本發明公開了一種形貌信息檢測系統、方法及裝置，該形貌信息檢測系統，包括：受測樣品載體，用于放置受測樣品；形貌信息檢測裝置，包括微型力敏感元件，用于檢測所述受測樣品的形貌信息；除靜電裝置，用于消除所述微型力敏感元件與所述受測樣品之間的靜電；控制器，分別與所述形貌信息檢測裝置、所述除靜電裝置連接，與所述形貌信息檢測裝置、所述除靜電裝置連接，用于控制所述除靜電裝置和所述形貌信息檢測裝置分別進行除靜電和形貌信息檢測操作。通過設置除靜電裝置，對形貌檢測裝置與受測樣品之間的靜電進行消除，避免了形貌信息檢測裝置與受測樣品之間的靜電對形貌檢測結果的影響，提高了形貌檢測結果的準確性以及形貌檢測效率。

技術領域

本發明涉及設備檢測領域，具體涉及一種形貌信息檢測系統、方法及裝置。

背景技術

在實際產品制造與生產過程中，通常會對樣品表面形貌進行檢測，以生成出滿足要求的產品。相關技術中，樣品表面形貌檢測儀器基于檢測受測樣品表面與一個微型力敏感元件之間的極微弱的原子間相互作用力的原理來確定受測樣品的表面形貌特征。如廣泛使用的原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope，AFM)是一種利用微懸臂感受和放大懸臂上探針和受測樣品原子間的作用力，從而達到檢測樣品表面形貌的設備。即當原子間距離減小到一定程度以后，原子間的作用力將迅速上升，根據探針受力的大小就可以直接換算出受測樣品表面的高度，從而獲得受測樣品表面形貌的信息。

但在使用AFM進行受測樣品表面形貌檢測時，由于空氣中的靜電力作用，將導致探針下針速度變慢或者使得探針未能下降到目標位置就提示下針完成，影響獲得受測樣品表面形貌信息的準確性以及AFM的檢測效率；且空氣中產生的靜電，也會引起探針的共振頻率發生變化，導致探針振幅降低，同樣降低了獲取的受測樣品表面形貌信息的準確性。

發明內容

因此，本發明要解決的技術問題在于克服相關技術獲取受測樣品表面形貌信息準確性及效率低的缺陷，從而提供一種形貌信息檢測系統、方法及裝置。

根據第一方面，本發明實施例公開了一種形貌信息檢測系統，包括：受測樣品載體，用于放置受測樣品；形貌信息檢測裝置，包括微型力敏感元件，用于檢測所述受測樣品的形貌信息；除靜電裝置，用于消除所述微型力敏感元件與所述受測樣品之間的靜電；控制器，與所述形貌信息檢測裝置、所述除靜電裝置連接，用于控制所述除靜電裝置和所述形貌信息檢測裝置分別進行除靜電和形貌信息檢測操作。

結合第一方面，在第一方面第一實施方式中，所述除靜電裝置包括：去離子風機、除靜電離子風嘴或除靜電燈中的任意一種或幾種。

結合第一方面，在第一方面第二實施方式中，所述受測樣品載體包括重力傳感器，所述重力傳感器與所述控制器連接，用于檢測受測樣品。

結合第一方面，在第一方面第三實施方式中，所述受測樣品載體包括亮度傳感器，所述亮度傳感器與所述控制器連接，用于檢測受測樣品。

結合第一方面，在第一方面第四實施方式中，還包括：計時裝置，與所述控制器連接，用于確定所述除靜電裝置的工作時間。

根據第二方面，本發明實施例公開了一種形貌信息檢測方法，包括：當受測樣品載體上放置受測樣品時，開啟除靜電裝置；確定所述除靜電裝置的工作時間；當所述工作時間滿足目標時間時，開啟形貌信息檢測裝置以對所述受測樣品進行形貌信息檢測。

結合第二方面，在第二方面第一實施方式中，所述當所述工作時間滿足目標時間時，開啟形貌信息檢測裝置以對所述受測樣品進行形貌信息檢測，包括：

當所述工作時間滿足目標時間時，關閉所述除靜電裝置，開啟形貌信息檢測裝置以對所述受測樣品進行形貌信息檢測。

結合第二方面，在第二方面第二實施方式中，所述除靜電裝置的工作時間為25s-35s。