偷拍一区二区三区_亚洲欧美日韩偷拍_亚洲第一免费网站_99精品视频在线免费观看_久久亚洲精品国产_国产成人无码一二三区视频_欧美激情xxxxx_国产精品毛片高清在线完整版_一色道久久88加勒比一_一区二区欧美久久_五月婷婷六月婷婷_国产精品成人久久久久

[發(fā)明專利]具有場板結(jié)構(gòu)的晶體管溝槽結(jié)構(gòu)在審

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 201910169405.0 申請日: 2019-03-07
公開(公告)號: CN110265478A 公開(公告)日: 2019-09-20
發(fā)明(設(shè)計)人: B·格羅特;S·R·梅霍特拉;L·拉蒂克;V·坎姆卡 申請(專利權(quán))人: 恩智浦美國有限公司
主分類號: H01L29/423 分類號: H01L29/423;H01L29/40;H01L29/78;H01L21/336
代理公司: 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038 代理人: 張小穩(wěn)
地址: 美國得*** 國省代碼: 美國;US
權(quán)利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關(guān)鍵詞: 晶體管 溝槽結(jié)構(gòu) 場板結(jié)構(gòu) 柵極結(jié)構(gòu) 阱區(qū) 側(cè)向 導(dǎo)電場板 彼此分離 介電質(zhì) 漏極區(qū) 源極區(qū) 正側(cè)向 源極
【權(quán)利要求書】:

1.一種晶體管裝置,其特征在于,包括:

第一晶體管的第一源極區(qū);

所述第一晶體管的第一阱區(qū);

第二晶體管的第二源極區(qū);

所述第二晶體管的第二阱區(qū);

溝槽結(jié)構(gòu),其正側(cè)向定位在所述第一阱區(qū)與所述第二阱區(qū)之間,所述溝槽結(jié)構(gòu)包括:

所述第一晶體管的第一柵極結(jié)構(gòu);

所述第二晶體管的第二柵極結(jié)構(gòu);

第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu);

第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu);

其中所述第一柵極結(jié)構(gòu)和所述第二柵極結(jié)構(gòu)各自包括在所述溝槽結(jié)構(gòu)中正側(cè)向定位在所述第一阱區(qū)與所述第二阱區(qū)之間的部分;

其中所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)和所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)各自包括正側(cè)向定位在所述第一柵極結(jié)構(gòu)與所述第二柵極結(jié)構(gòu)之間的部分;

所述第一晶體管和所述第二晶體管的漏極區(qū),其包括定位在所述溝槽結(jié)構(gòu)正下方的部分。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管裝置,其特征在于,所述第一阱區(qū)包括定位在所述第一源極區(qū)正下方且在所述第一柵極結(jié)構(gòu)正側(cè)方的所述第一晶體管的第一溝道區(qū),所述第二阱區(qū)包括定位在所述第二源極區(qū)正下方且在所述第二柵極結(jié)構(gòu)的正側(cè)方的所述第二晶體管的第二溝道區(qū),所述第一溝道區(qū)和所述第二溝道區(qū)各自被表征為豎直溝道區(qū)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管裝置,其特征在于,所述第一阱區(qū)和所述第二阱區(qū)各自包括具有第一類型的凈導(dǎo)電率摻雜的部分,所述漏極區(qū)包括具有第一濃度的第二類型的凈導(dǎo)電率的部分,其中第三區(qū)定位在所述第一阱區(qū)與所述漏極區(qū)之間且第四區(qū)定位在所述第二阱區(qū)與所述漏極區(qū)之間,所述第三區(qū)和所述第四區(qū)各自具有第二濃度的所述第二類型的凈導(dǎo)電率,所述第二濃度小于所述第一濃度。

4.一種制造晶體管的方法,其特征在于,包括:

在基板中形成溝槽;

在所述溝槽中形成場板材料層;

將在所述溝槽中的所述場板材料層分離成第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)和第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu);

在所述溝槽中的所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)之間形成介電分離;

在所述溝槽中形成第一晶體管的第一柵極結(jié)構(gòu);

在所述溝槽中形成第二晶體管的第二柵極結(jié)構(gòu);

在鄰近所述溝槽的第一側(cè)壁的所述基板的第一阱區(qū)中形成第一源極區(qū),所述第一源極區(qū)用于所述第一晶體管;

在鄰近于所述溝槽的第二側(cè)壁的所述基板中的第二阱區(qū)中形成第二源極區(qū),所述溝槽的第二側(cè)壁與所述溝槽的所述第一側(cè)壁相對,所述第二源極區(qū)用于所述第二晶體管;

其中,所述第一晶體管和所述第二晶體管的漏極區(qū)包括定位在所述溝槽正下方的部分;

其中,所述第一柵極結(jié)構(gòu)、所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)、所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)和所述第二柵極結(jié)構(gòu)在所述溝槽中定位在所述第一阱區(qū)與所述第二阱區(qū)之間的側(cè)向線中,其中,介電質(zhì)定位在所述溝槽中且在所述側(cè)向線中使所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)分離。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述溝槽形成于具有第一類型的凈摻雜劑導(dǎo)電率的基板的區(qū)域中,其中所述區(qū)域包括具有第一濃度的所述第一類型的凈摻雜劑導(dǎo)電率的上部區(qū)和具有第二濃度的所述第一類型的凈摻雜劑導(dǎo)電率的下部區(qū),所述第二濃度高于所述第一濃度,所述上部區(qū)在所述下部區(qū)正上方,所述漏極區(qū)包括定位于所述下部區(qū)中的部分。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)沿著所述側(cè)向線與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)側(cè)向分離的距離大于所述第一柵極結(jié)構(gòu)沿著所述側(cè)向線與所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)分離的距離和所述第二柵極結(jié)構(gòu)沿著所述側(cè)向線與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)分離的距離。

7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步包括:

將所述第一柵極結(jié)構(gòu)電耦合到所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu),以便在操作期間在相同電位下偏壓;以及

將所述第二柵極結(jié)構(gòu)電耦合到所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu),以便在操作期間在相同電位下偏壓。

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分,VIP會員可以免費(fèi)下載。

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于恩智浦美國有限公司,未經(jīng)恩智浦美國有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服

本文鏈接:http://www.17sss.com.cn/pat/books/201910169405.0/1.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。

×

專利文獻(xiàn)下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產(chǎn)權(quán)局專利說明書;

2、支持發(fā)明專利 、實(shí)用新型專利、外觀設(shè)計專利(升級中);

3、專利數(shù)據(jù)每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內(nèi)容包括專利技術(shù)的結(jié)構(gòu)示意圖流程工藝圖技術(shù)構(gòu)造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進(jìn)行下載,點(diǎn)擊【登陸】 【注冊】

關(guān)于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權(quán)聲明 網(wǎng)站地圖 友情鏈接 企業(yè)標(biāo)識 聯(lián)系我們

鉆瓜專利網(wǎng)在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
天天操天天干天天操天天干| 日本在线一级片| 国产一区二区三区精品欧美日韩一区二区三区 | 亚洲国产毛片完整版| 国产探花在线观看视频| 中文字幕成人在线视频| 久88久久88久久久| 亚洲国产cao| 尤物yw午夜国产精品视频明星| 国产在线精品不卡| 大又大又粗又硬又爽少妇毛片 | 日韩精品在线观看av| 国产一区二区毛片| 亚洲精品日韩精品| 国产日韩欧美精品一区| 亚洲精品视频久久| 成年人看的毛片| 国产精品久久久久久久免费看| 欧美高清在线播放| 精久久久久久久久久久| 日韩精品一级中文字幕精品视频免费观看 | 91麻豆国产视频| 制服丝袜国产精品| 国产原创popny丨九色| 天天影视色香欲综合网老头| www.av导航| 97色在线视频观看| 九九久久精品视频| 精品人妻人人做人人爽夜夜爽| 午夜精品久久久久久久99热黄桃 | 免费观看av网站| 青青国产在线观看| 国产成人免费视频网站高清观看视频| 最新天堂在线视频| 欧美一区二区在线| 亚洲国产成人在线播放| 成人听书哪个软件好| 男女超爽视频免费播放| 亚洲va国产va欧美va观看| 国产精品久久久久久久av| 国产精品电影一区| 久久精品国产亚洲av久| 色婷婷香蕉在线一区二区| 亚洲第一天堂在线观看| 樱花草www在线| 洋洋成人永久网站入口| 欧美激情第六页| 国产精品亚洲视频| 日本午夜精品理论片a级appf发布| 国产做受高潮漫动| 亚洲国产小视频| 蜜桃精品成人影片| 欧美日韩视频在线第一区| 午夜精品久久久久久久99热影院| 资源网第一页久久久| 国产中文字幕日韩| 97超碰色婷婷| 日韩精品免费在线| 欧美极品aaaaabbbbb| 日韩三级视频在线看| 污污内射在线观看一区二区少妇| 精品动漫一区二区| 国产精品av在线播放| 国产suv一区二区| 麻豆传媒一区二区| 天堂成人国产精品一区| 国产在线一区二区三区四区| 日本人妖一区二区| 日韩av黄色在线观看| 中文字幕乱码视频| 欧美在线视频一二三| 日批视频在线播放| 免费在线观看污污视频| 夜夜精品视频一区二区| 国产高清视频网站| 亚洲精品一区中文| 国产精品资源在线观看| 日韩视频在线观看免费视频| 99久久99久久精品| 尤物99国产成人精品视频| 精品人妻久久久久一区二区三区| 6080国产精品| 国产成人午夜电影网| 国产一区二区三区在线免费| 成人一级视频在线观看| 日韩av在线播放不卡| 色国产综合视频| 日韩精品一区二区三区在线| 国产又粗又猛又爽又黄| 亚洲激情免费观看| 国产精品精品软件男同| 欧美成人video| 人妻aⅴ无码一区二区三区| 日韩av一区二区在线观看| 中文字幕在线字幕中文| 国产精品专区第二| 性插视频在线观看| 欧美一区深夜视频| 五月激情婷婷网| 欧美日韩一区二区三区电影| 一区二区三区免费| 久久久久久久久久久久| 欧美不卡视频一区发布| 999这里只有精品| 99理论电影网| 99热精品国产| 亚洲36d大奶网| 欧美日韩久久一区| 久久无码精品丰满人妻| 欧美在线免费观看| 91丨九色丨尤物| 精品欧美久久久| 一区二区成人av| 亚洲精品成人电影| 精品国产乱码久久久久久久软件 | 免费黄色片视频| 国产一区红桃视频| 亚洲欧美日韩在线| 亚洲成av人片一区二区梦乃| 欧美三级电影精品| 亚洲欧美中文在线视频| 中文字幕不卡av| 国产一区香蕉久久| 国产精品mp4| 欧美zozozo| 欧美国产一区二区在线观看 | 别急慢慢来1978如如2| 欧美成人伊人久久综合网| 奇米四色…亚洲| 成熟亚洲日本毛茸茸凸凹| 久久精品久久综合| 五月婷婷六月香| 四季av综合网站| 亚洲国产精品第一页| 亚洲欧美激情在线视频| 国产视频久久网| 精品国产99国产精品| 日韩av大片免费看| 国内精品在线观看视频| 亚洲午夜久久久久久久久| 亚洲国产日韩美| 欧美一级片在线看| 黑人精品xxx一区一二区| 国产乱码精品一区二三区蜜臂 | 一区二区三区av电影| 一级淫片免费看| jizz中国少妇| 久久国内精品视频| 国产a精品视频| 人人妻人人玩人人澡人人爽| 日本不卡在线观看视频| 久久久天堂国产精品| 水蜜桃色314在线观看| 欧美在线视频免费播放| 日韩精品在线视频观看| 精品福利在线导航| 成人免费午夜电影| 国产精品户外野外| 亚洲a级在线观看| 欧美黑人xxxxx| 中文字幕av久久| 日韩精品在线视频观看| 久久久精品在线| 2019最新中文字幕| 在线观看18视频网站| 亚洲天堂网一区二区| 国产极品美女在线| 国产一区在线观看免费| 影音先锋黄色资源| 激情综合网婷婷| 2019日本中文字幕| 欧美性猛交xxxx黑人交| 国产·精品毛片| 6—12呦国产精品| 精品人妻无码一区| 久久久免费视频网站| 潘金莲一级淫片aaaaa免费看| 日韩中文字幕av在线| 成年人视频网站免费| 国产精品久久久久久久一区探花| 欧美疯狂做受xxxx高潮| 亚洲999一在线观看www| 欧美视频在线免费播放| 欧美性受黑人性爽| 中文字幕在线国产| 无码视频一区二区三区| 亚洲性图一区二区| 国产又粗又猛又爽又黄的视频四季| www.av视频在线观看| 狠狠色丁香久久婷婷综合丁香| 日韩大陆毛片av| 久久久久久久免费视频| 亚洲网站免费观看| 欧美日韩国产一区中文午夜| 国产日韩专区在线| 国产午夜伦鲁鲁| 久久久久久国产精品日本| 最新日韩免费视频| 日本波多野结衣在线| 国产性做久久久久久| 欧美日韩在线影院| 在线成人av影院| 色婷婷综合成人av| 国产精品综合久久久久久| 日韩免费在线播放| 欧美精品videossex性护士| 亚洲欧美日韩天堂一区二区| 日韩网站在线看片你懂的| 日韩欧美国产高清91| 黄色精品在线看| 亚洲国产成人tv| 欧美成人精品影院| 欧美a在线视频| 欧美性生交xxxxx| 无码人妻aⅴ一区二区三区有奶水| 国产乱人伦偷精品视频不卡 | 亚洲一二区在线观看| 亚洲一区二区三区高清视频| 亚洲一区二区三区四区的| 欧美日韩精品不卡| www.爱爱.com| 国产91|九色| 少妇户外露出[11p]| 99r国产精品| 日韩欧美一级精品久久| 国产69精品久久久久9999apgf | 香蕉久久一区二区三区| 天涯成人国产亚洲精品一区av| 97精品在线观看| 日韩av免费看| 成人av在线不卡| 91久久精品国产91性色69 | 国产欧美日韩中文字幕| 午夜激情视频网| 精品人妻伦一二三区久久| 亚洲妇女屁股眼交7| 中文字幕在线一区| 在线观看一区二区视频| 丝袜美腿亚洲一区二区| 美女精品久久久| 国产成人短视频| 日本一区二区免费看| 日韩久久久久久久久久久久| 中文字幕人妻一区| 日本在线视频免费观看| 最新av电影网站| 亚洲免费观看高清| 91在线免费视频| 黄色一级视频免费| 少妇av一区二区三区| 中文字幕在线播放视频| 欧美疯狂做受xxxx富婆| www.中文字幕av| 91九色02白丝porn| 尤物av无码色av无码| 特黄视频在线观看| 精品亚洲一区二区三区在线播放| 欧美xxxx黑人又粗又长精品| 中文字幕av免费在线观看| 亚洲v精品v日韩v欧美v专区| 久久精品ww人人做人人爽| 欧美日韩激情视频在线观看| 永久免费毛片在线观看| 一区二区三区蜜桃网| 九色91porny| 欧美嫩在线观看| a级在线免费观看| 欧美草草影院在线视频| aaaaa级少妇高潮大片免费看| 国产精品久久久久永久免费观看| 特级黄色录像片| 欧美国产日产图区| 你懂的av在线| 久久精品人人做人人综合| 精品少妇v888av| 欧美亚洲免费在线| 国产精品高清无码| 一卡二卡三卡日韩欧美| 亚洲欧美中文日韩v在线观看| 92看片淫黄大片欧美看国产片| 中文字幕无码不卡免费视频| 免费在线观看黄视频| 国产乱码精品一区二区三区忘忧草| 欧美亚州韩日在线看免费版国语版| 性刺激综合网| 男人的天堂a在线| 午夜免费久久久久| www亚洲视频| 亚洲欧洲免费视频| 91免费国产视频| 激情综合网五月天| 婷婷开心久久网| 成人免费观看cn| 日本一区二区三区在线不卡| 日韩女优人人人人射在线视频| 亚洲欧美视频二区| 久久精品国内一区二区三区| 日韩在线免费av| 青娱乐国产精品视频| 成人禁用看黄a在线| 欧美日韩xxxxx| 激情视频在线播放| 亚洲爱爱爱爱爱| 精品人妻一区二区免费视频| 亚洲第一福利一区| 可以看毛片的网址| 激情成人在线视频| 激情四射综合网| 免费成人在线观看av| 亚洲电影在线播放| 国产精品theporn动漫| 国产大片精品免费永久看nba| 国产精品中文字幕一区二区三区| 草b视频在线观看| 中文字幕亚洲精品在线观看| 欧美日韩在线免费播放| 中文天堂在线一区| 男人添女人下部视频免费| 94色蜜桃网一区二区三区| 日韩精品一区二区三区色偷偷| 99久久精品国产麻豆演员表| 中文字幕第一页亚洲| 国产91视频在线| 久久久精品视频成人| 99久久精品久久亚洲精品| 欧美精品一卡二卡| 日韩在线第三页| 26uuu国产电影一区二区| 欧美亚洲一二三区| 亚洲欧美一区二区三区久本道91| 亚洲欧洲一区二区| 99久久99久久免费精品蜜臀| 日韩毛片在线免费看| 亚洲欧美中日韩| 中文字字幕码一二三区| 国产69精品久久久久99| 激情图片小说一区| 人妻无码视频一区二区三区| 亚洲欧美精品suv| 人妻 日韩精品 中文字幕| 91亚洲国产成人久久精品网站| 久久亚洲美女| 国产一区在线免费| 国产精品免费丝袜| 亚洲av人人澡人人爽人人夜夜| 色偷偷av亚洲男人的天堂| 国产视频www| 97久久精品人搡人人玩| 国产中文字幕视频| 欧美激情亚洲激情| 中国精品一区二区| 国产精品久久久久久久美男| 男人天堂手机在线观看| 成人免费激情视频| 亚洲精品国产一区二区精华液| xxxxx99| 国产精品免费一区| 男人的天堂亚洲一区| 日韩欧美一区三区| 日韩你懂的在线播放| 久久综合影视| 亚洲熟女乱综合一区二区三区| 国语精品免费视频| 亚洲天堂精品在线| 国产精品久久久久久久蜜臀| 久久久久久久黄色| 亚洲不卡视频在线| 国产精品网址在线| www.一区二区| 亚洲网中文字幕| 久久福利视频网| 成人动漫av在线| av无码一区二区三区| 国产成人精品免高潮在线观看| 成人91在线观看| asian性开放少妇pics| 97不卡在线视频| 中文字幕精品在线观看| 91久久久一线二线三线品牌| 国产欧美一区二区三区在线老狼 | 日韩电影在线一区二区三区| 日韩黄色片在线| 精品少妇一区二区三区在线视频| 国产日本精品视频| 国产视频一视频二| 欧美美最猛性xxxxxx| 日本欧洲一区二区| 国产日韩成人内射视频| 欧美激情小视频| 97se狠狠狠综合亚洲狠狠| 国产午夜手机精彩视频| 宅男噜噜99国产精品观看免费| 在线精品高清中文字幕| 国产欧美一区二区精品性色| 中国老熟女重囗味hdxx| 91高潮在线观看| 成人国产亚洲欧美成人综合网| 亚洲精品第三页| 成人综合av网| 欧美一区2区视频在线观看| 日本v片在线高清不卡在线观看| 一本色道久久hezyo无码| 久久久久久久国产| 26uuu另类欧美| 一级片一级片一级片| 美女主播视频一区| 欧美va亚洲va在线观看蝴蝶网| 麻豆中文一区二区| 久久亚洲AV成人无码国产野外| 91情侣偷在线精品国产|