[發明專利]一種直寫式曝光機工作臺組件及直寫式曝光機在審
| 申請號: | 201910388456.2 | 申請日: | 2019-05-10 |
| 公開(公告)號: | CN110007569A | 公開(公告)日: | 2019-07-12 |
| 發明(設計)人: | 蔡志國;王友車 | 申請(專利權)人: | 蘇州微影激光技術有限公司 |
| 主分類號: | G03F7/20 | 分類號: | G03F7/20 |
| 代理公司: | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 215123 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 直寫 曝光機工作臺 曝光機 曝光 卷材 卷放裝置 工作臺 卷收裝置 曝光系統 間隔設置 卷軸裝置 曝光材料 曝光區域 相對靜止 移動裝置 直接安裝 組件包括 卷收 拉扯 平行 移動 配置 | ||
本發明涉及曝光機技術領域,公開一種直寫式曝光機工作臺組件及直寫式曝光機。其中直寫式曝光機工作臺組件包括平行且間隔設置于工作臺上卷放裝置和卷收裝置,用于對待曝光卷材的卷放和卷收;與工作臺連接的移動裝置,被配置為能帶動工作臺相對曝光系統移動,以使曝光系統能對卷放裝置和卷收裝置之間的待曝光材料進行曝光。還公開了一共包括上述直寫式曝光機工作臺組件的直寫式曝光機。本發明通過將卷放裝置和卷軸裝置直接安裝在工作臺上,實現待曝光卷材與工作臺在曝光時時刻保持相對靜止,不會對待曝光卷材上靠近曝光區域的部分產生拉扯,減少了對卷材品質的影響,提高的曝光質量。
技術領域
本發明涉及曝光機技術領域,尤其涉及一種直寫式曝光機工作臺組件及直寫式曝光機。
背景技術
直寫式光刻技術是近年來發展較快的、以替代傳統的掩膜板式光刻技術的影像直接轉移技術,利用該技術生產的直寫式曝光機工藝流程短,生產成本低。直寫式曝光機可以將影像轉移到卷材或板材上,其中卷材可以自由彎曲、折疊,在移動通訊、可穿戴設備等領域上被廣泛的應用。
由于曝光系統的曝光區域有限,曝光過程中需要曝光系統和工作臺能相對移動以實現對待曝光區域進行完全曝光。目前,在直寫式曝光機對卷材的某一曝光區域進行曝光時,為實現對卷材某一曝光區域長度方向上的完全曝光,通常需要工作臺帶動卷材上的某一曝光區域進行微調,迫使卷材根據微調進行卷放和卷收。這樣會對卷材上靠近該曝光區域的部分產生拉扯,易對卷材的品質造成影響,同時影響曝光質量。
發明內容
基于以上所述,本發明的目的在于提供一種直寫式曝光機工作臺組件和一種直寫式曝光機,能實現對卷材的曝光,同時減少由于工作臺移動對靠近該曝光區域的卷材的拉扯,保證了卷材的品質和曝光質量。
為達上述目的,本發明采用以下技術方案:
一種直寫式曝光機工作臺組件,包括:
卷放裝置和卷收裝置,所述卷放裝置和所述卷收裝置平行且間隔設置于所述工作臺上,所述卷放裝置用于對待曝光卷材進行卷放,所述卷收裝置用于對所述待曝光卷材進行卷收;
移動裝置,其與所述工作臺連接,所述移動裝置被配置為能帶動所述工作臺相對曝光系統移動,以使所述曝光系統能對所述卷放裝置和所述卷收裝置之間的待曝光材料進行曝光。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述直寫式曝光機工作臺組件還包括與所述工作臺可拆卸連接的定位裝置,所述定位裝置被配置為用于對待曝光板材的定位。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述定位裝置包括均與所述工作臺連接的第一定位邊和第二定位邊,所述第一定位邊和所述第二定位邊分別與所述待曝光板材的不同側抵接以進行限定。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述工作臺還包括用于夾緊所述待曝光卷材的夾緊裝置,所述夾緊裝置位于所述卷放裝置和所述卷收裝置之間。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述夾緊裝置包括與所述工作臺平行設置的夾緊桿,所述夾緊桿能彈性夾緊所述工作臺上的所述待曝光卷材。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述夾緊裝置還包括拉伸彈簧,所述拉伸彈簧的一端與所述夾緊桿連接,所述拉伸彈簧的另一端與所述工作臺連接。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述夾緊桿的兩端均設置有旋轉桿,所述旋轉桿的一端與所述夾緊桿連接,所述旋轉桿的另一端與所述工作臺轉動連接,所述旋轉桿與所述工作臺之間設置有扭簧。
作為一種直寫式曝光機工作臺組件的優選方案,所述移動裝置包括:
第一滑軌,沿第一方向延伸;
滑臺,其與所述第一滑軌滑動連接,且所述滑臺上還設置有沿第二方向延伸第二滑軌,所述工作臺能沿所述第二滑軌滑動。
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