[發(fā)明專利]一種形貌信息檢測(cè)系統(tǒng)、方法及裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910917282.4 | 申請(qǐng)日： | 2019-09-26 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN110568225A | 公開（公告）日： | 2019-12-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李玲;李嘉琳;吳昊;劉瑞;田亮;李永平;賽朝陽;潘艷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 全球能源互聯(lián)網(wǎng)研究院有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01Q60/38 | 分類號(hào)： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 11250 北京三聚陽光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 林韻英 |
| 地址： | 102209 北京*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 形貌信息 除靜電裝置 檢測(cè)裝置 形貌檢測(cè) 靜電 力敏感元件 檢測(cè)系統(tǒng) 形貌檢測(cè)裝置 檢測(cè)操作 樣品載體 控制器 除靜電 檢測(cè) | ||
1.一種形貌信息檢測(cè)系統(tǒng)，其特征在于，包括：
受測(cè)樣品載體，用于放置受測(cè)樣品；
形貌信息檢測(cè)裝置，包括微型力敏感元件，用于檢測(cè)所述受測(cè)樣品的形貌信息；
除靜電裝置，用于消除所述微型力敏感元件與所述受測(cè)樣品之間的靜電；
控制器，與所述形貌信息檢測(cè)裝置、所述除靜電裝置連接，用于控制所述除靜電裝置和所述形貌信息檢測(cè)裝置分別進(jìn)行除靜電和形貌信息檢測(cè)操作。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述除靜電裝置包括：去離子風(fēng)機(jī)、除靜電離子風(fēng)嘴或除靜電燈中的任意一種或幾種。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述受測(cè)樣品載體包括重力傳感器，所述重力傳感器與所述控制器連接，用于檢測(cè)受測(cè)樣品。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，所述受測(cè)樣品載體包括亮度傳感器，所述亮度傳感器與所述控制器連接，用于檢測(cè)受測(cè)樣品。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的系統(tǒng)，其特征在于，還包括：計(jì)時(shí)裝置，與所述控制器連接，用于確定所述除靜電裝置的工作時(shí)間。
6.一種形貌信息檢測(cè)方法，其特征在于，包括：
當(dāng)受測(cè)樣品載體上放置受測(cè)樣品時(shí)，開啟除靜電裝置；
確定所述除靜電裝置的工作時(shí)間；
當(dāng)所述工作時(shí)間滿足目標(biāo)時(shí)間時(shí)，開啟形貌信息檢測(cè)裝置以對(duì)所述受測(cè)樣品進(jìn)行形貌信息檢測(cè)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述當(dāng)所述工作時(shí)間滿足目標(biāo)時(shí)間時(shí)，開啟形貌信息檢測(cè)裝置以對(duì)所述受測(cè)樣品進(jìn)行形貌信息檢測(cè)，包括：
當(dāng)所述工作時(shí)間滿足目標(biāo)時(shí)間時(shí)，關(guān)閉所述除靜電裝置，開啟形貌信息檢測(cè)裝置以對(duì)所述受測(cè)樣品進(jìn)行形貌信息檢測(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，其特征在于，所述除靜電裝置的工作時(shí)間為25s-35s。
9.一種形貌信息檢測(cè)裝置，其特征在于，包括：
除靜電裝置開啟模塊，用于當(dāng)受測(cè)樣品載體上放置受測(cè)樣品時(shí)，開啟除靜電裝置；
確定模塊，用于確定所述除靜電裝置的工作時(shí)間；
形貌信息檢測(cè)裝置開啟模塊，用于當(dāng)所述工作時(shí)間滿足目標(biāo)時(shí)間時(shí)，開啟形貌信息檢測(cè)裝置以對(duì)所述受測(cè)樣品進(jìn)行形貌信息檢測(cè)。
10.一種形貌信息檢測(cè)設(shè)備，其特征在于，包括：存儲(chǔ)器、處理器及存儲(chǔ)在存儲(chǔ)器上并可在處理器上運(yùn)行的計(jì)算機(jī)程序，所述處理器執(zhí)行所述程序時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求6-8任一項(xiàng)所述的形貌信息檢測(cè)方法的步驟。
11.一種可讀計(jì)算機(jī)存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)指令，其特征在于，該指令被處理器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)權(quán)利要求6-8任一項(xiàng)所述的形貌信息檢測(cè)方法的步驟。
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G01Q 掃描探針技術(shù)或設(shè)備；掃描探針技術(shù)的應(yīng)用，例如，掃描探針顯微術(shù)[SPM]
G01Q60-00 特殊類型的SPM [掃描探針顯微術(shù)]或其設(shè)備；其基本組成
G01Q60-02 .多個(gè)類型SPM，即包括兩種或更多種SPM技術(shù)
G01Q60-10 .STM [掃描隧道顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如STM探針
G01Q60-18 .SNOM [掃描近場(chǎng)光學(xué)顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如，SNOM探針
G01Q60-24 .AFM [原子力顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如AFM探針
G01Q60-44 .SICM [掃描離子電導(dǎo)顯微術(shù)]或其設(shè)備，例如SICM探針
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