[發(fā)明專利]具有場板結(jié)構(gòu)的晶體管溝槽結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910169405.0 | 申請日: | 2019-03-07 |
| 公開(公告)號: | CN110265478A | 公開(公告)日: | 2019-09-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | B·格羅特;S·R·梅霍特拉;L·拉蒂克;V·坎姆卡 | 申請(專利權(quán))人: | 恩智浦美國有限公司 |
| 主分類號: | H01L29/423 | 分類號: | H01L29/423;H01L29/40;H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司: | 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所 11038 | 代理人: | 張小穩(wěn) |
| 地址: | 美國得*** | 國省代碼: | 美國;US |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 晶體管 溝槽結(jié)構(gòu) 場板結(jié)構(gòu) 柵極結(jié)構(gòu) 阱區(qū) 側(cè)向 導(dǎo)電場板 彼此分離 介電質(zhì) 漏極區(qū) 源極區(qū) 正側(cè)向 源極 | ||
1.一種晶體管裝置,其特征在于,包括:
第一晶體管的第一源極區(qū);
所述第一晶體管的第一阱區(qū);
第二晶體管的第二源極區(qū);
所述第二晶體管的第二阱區(qū);
溝槽結(jié)構(gòu),其正側(cè)向定位在所述第一阱區(qū)與所述第二阱區(qū)之間,所述溝槽結(jié)構(gòu)包括:
所述第一晶體管的第一柵極結(jié)構(gòu);
所述第二晶體管的第二柵極結(jié)構(gòu);
第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu);
第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu);
其中所述第一柵極結(jié)構(gòu)和所述第二柵極結(jié)構(gòu)各自包括在所述溝槽結(jié)構(gòu)中正側(cè)向定位在所述第一阱區(qū)與所述第二阱區(qū)之間的部分;
其中所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)和所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)各自包括正側(cè)向定位在所述第一柵極結(jié)構(gòu)與所述第二柵極結(jié)構(gòu)之間的部分;
所述第一晶體管和所述第二晶體管的漏極區(qū),其包括定位在所述溝槽結(jié)構(gòu)正下方的部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管裝置,其特征在于,所述第一阱區(qū)包括定位在所述第一源極區(qū)正下方且在所述第一柵極結(jié)構(gòu)正側(cè)方的所述第一晶體管的第一溝道區(qū),所述第二阱區(qū)包括定位在所述第二源極區(qū)正下方且在所述第二柵極結(jié)構(gòu)的正側(cè)方的所述第二晶體管的第二溝道區(qū),所述第一溝道區(qū)和所述第二溝道區(qū)各自被表征為豎直溝道區(qū)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體管裝置,其特征在于,所述第一阱區(qū)和所述第二阱區(qū)各自包括具有第一類型的凈導(dǎo)電率摻雜的部分,所述漏極區(qū)包括具有第一濃度的第二類型的凈導(dǎo)電率的部分,其中第三區(qū)定位在所述第一阱區(qū)與所述漏極區(qū)之間且第四區(qū)定位在所述第二阱區(qū)與所述漏極區(qū)之間,所述第三區(qū)和所述第四區(qū)各自具有第二濃度的所述第二類型的凈導(dǎo)電率,所述第二濃度小于所述第一濃度。
4.一種制造晶體管的方法,其特征在于,包括:
在基板中形成溝槽;
在所述溝槽中形成場板材料層;
將在所述溝槽中的所述場板材料層分離成第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)和第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu);
在所述溝槽中的所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)之間形成介電分離;
在所述溝槽中形成第一晶體管的第一柵極結(jié)構(gòu);
在所述溝槽中形成第二晶體管的第二柵極結(jié)構(gòu);
在鄰近所述溝槽的第一側(cè)壁的所述基板的第一阱區(qū)中形成第一源極區(qū),所述第一源極區(qū)用于所述第一晶體管;
在鄰近于所述溝槽的第二側(cè)壁的所述基板中的第二阱區(qū)中形成第二源極區(qū),所述溝槽的第二側(cè)壁與所述溝槽的所述第一側(cè)壁相對,所述第二源極區(qū)用于所述第二晶體管;
其中,所述第一晶體管和所述第二晶體管的漏極區(qū)包括定位在所述溝槽正下方的部分;
其中,所述第一柵極結(jié)構(gòu)、所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)、所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)和所述第二柵極結(jié)構(gòu)在所述溝槽中定位在所述第一阱區(qū)與所述第二阱區(qū)之間的側(cè)向線中,其中,介電質(zhì)定位在所述溝槽中且在所述側(cè)向線中使所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)分離。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述溝槽形成于具有第一類型的凈摻雜劑導(dǎo)電率的基板的區(qū)域中,其中所述區(qū)域包括具有第一濃度的所述第一類型的凈摻雜劑導(dǎo)電率的上部區(qū)和具有第二濃度的所述第一類型的凈摻雜劑導(dǎo)電率的下部區(qū),所述第二濃度高于所述第一濃度,所述上部區(qū)在所述下部區(qū)正上方,所述漏極區(qū)包括定位于所述下部區(qū)中的部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)沿著所述側(cè)向線與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)側(cè)向分離的距離大于所述第一柵極結(jié)構(gòu)沿著所述側(cè)向線與所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)分離的距離和所述第二柵極結(jié)構(gòu)沿著所述側(cè)向線與所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu)分離的距離。
7.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法,其特征在于,進(jìn)一步包括:
將所述第一柵極結(jié)構(gòu)電耦合到所述第一導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu),以便在操作期間在相同電位下偏壓;以及
將所述第二柵極結(jié)構(gòu)電耦合到所述第二導(dǎo)電場板結(jié)構(gòu),以便在操作期間在相同電位下偏壓。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L29-00 專門適用于整流、放大、振蕩或切換,并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的半導(dǎo)體器件;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘,例如PN結(jié)耗盡層或載流子集結(jié)層的電容器或電阻器;半導(dǎo)體本體或其電極的零部件
H01L29-02 .按其半導(dǎo)體本體的特征區(qū)分的
H01L29-40 .按其電極特征區(qū)分的
H01L29-66 .按半導(dǎo)體器件的類型區(qū)分的
H01L29-68 ..只能通過對一個不通有待整流、放大或切換的電流的電極供給電流或施加電位方可進(jìn)行控制的
H01L29-82 ..通過施加于器件的磁場變化可控的





