[發(fā)明專利]集塵裝置以及集塵方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201811299642.0 | 申請(qǐng)日： | 2018-11-02 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN109752929B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-10-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 高橋洋介;安部勇仁;明野公信 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 紐富來(lái)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G03F7/20 | 分類號(hào)： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 龐乃媛 |
| 地址： | 日本神*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 集塵 裝置 以及 方法 | ||
1.一種集塵裝置，其特征在于，
具備：
主體，在第1面配置有第1電極的背面，具備電源和高電壓產(chǎn)生部；
固定部，對(duì)上述第1電極、以及上述主體的裝拆進(jìn)行控制；
第2電極，向上述第1電極傳送電壓；以及
控制基板，對(duì)施加于上述第2電極的電壓的大小以及定時(shí)進(jìn)行控制；
該集塵裝置的尺寸是與進(jìn)行處理的試料相當(dāng)?shù)某叽纭?/p>
2.如權(quán)利要求1所述的集塵裝置，其特征在于，
上述固定部具備：
基座部，配置于上述主體的上述第1面；以及
支承部，與上述基座部連接，支承上述第1電極的與上述背面對(duì)置的表面。
3.如權(quán)利要求1所述的集塵裝置，其特征在于，
上述固定部具備卡裝部，該卡裝部配置于上述主體的上述第1面，
上述控制基板通過(guò)經(jīng)由上述第2電極向上述第1電極施加電壓，將上述第1電極和上述卡裝部進(jìn)行電氣固定。
4.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的集塵裝置，其特征在于，
上述控制基板存儲(chǔ)與向上述第2電極施加的電壓的大小及定時(shí)有關(guān)的設(shè)定信息，
根據(jù)計(jì)時(shí)到的時(shí)刻和上述設(shè)定信息，生成向上述第2電極施加的電壓。
5.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的集塵裝置，其特征在于，
還具備與清潔對(duì)象裝置接地的接地部，
上述控制基板根據(jù)經(jīng)由上述接地部傳送的上述清潔對(duì)象裝置的接地電壓，生成向上述第2電極施加的電壓。
6.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的集塵裝置，其特征在于，
還具備從清潔對(duì)象裝置接收信號(hào)的通信部，
上述控制基板根據(jù)經(jīng)由上述清潔對(duì)象裝置接收的上述信號(hào)，生成向上述第2電極施加的電壓。
7.如權(quán)利要求1～3中任一項(xiàng)所述的集塵裝置，其特征在于，
上述控制基板對(duì)流過(guò)上述第2電極的電流進(jìn)行監(jiān)視，在判斷為流過(guò)了超過(guò)規(guī)定值的電流的情況下，停止向上述第2電極施加的電壓的生成。
8.一種集塵方法，其特征在于，
具備以下工序：
通過(guò)固定部，將第1電極的背面固定于主體的第1面，
通過(guò)第2電極，向上述第1電極傳送電壓，從而使上述第1電極的表面集塵，
通過(guò)控制基板，控制向上述第2電極施加的電壓的大小及定時(shí)；
使用該集塵方法的集塵裝置具備電源和高電壓產(chǎn)生部，該集塵裝置的尺寸是與進(jìn)行處理的試料相當(dāng)?shù)某叽纭?/p>
9.如權(quán)利要求8所述的集塵方法，其特征在于，
上述固定部具備：
基座部，配置于上述主體的上述第1面；以及
支承部，與上述基座部連接，支承上述第1電極的與上述背面對(duì)置的表面；
通過(guò)上述支承部和上述基座部，夾持上述第1電極，從而將上述第1電極固定于上述主體的上述第1面。
10.如權(quán)利要求8所述的集塵方法，其特征在于，
上述固定部具備卡裝部，該卡裝部配置于上述主體的上述第1面，
通過(guò)上述控制基板，經(jīng)由上述第2電極向上述第1電極施加電壓，從而將上述第1電極和上述卡裝部進(jìn)行電氣固定。
11.如權(quán)利要求8所述的集塵方法，其特征在于，
通過(guò)上述控制基板，存儲(chǔ)與向上述第2電極施加的電壓的大小及定時(shí)有關(guān)的設(shè)定信息，
根據(jù)計(jì)時(shí)到的時(shí)刻和上述設(shè)定信息，生成向上述第2電極施加的電壓。
12.如權(quán)利要求8所述的集塵方法，其特征在于，
通過(guò)上述控制基板，根據(jù)經(jīng)由與清潔對(duì)象裝置接地的接地部傳送的上述清潔對(duì)象裝置的接地電壓，生成向上述第2電極施加的電壓。
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