[實(shí)用新型]一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821586312.5 | 申請(qǐng)日： | 2019-03-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN209133450U | 公開（公告）日： | 2019-07-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 凌杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 昆山米克諾精密機(jī)械有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/30 | 分類號(hào)： | H01J37/30;H01J37/317;H01J37/32 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 215300 江蘇省蘇州*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 裝置主體 等離子蝕刻 石墨擋板 承接板 螺帽槽 離子 緊固螺栓 插槽 插塊 本實(shí)用新型 拆卸方便 緩沖結(jié)構(gòu) 金屬部件 密封效果 屏蔽效果 使用壽命 裝置安裝 輕薄 銹蝕 拐角處 底端 卡槽 沖擊力 鋼板 磨損 防護(hù) 配合 | ||
1.一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，包括裝置主體(1)、承接板(2)、螺帽槽(3)和卡槽(4)，其特征在于：所述裝置主體(1)的底端安裝有承接板(2)，且承接板(2)靠近裝置主體(1)一端的四個(gè)拐角處皆固定有插塊(10)，所述裝置主體(1)上設(shè)置有與插塊(10)相互配合的插槽(11)，且插槽(11)內(nèi)側(cè)的裝置主體(1)上皆開設(shè)有螺帽槽(3)，所述螺帽槽(3)內(nèi)側(cè)的裝置主體(1)上設(shè)置有輕薄鋼板(12)，所述輕薄鋼板(12)的底端固定有承接鋼板(13)，且承接鋼板(13)端部的底端與裝置主體(1)之間皆通過緩沖彈簧(15)固定連接，所述緩沖彈簧(15)內(nèi)側(cè)的承接鋼板(13)底端均勻固定有橡膠減震塊(16)，且橡膠減震塊(16)與裝置主體(1)連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，其特征在于：所述裝置主體(1)與緩沖彈簧(15)、緩沖彈簧(15)與承接鋼板(13)、承接鋼板(13)與輕薄鋼板(12)、承接板(2)與插塊(10)之間皆通過焊接固定，所述承接鋼板(13)與橡膠密封墊圈(14)、承接鋼板(13)與橡膠減震塊(16)、橡膠減震塊(16)與裝置主體(1)之間皆通過膠水粘貼固定。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，其特征在于：所述螺帽槽(3)外側(cè)的裝置主體(1)上皆開設(shè)有卡槽(4)，所述螺帽槽(3)內(nèi)部的裝置主體(1)和承接板(2)上皆開設(shè)有螺栓槽(5)，且螺栓槽(5)上皆設(shè)置有緊固螺栓(6)，所述緊固螺栓(6)外側(cè)的螺帽槽(3)內(nèi)側(cè)設(shè)置有螺帽(7)，且螺帽(7)的內(nèi)部設(shè)置有與緊固螺栓(6)相互配合的內(nèi)置腔(9)，所述螺帽(7)的端部皆設(shè)置有與卡槽(4)相互配合的卡塊(8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，其特征在于：所述螺帽槽(3)、卡槽(4)、螺栓槽(5)皆設(shè)置有四個(gè)，所述螺帽槽(3)的直徑為螺栓槽(5)直徑的兩倍。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，其特征在于：所述承接鋼板(13)的底端設(shè)置有凹槽，所述裝置主體(1)的底端設(shè)置有與承接鋼板(13)長(zhǎng)度相等的凹槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種離子注入和等離子蝕刻用石墨擋板，其特征在于：所述承接鋼板(13)端部的頂端皆固定有橡膠密封墊圈(14)，所述橡膠密封墊圈(14)設(shè)置有四塊，所述橡膠密封墊圈(14)的一側(cè)與輕薄鋼板(12)連接。
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