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[實用新型]一種具有剔除功能的硅片輸送機構有效

專利信息
申請號: 201820984080.2 申請日: 2018-06-26
公開(公告)號: CN208516325U 公開(公告)日: 2019-02-19
發明(設計)人: 潘加永;戴秋喜 申請(專利權)人: 蘇州映真智能科技有限公司
主分類號: B65G37/00 分類號: B65G37/00;H01L21/677;B07C5/342
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 215000 江蘇省蘇州市高新區建林*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 硅片輸送 硅片傳送 剔除 硅片 硅片輸送機構 后段 接料盒 本實用新型 第二位置 第一位置 硅片傳輸 檢測組件 占用空間 傳送線 停機 自動化 靈活
【權利要求書】:

1.一種具有剔除功能的硅片輸送機構,設置在前段硅片傳送線和后段硅片傳送線之間,其特征在于,該硅片輸送機構包括機架、設置在所述機架上的硅片輸送面、設置于所述硅片輸送面一側的硅片檢測組件和設置在所述后段硅片傳送線下方的接料盒;所述硅片輸送面的前端與所述前段硅片傳送線對接,所述硅片輸送面的后端包括與所述后段硅片傳送線對接的第一位置以及與所述接料盒對接的第二位置;其中,

在所述機架的前端固定安裝有轉軸,所述硅片輸送面包括前端連接在所述轉軸上、可繞所述轉軸轉動的托板以及連接在所述托板兩側的傳送帶,所述傳送帶由電機驅動運行以運送所述硅片輸送面上的硅片;

在所述托板的底部設置有氣缸組件,所述氣缸組件包括連接在所述機架上的缸體和可在所述缸體內做直線往復運動的活塞桿,所述活塞桿的自由端連接所述托板的底部,所述活塞桿可帶動所述托板繞所述轉軸轉動以使所述硅片輸送面的后端與所述后段硅片傳送線或所述接料盒對接;

所述硅片檢測組件用于檢測所述硅片輸送面上的硅片是否合格,當所述硅片輸送面上的硅片合格時,所述硅片輸送面的后端與所述后段硅片傳送線對接,所述傳送帶將該合格硅片運送至所述后段硅片傳送線上;當所述硅片輸送面上的硅片不合格時,所述硅片輸送面的后端與所述接料盒對接,所述傳送帶將該不合格硅片運送至所述接料盒內。

2.根據權利要求1所述的硅片輸送機構,其特征在于,所述硅片檢測組件包括CCD相機和控制器,所述CCD相機用于獲取所述硅片輸送面上硅片的影像信息,并將所述影像信息發送至所述控制器,所述控制器分析所述影像信息并向所述氣缸組件發出控制信號。

3.根據權利要求2所述的硅片輸送機構,其特征在于,所述控制器包括比對組件,用于將所述影像信息與控制器上預設的合格硅片標準信息進行對比。

4.根據權利要求1所述的硅片輸送機構,其特征在于,處于所述第一位置時的硅片輸送面和處于所述第二位置時的硅片輸送面之間的夾角設置為12~20°。

5.根據權利要求1所述的硅片輸送機構,其特征在于,在所述機架上安裝有多個傳送輥,所述傳送帶繞設在所述多個傳送輥上,所述傳送帶由所述電機驅動繞所述多個傳送輥回轉以運送所述硅片傳輸面上的硅片。

6.根據權利要求1所述的硅片輸送機構,其特征在于,所述接料盒的底部設置為坡形,其靠近所述硅片輸送面的一側高于相對的另一側。

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