[發(fā)明專利]一種直寫式曝光機工作臺組件及直寫式曝光機在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910388456.2 | 申請日： | 2019-05-10 |
| 公開（公告）號： | CN110007569A | 公開（公告）日： | 2019-07-12 |
| 發(fā)明（設計）人： | 蔡志國;王友車 | 申請（專利權）人： | 蘇州微影激光技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源專利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 215123 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 直寫 曝光機工作臺 曝光機 曝光 卷材 卷放裝置 工作臺 卷收裝置 曝光系統(tǒng) 間隔設置 卷軸裝置 曝光材料 曝光區(qū)域 相對靜止 移動裝置 直接安裝 組件包括 卷收 拉扯 平行 移動 配置 | ||
1.一種直寫式曝光機工作臺組件，包括工作臺(20)，其特征在于，還包括：
卷放裝置(21)和卷收裝置(22)，所述卷放裝置(21)和所述卷收裝置(22)平行且間隔設置于所述工作臺(20)上，所述卷放裝置(21)用于對待曝光卷材進行卷放，所述卷收裝置(22)用于對所述待曝光卷材進行卷收；
移動裝置(4)，其與所述工作臺(20)連接，所述移動裝置(4)被配置為能帶動所述工作臺(20)相對曝光系統(tǒng)(3)移動，以使所述曝光系統(tǒng)(3)能對所述卷放裝置(21)和所述卷收裝置(22)之間的待曝光材料進行曝光。
2.根據(jù)權利要求1所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述直寫式曝光機工作臺組件還包括與所述工作臺(20)可拆卸連接的定位裝置(24)，所述定位裝置(24)被配置為用于對待曝光板材的定位。
3.根據(jù)權利要求2所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述定位裝置(24)包括均與所述工作臺(20)連接的第一定位邊和第二定位邊，所述第一定位邊和所述第二定位邊分別與所述待曝光板材的不同側抵接以進行限定。
4.根據(jù)權利要求1所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述工作臺(20)還包括用于夾緊所述待曝光卷材的夾緊裝置(23)，所述夾緊裝置(23)位于所述卷放裝置(21)和所述卷收裝置(22)之間。
5.根據(jù)權利要求4所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述夾緊裝置(23)包括與所述工作臺(20)平行設置的夾緊桿，所述夾緊桿能彈性夾緊所述工作臺(20)上的所述待曝光卷材。
6.根據(jù)權利要求5所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述夾緊裝置(23)還包括拉伸彈簧，所述拉伸彈簧的一端與所述夾緊桿連接，所述拉伸彈簧的另一端與所述工作臺(20)連接。
7.根據(jù)權利要求5所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述夾緊桿的兩端均設置有旋轉桿，所述旋轉桿的一端與所述夾緊桿連接，所述旋轉桿的另一端與所述工作臺(20)轉動連接，所述旋轉桿與所述工作臺(20)之間設置有扭簧。
8.根據(jù)權利要求1所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述移動裝置(4)包括：
第一滑軌(41)，沿第一方向延伸；
滑臺(42)，其與所述第一滑軌(41)滑動連接，且所述滑臺(42)上還設置有沿第二方向延伸第二滑軌(43)，所述工作臺(20)能沿所述第二滑軌(43)滑動。
9.根據(jù)權利要求8所述的直寫式曝光機工作臺組件，其特征在于，所述移動裝置(4)還包括升降機構(44)，所述升降機構(44)的升降基座和升降端其中一個與所述第二滑軌(43)滑動連接，另一個與所述工作臺(20)連接，以驅動所述工作臺(20)升降。
10.一種直寫式曝光機，其特征在于，包括如權利要求1-9任一項所述的直寫式曝光機工作臺組件，所述直寫式曝光機還包括曝光系統(tǒng)(3)，所述曝光系統(tǒng)(3)被配置為能對所述直寫式曝光機工作臺組件上的所述待曝光材料進行曝光。
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