[發明專利]一種基板顯影方法和基板顯影裝置在審
| 申請號： | 201910275887.8 | 申請日： | 2019-04-08 |
| 公開（公告）號： | CN110083021A | 公開（公告）日： | 2019-08-02 |
| 發明（設計）人： | 劉紅亮 | 申請（專利權）人： | 深圳市華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/30 | 分類號： | G03F7/30;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知識產權事務所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黃威 |
| 地址： | 518132 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影 補液 基板顯影 開始時刻 顯影槽 顯影液 基板 時長 預設 指令 濃度波動 顯影過程 顯影設備 產能 放入 減小 宕機 攜帶 申請 | ||
1.一種基板顯影方法，其特征在于，包括：
獲取顯影指令，所述顯影指令攜帶基板所需的顯影時長和顯影開始時刻；
根據所述顯影開始時刻和所述顯示時長，確定第一補液時刻和第二補液時刻，所述第一補液時刻在所述顯影開始時刻之前，所述第二補液時刻在所述顯影開始時刻之后；
在所述第一補液時刻，向顯影槽注入第一預設濃度顯影液，以增大所述顯影槽內顯影液的濃度；
在所述顯影開始時刻，將所述基板放入所述顯影槽中進行顯影；
在顯影過程中，在所述第二補液時刻，向所述顯影槽注入第二預設濃度顯影液，以減小所述顯影槽內顯影液的濃度。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，所述根據所述顯影開始時刻和所述顯示時長，確定第一補液時刻和第二補液時刻的步驟，具體包括：
根據所述顯影開始時刻和第一預設差值，確定第一補液時刻；
根據所述顯影開始時刻和所述顯影時長，確定顯影結束時刻；
根據所述顯影結束時刻和第二預設差值，確定第二補液時刻。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述第一補液時刻，向顯影槽注入第一預設濃度顯影液的步驟之后，還包括：
開始計時；
判斷所述計時時長是否到達第一預設時長；
若是，則檢測所述顯影槽內顯影液的當前濃度，并判斷所述當前濃度是否大于預設濃度；
若所述當前濃度不大于所述預設濃度，則向所述顯影槽注入所述第一預設濃度顯影液，并重新開始計時。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在顯影過程中，在所述第二補液時刻，向所述顯影槽注入第二預設濃度顯影液的步驟之后，還包括：
開始計時；
判斷所述計時時長是否到達第二預設時長；
若是，則檢測所述顯影槽內顯影液的當前濃度，并判斷所述當前濃度是否大于預設濃度；
若所述當前濃度大于所述預設濃度，則向所述顯影槽注入所述第二預設濃度顯影液，并重新開始計時。
5.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，在所述將所述基板放入所述顯影槽中進行顯影的步驟之后，還包括：
統計當前已進行顯影的所述基板的數量；
判斷所述數量是否到達預設數量；
若是，則向所述顯影槽中注入第三預設濃度顯影液，以增大所述顯影槽內顯影液的濃度，并以下一已顯影基板開始重新統計數量。
6.一種基板顯影裝置，其特征在于，包括：
獲取模塊，用于獲取顯影指令，所述顯影指令攜帶基板所需的顯影時長和顯影開始時刻；
確定模塊，用于根據所述顯影開始時刻和所述顯示時長，確定第一補液時刻和第二補液時刻，所述第一補液時刻在所述顯影開始時刻之前，所述第二補液時刻在所述顯影開始時刻之后；
第一補液模塊，用于在所述第一補液時刻，向顯影槽注入第一預設濃度顯影液，以增大所述顯影槽內顯影液的濃度；
顯影模塊，用于在所述顯影開始時刻，將所述基板放入所述顯影槽中進行顯影；
第二補液模塊，用于在顯影過程中，在所述第二補液時刻，向所述顯影槽注入第二預設濃度顯影液，以減小所述顯影槽內顯影液的濃度。
7.根據權利要求6所述的基板顯影裝置，其特征在于，所述確定模塊具體包括：
第一確定單元，用于根據所述顯影開始時刻和第一預設差值，確定第一補液時刻；
第二確定單元，用于根據所述顯影開始時刻和所述顯影時長，確定顯影結束時刻；
第三確定單元，用于根據所述顯影結束時刻和第二預設差值，確定第二補液時刻。
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