[發明專利]一種全自動晶圓貼膜機在審
| 申請號： | 201810705857.1 | 申請日： | 2018-06-29 |
| 公開（公告）號： | CN108673871A | 公開（公告）日： | 2018-10-19 |
| 發明（設計）人： | 張子運;蔡道庫;劉少麗;朱威莉;孫健 | 申請（專利權）人： | 江蘇納沛斯半導體有限公司 |
| 主分類號： | B29C63/02 | 分類號： | B29C63/02;B29C63/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 223002 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 晶圓放置板 貼膜 貼膜機 晶圓 固定底座 抽拉把手 抽拉機構 下壓 防護機構 滑動凹槽 灰塵附著 下壓氣缸 支撐滑桿 側表面 放置槽 上表面 透明罩 底腿 放入 手部 壓傷 鍵盤 停放 抽出 防護 支撐 污染 安全 | ||
1.一種全自動晶圓貼膜機，包括貼膜機本體，其特征在于：還包括抽拉機構和防護機構，所述貼膜機本體包括貼膜機箱（2）、支撐滑桿（10）、貼膜頭（18）、下壓氣缸（4）、固定底座（5）、鍵盤（8）和支撐底腿（7），所述抽拉機構包括晶圓放置板（14）和抽拉把手（16），所述晶圓放置板（14）安裝在固定底座（5）的內側，所述抽拉把手（16）連接在晶圓放置板（14）的側表面，所述晶圓放置板（14）的上表面設置有晶圓放置槽（15），所述固定底座（5）的內側設置有滑動凹槽（13），所述晶圓放置板（14）的兩側表面設置有滑動凸起（17）。
2.根據權利要求1所述的一種全自動晶圓貼膜機，其特征在于：所述貼膜機箱（2）的表面設置有顯示屏（1），所述顯示屏（1）的一側設置有開關旋鈕（12），所述貼膜機箱（2）的底部設置有固定側框（11），所述支撐滑桿（10）安裝在固定側框（11）的內側，所述支撐滑桿（10）的表面設置有滑動板（3），所述下壓氣缸（4）安裝在滑動板（3）的表面，所述固定底座（5）的底部設置有放置底板（9），所述支撐底腿（7）的頂部設置有放置頂板（6），所述鍵盤（8）位于放置頂板（6）的上表面。
3.根據權利要求1所述的一種全自動晶圓貼膜機，其特征在于：所述防護機構包括防護透明罩（19）和卡合螺紋（20），所述卡合螺紋（20）位于下壓氣缸（4）的底端側表面。
4.根據權利要求1所述的一種全自動晶圓貼膜機，其特征在于：所述抽拉把手（16）與晶圓放置板（14）通過強膠粘合固定。
5.根據權利要求1所述的一種全自動晶圓貼膜機，其特征在于：所述固定底座（5）與晶圓放置板（14）通過滑動凸起（17）與滑動凹槽（13）卡合連接。
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