[發明專利]一種離子源安裝支架有效
| 申請號： | 201810645342.7 | 申請日： | 2018-06-21 |
| 公開（公告）號： | CN109599310B | 公開（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發明（設計）人： | 楊圓明;宋韻洋;趙鑫;王漢清;楊恩武;劉蘭超;楊林月;劉敏勝 | 申請（專利權）人： | 新奧科技發展有限公司 |
| 主分類號： | H01J1/92 | 分類號： | H01J1/92 |
| 代理公司： | 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274 | 代理人： | 申健 |
| 地址： | 065001 河*** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 離子源 安裝 支架 | ||
1.一種離子源安裝支架，其特征在于，包括：用于安裝在真空腔室上的法蘭安裝盤，通過間隙可調組件與所述法蘭安裝盤連接的離子源固定套，以及與離子源匹配設置的緊定件；其中，
所述離子源固定套上設置有離子源容置孔、以及至少一個沿所述離子源容置孔的徑向設置的離子源限位孔；
所述離子源限位孔與所述離子源容置孔連通，所述緊定件穿過所述離子源限位孔與設在所述離子源容置孔內的離子源固定連接。
2.根據權利要求1所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述離子源限位孔的數量為多個；多個所述離子源限位孔分別在所述離子源固定套上，并沿所述離子源容置孔的軸線方向排列為至少一列。
3.根據權利要求1所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述間隙可調組件包括環形基座，所述環形基座的兩端分別固設一組螺紋組件；兩組所述螺紋組件分別為第一螺紋組件組和第二螺紋組件組；所述第一螺紋組件組與所述法蘭安裝盤螺紋連接，所述第二螺紋組件組與所述離子源固定套螺紋連接。
4.根據權利要求3所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述第一螺紋組件組中各螺紋組件的固定端分別沿所述環形基座的第一徑向圓設置，所述第二螺紋組件組中各螺紋組件的固定端分別沿所述環形基座的第二徑向圓設置；所述第一徑向圓和所述第二徑向圓的直徑不同。
5.根據權利要求3所述的離子源安裝支架，其特征在于，
所述法蘭安裝盤上安裝有至少一個貫穿件；所述貫穿件靠近所述離子源固定套的一端，通過電氣管路或冷卻管路與所述離子源連接；
所述電氣管路或所述冷卻管路穿過所述環形基座的中心孔。
6.根據權利要求3所述的離子源安裝支架，其特征在于，
所述離子源固定套呈管狀結構，所述離子源固定套、所述環形基座和所述法蘭安裝盤三者的軸線為同一直線；
所述環形基座的外徑與所述離子源固定套的外徑相同；
所述環形基座的外徑小于所述法蘭安裝盤的外徑。
7.根據權利要求6所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述法蘭安裝盤靠近所述離子源固定套的一端安裝有電氣防護罩，所述電氣防護罩套設在所述環形基座以及所述離子源固定套的外部。
8.根據權利要求7所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述電氣防護罩沿所述法蘭安裝盤的軸線方向的長度，大于所述離子源固定套靠近所述法蘭安裝盤的一端至所述法蘭安裝盤的最大間隙。
9.根據權利要求7所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述電氣防護罩包括三通法蘭；所述三通法蘭包括管狀本體，所述管狀本體的兩端分別設置有第一法蘭和第二法蘭，所述管狀本體的管壁上設置有第三法蘭；其中，
所述第一法蘭與所述法蘭安裝盤固定連接；
所述第二法蘭與所述第一法蘭同軸線設置，且所述第二法蘭套設在所述離子源固定套的外部；
所述第三法蘭的軸線與所述管狀本體的軸線垂直。
10.根據權利要求9所述的離子源安裝支架，其特征在于，所述第三法蘭包括視窗法蘭；所述視窗法蘭的可視區域覆蓋所述離子源固定套與所述法蘭安裝盤之間的間隙區域。
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