本實(shí)用新型公開了一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，包括裝置主體、承接板、螺帽槽和卡槽，所述裝置主體的底端安裝有承接板，且承接板靠近裝置主體一端的四個(gè)拐角處皆固定有插塊，所述裝置主體上設(shè)置有與插塊相互配合的插槽，且插槽內(nèi)側(cè)的裝置主體上皆開設(shè)有螺帽槽，所述螺帽槽內(nèi)側(cè)的裝置主體上設(shè)置有輕薄鋼板。該離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板抗腐蝕性很好，防護(hù)屏蔽效果更佳，使用壽命更長(zhǎng)，不會(huì)使金屬部件受到較高的磨損，并且該裝置安裝拆卸方便快捷，同時(shí)對(duì)緊固螺栓的密封效果較好，有效的防止緊固螺栓被銹蝕，使得裝置更加牢靠，同時(shí)該裝置具有很好的緩沖結(jié)構(gòu)，能夠減輕沖擊力。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及石墨擋板技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板。

背景技術(shù)

隨著社會(huì)的不斷發(fā)展，科學(xué)的不斷進(jìn)步，石墨應(yīng)用越來越廣泛，其中應(yīng)用于離子注入和等離子蝕刻的石墨擋板也得以不斷創(chuàng)新和發(fā)展，給廠家和企業(yè)帶來了極大的便利，而傳統(tǒng)的擋板并不是由石墨制造而成的，不具備高精度、高耐腐蝕性等優(yōu)點(diǎn)，雖然也能起到一定程度上的阻擋防護(hù)作用，但經(jīng)過離子或等離子束長(zhǎng)時(shí)間的撞擊，會(huì)使擋板的表面磨損較為嚴(yán)重，甚至形成坑坑洼洼狀，直到擋板被撞穿，使得金屬部件受到撞擊造成較高的損耗，磨損較嚴(yán)重，縮短了金屬部件的使用壽命，同時(shí)傳統(tǒng)的擋板抗腐蝕性較差，而離子或等離子束具有較強(qiáng)的腐蝕性，從而導(dǎo)致?lián)醢逡妆桓g，使得金屬部件暴露在外，與離子或等離子束直接接觸，造成損耗，因此亟需一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板來解決上述問題。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，以解決上述背景技術(shù)中提出的現(xiàn)有的擋板抗腐蝕性差，使用壽命短，不能起到很好的防護(hù)屏蔽作用，使得金屬部件磨損較嚴(yán)重的問題。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，包括裝置主體、承接板、螺帽槽和卡槽，所述裝置主體的底端安裝有承接板，且承接板靠近裝置主體一端的四個(gè)拐角處皆固定有插塊，所述裝置主體上設(shè)置有與插塊相互配合的插槽，且插槽內(nèi)側(cè)的裝置主體上皆開設(shè)有螺帽槽，所述螺帽槽內(nèi)側(cè)的裝置主體上設(shè)置有輕薄鋼板，所述輕薄鋼板的底端固定有承接鋼板，且承接鋼板端部的底端與裝置主體之間皆通過緩沖彈簧固定連接，所述緩沖彈簧內(nèi)側(cè)的承接鋼板底端均勻固定有橡膠減震塊，且橡膠減震塊與裝置主體連接。

優(yōu)選的，所述裝置主體與緩沖彈簧、緩沖彈簧與承接鋼板、承接鋼板與輕薄鋼板、承接板與插塊之間皆通過焊接固定，所述承接鋼板與橡膠密封墊圈、承接鋼板與橡膠減震塊、橡膠減震塊與裝置主體之間皆通過膠水粘貼固定。

優(yōu)選的，所述螺帽槽外側(cè)的裝置主體上皆開設(shè)有卡槽，所述螺帽槽內(nèi)部的裝置主體和承接板上皆開設(shè)有螺栓槽，且螺栓槽上皆設(shè)置有緊固螺栓，所述緊固螺栓外側(cè)的螺帽槽內(nèi)側(cè)設(shè)置有螺帽，且螺帽的內(nèi)部設(shè)置有與緊固螺栓相互配合的內(nèi)置腔，所述螺帽的端部皆設(shè)置有與卡槽相互配合的卡塊。

優(yōu)選的，所述螺帽槽、卡槽、螺栓槽皆設(shè)置有四個(gè)，所述螺帽槽的直徑為螺栓槽直徑的兩倍。

優(yōu)選的，所述承接鋼板的底端設(shè)置有凹槽，所述裝置主體的底端設(shè)置有與承接鋼板長(zhǎng)度相等的凹槽。

優(yōu)選的，所述承接鋼板端部的頂端皆固定有橡膠密封墊圈，所述橡膠密封墊圈設(shè)置有四塊，所述橡膠密封墊圈的一側(cè)與輕薄鋼板連接。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：該離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板抗腐蝕性很好，防護(hù)屏蔽效果更佳，使用壽命更長(zhǎng)，不會(huì)使金屬部件受到較高的磨損，并且該裝置安裝拆卸方便快捷，同時(shí)對(duì)緊固螺栓的密封效果較好，有效的防止緊固螺栓被銹蝕，使得裝置更加牢靠，同時(shí)該裝置具有很好的緩沖結(jié)構(gòu)，能夠減輕沖擊力；

(1)該離子注入用石墨擋板，其細(xì)顆粒高密度等特點(diǎn)使得裝置本身呈現(xiàn)出很強(qiáng)的抗腐蝕性，即使是在極其惡劣的工況下(如離子束轟擊或等離子體束)也是如此，由于離子束的原因，金屬部件暴露在離子注入設(shè)備中會(huì)造成高的損耗，而石墨擋板可以用來做屏蔽罩，從而保護(hù)金屬部件；