3.根據權利要求2所述的MOCVD系統，其特征在于，所述加熱循環管路包括連通所述第一容納腔的第一輸出加熱管路、第一輸入加熱管路以及連通所述蓋體的第二輸出加熱管路、第二輸入加熱管路，所述控溫循環管路包括連通所述第二容納腔的第一輸出控溫管路、第一輸入控溫管路以及連通所述蓋體的第二輸出控溫管路、第二輸入控溫管路，所述第二輸出加熱管路與所述第二輸出控溫管路一體化為蓋體輸出管路，所述第二輸入加熱管路與所述第二輸入控溫管路一體化為蓋體輸入管路，所述MOCVD系統還包括分別連接所述蓋體輸出管路及所述蓋體輸入管路的第一開關及第二開關，當所述MOCVD系統處于反應過程時，所述控制單元控制所述第一開關連通所述第一輸出控溫管路，且所述第二開關連通所述第一輸入控溫管路，當所述MOCVD系統處于清理過程時，所述控制單元控制所述第一開關連通所述第一輸出加熱管路，且所述第二開關連通所述第一輸入加熱管路。