顯影得到顯影板，顯影板上設有和掩膜板上的基底圖案一樣的圖案或相反圖案；

（4）蒸鍍Ni膜：使用電子束蒸發設備將靶材設為Ni，對顯影板進行蒸鍍，蒸鍍后退火處理后形成Ni膜厚度為5~10nm的Ni膜板；

（5）除膠與清洗：將Ni膜板放置于丙酮溶液中清洗，洗去Ni膜板上面的光刻膠和位于光刻膠表面的Ni膜，得到圖案化的Ni膜板；

（6）生長碳納米棒CA自交聯陣列：將圖案化的Ni膜板放置于管式爐中，升溫至850~950℃，使圖案化的Ni膜板表面的Ni膜生成為液態Ni納米顆粒，接著引入H₂，然后升溫至1000~1200℃，保持溫度10~20分鐘后將H₂調整成CH₄通入使管式爐內部壓力逐漸增加至120~180mbar并保持1000~1200℃的溫度20~30分鐘，然后關閉管式爐并將CH₄調整為 H₂通入管式爐內，開始自然降溫，當溫度降至100~300°C時將H₂調整成惰性氣體通入，至管式爐內部降至室溫得到CA自交聯陣列板；

（7）剝離：將可溶性基底材料滴在CA自交聯陣列板表面后旋涂形成薄膜狀可溶性基底材料涂層；然后烘烤使薄膜狀可溶性基底材料涂層固化得到固化板；隨后將固化板置入5~40%的HF溶液中，刻蝕使固化板上的耐高溫基板剝離得到可溶性基底材料/CA陣列層；

（8）清洗及轉移至柔性基板：清洗可溶性基底材料/CA陣列層；隨后使用丙酮清洗去除可溶性基底材料/CA陣列層上的薄膜狀可溶性基底材料涂層得到CA陣列層，將CA陣列層轉移并附著到柔性基板上；

（9）傳感器制作：使用導電銀漿將電極連接到柔性基板的CA陣列層上后以70~150℃的溫度將導電銀漿固化得到成品。