本發明公開了一種全自動晶圓貼膜機，包括貼膜機本體，還包括抽拉機構和防護機構，所述貼膜機本體包括貼膜機箱、支撐滑桿、貼膜頭、下壓氣缸、固定底座、鍵盤和支撐底腿，所述抽拉機構包括晶圓放置板和抽拉把手，所述晶圓放置板安裝在固定底座的內側，所述抽拉把手連接在晶圓放置板的側表面，所述晶圓放置板的上表面設置有晶圓放置槽，所述固定底座的內側設置有滑動凹槽，可以把晶圓放置板向外側抽出，使晶圓放置板處于貼膜頭底部外側，即使放入晶圓時沒有停止貼膜頭下壓，也不會壓傷手部，非常安全；而且在貼膜頭外側設有防護透明罩，在貼膜頭下壓過程和停放時，不會受到外側灰塵附著污染貼膜。

技術領域

本發明屬于貼膜機技術領域，具體涉及一種全自動晶圓貼膜機。

背景技術

貼膜機是專門用于電子/通訊/半導體等行業貼保護膜及防暴膜的機器，可確保無氣泡無擦痕貼膜，料帶上的自粘性零件在驅動裝置的牽引到吸料裝置下面的剝料板上, 自粘性領引下, 通過一系列張緊導向裝置被送件剝離后，再自動機械手校正后，被自動貼裝到用治具定位的工件上，可以用于8英寸和12英寸晶圓的貼膜。

現有的晶圓貼膜機在把晶圓放置在晶圓放置板內部的晶圓槽中時，由于晶圓放置板處于貼膜頭底部，一旦放入晶圓時沒有停止貼膜頭下壓，會壓傷手部；而且在貼膜頭外側沒有防護裝置，在貼膜頭下壓過程和停放時，容易受到外側灰塵附著污染貼膜的問題，為此我們提出一種全自動晶圓貼膜機。

發明內容

本發明的目的在于提供一種全自動晶圓貼膜機，以解決上述背景技術中提出的現有的晶圓貼膜機在把晶圓放置在晶圓放置板內部的晶圓槽中時，由于晶圓放置板處于貼膜頭底部，一旦放入晶圓時沒有停止貼膜頭下壓，會壓傷手部；而且在貼膜頭外側沒有防護裝置，在貼膜頭下壓過程和停放時，容易受到外側灰塵附著污染貼膜的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種全自動晶圓貼膜機，包括貼膜機本體，還包括抽拉機構和防護機構，所述貼膜機本體包括貼膜機箱、支撐滑桿、貼膜頭、下壓氣缸、固定底座、鍵盤和支撐底腿，所述抽拉機構包括晶圓放置板和抽拉把手，所述晶圓放置板卡合在固定底座的內側，所述抽拉把手膠接在晶圓放置板的側表面，所述晶圓放置板的上表面開設有晶圓放置槽，所述固定底座的內側開設有滑動凹槽，所述晶圓放置板的兩側表面焊接有滑動凸起。

優選的，所述貼膜機箱的表面設置有顯示屏，所述顯示屏的一側設置有開關旋鈕，所述貼膜機箱的底部設置有固定側框，所述支撐滑桿安裝在固定側框的內側，所述支撐滑桿的表面設置有滑動板，所述下壓氣缸安裝在滑動板的表面，所述固定底座的底部設置有放置底板，所述支撐底腿的頂部設置有放置頂板，所述鍵盤位于放置頂板的上表面。

優選的，所述防護機構包括防護透明罩和卡合螺紋，所述卡合螺紋位于下壓氣缸的底端側表面。

優選的，所述抽拉把手與晶圓放置板通過強膠粘合固定。

優選的，所述固定底座與晶圓放置板通過滑動凸起與滑動凹槽卡合連接。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：晶圓貼膜機在把晶圓放置在晶圓放置板內部的晶圓槽中時，可以把晶圓放置板向外側抽出，使晶圓放置板處于貼膜頭底部外側，即使放入晶圓時沒有停止貼膜頭下壓，也不會壓傷手部，非常安全；而且在貼膜頭外側設有防護透明罩，在貼膜頭下壓過程和停放時，不會受到外側灰塵附著污染貼膜。

附圖說明

圖1為本發明的貼膜機正面結構示意圖；

圖2為本發明的晶圓放置板整體結構示意圖；

圖3為本發明的貼膜頭護罩固定結構示意圖；