[發明專利]一種拋光墊修整設備和方法在審
| 申請號： | 201910973513.3 | 申請日： | 2019-10-14 |
| 公開（公告）號： | CN110722456A | 公開（公告）日： | 2020-01-24 |
| 發明（設計）人： | 白宗權 | 申請（專利權）人： | 西安奕斯偉硅片技術有限公司 |
| 主分類號： | B24B53/00 | 分類號： | B24B53/00;B24B53/02;B24B53/095 |
| 代理公司： | 11243 北京銀龍知識產權代理有限公司 | 代理人： | 許靜;胡影 |
| 地址： | 710065 陜西省西安市*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 修整 拋光墊 修整面 修整器 拋光墊修整 分區域 面積和 | ||
1.一種拋光墊修整設備，其特征在于，包括：
第一修整器，所述第一修整器上形成有用于修整拋光墊的第一修整面；
第二修整器，所述第二修整器上形成有用于修整拋光墊的第二修整面，所述第一修整面的面積和第二修整面的面積不同。
2.根據權利要求1所述的拋光墊修整設備，其特征在于，還包括：
控制結構，用于控制所述第一修整器和所述第二修整器單獨或同時修整所述拋光墊。
3.根據權利要求2所述的拋光墊修整設備，其特征在于，所述控制結構用于控制所述第一修整器和/或所述第二修整器修整所述拋光墊時振動。
4.根據權利要求1所述的拋光墊修整設備，其特征在于，所述第一修整面和第二修整面分別為圓形，所述第一修整面的面積小于所述第二修整面的面積。
5.根據權利要求4所述的拋光墊修整設備，其特征在于，還包括：
控制結構，用于根據待修整區域的位置和/或面積來控制所述第一修整器和/或所述第二修整器來修整所述待修整區域。
6.根據權利要求5所述的拋光墊修整設備，其特征在于，所述控制結構，用于當所述拋光墊上的待修整區域位于所述拋光墊的邊緣時，控制所述第一修整器修整所述待修整區域；
用于當所述拋光墊上的待修整區域位于所述拋光墊的中央時，控制所述第二修整器修整所述待修整區域。
7.根據權利要求1所述的拋光墊修整設備，其特征在于，還包括：
用于承載所述拋光墊的承載臺，所述承載臺可旋轉以帶動所述拋光墊旋轉；
漿料供應結構，用于向所述拋光墊供應漿料。
8.一種拋光墊的修整方法，其特征在于，包括以下步驟：
提供待修整的拋光墊；
用具有第一修整面的第一修整器和/或具有第二修整面的第二修整器修整拋光墊上的待修整區域，所述第一修整面的面積和第二修整面的面積不同。
9.根據權利要求8所述的修整方法，其特征在于，用具有第一修整面的第一修整器和/或具有第二修整面的第二修整器修整拋光墊上的待修整區域，包括：
根據待修整區域的位置和/或面積來控制所述第一修整器和/或所述第二修整器來修整所述待修整區域。
10.根據權利要求9所述的修整方法，其特征在于，根據待修整區域的位置和/或面積來控制所述第一修整器和/或所述第二修整器來修整所述待修整區域，包括：
當所述拋光墊上的所述待修整區域位于所述拋光墊的邊緣時，控制所述第一修整器修整所述待修整區域；
用于當所述拋光墊上的所述待修整區域位于所述拋光墊的中央時，控制所述第二修整器修整所述待修整區域。
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