[發(fā)明專利]自動(dòng)清洗設(shè)備有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201810333509.6 | 申請(qǐng)日： | 2018-04-13 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN108480306B | 公開（公告）日： | 2020-04-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 葉敏 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 寧波德深機(jī)械設(shè)備有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B08B3/10 | 分類號(hào)： | B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 重慶強(qiáng)大凱創(chuàng)專利代理事務(wù)所(普通合伙) 50217 | 代理人： | 陳家輝 |
| 地址： | 315000 浙江省寧波市高新*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 自動(dòng) 清洗 設(shè)備 | ||
1.自動(dòng)清洗設(shè)備，包括盛有清洗液的清洗筒，其特征在于：所述清洗筒上設(shè)有回流機(jī)構(gòu)，所述回流機(jī)構(gòu)用于攪動(dòng)清洗筒內(nèi)的清洗液，所述清洗筒內(nèi)還設(shè)有多個(gè)互不相連的鋼網(wǎng)囊，所述鋼網(wǎng)囊內(nèi)均設(shè)有用于包裹硅片的軟質(zhì)網(wǎng)膜，所述軟質(zhì)網(wǎng)膜與鋼網(wǎng)囊互不相連，所述鋼網(wǎng)囊內(nèi)均設(shè)有抖動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述抖動(dòng)機(jī)構(gòu)包括多個(gè)彈性件，所述彈性件一端連接在鋼網(wǎng)囊的內(nèi)壁上，所述抖動(dòng)機(jī)構(gòu)上固設(shè)有夾持部，所述夾持部包括夾頭，所述夾頭用于卡夾硅片，所述夾頭夾持硅片的端部上粘接有軟膜，所述彈性件另一端連接在夾持部上，所述彈性件以夾持部為中心點(diǎn)均勻分布。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)清洗設(shè)備，其特征在于：所述夾頭上設(shè)有夾持檢測模塊和執(zhí)行模塊，所述夾持檢測模塊用于檢測硅片的脫落信號(hào)，所述執(zhí)行模塊根據(jù)脫落信號(hào)讓夾頭夾緊硅片。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的自動(dòng)清洗設(shè)備，其特征在于：所述夾頭包括對(duì)稱設(shè)置的夾柱，所述夾柱端部開設(shè)有半球形的滾槽，所述夾持檢測模塊包括滾動(dòng)配合在滾槽內(nèi)的滾球，所述滾球上固設(shè)有多個(gè)輪齒，所述滾槽內(nèi)壁的夾柱上開設(shè)有滑槽和插孔，所述夾柱的中部開設(shè)有滑道，所述執(zhí)行模塊包括滑動(dòng)配合在滑槽內(nèi)的齒條和滑動(dòng)配合在滑道內(nèi)的配重板，所述齒條上連接有凸柱，所述齒條可與輪齒嚙合，所述齒條與配重板間設(shè)有液壓管，所述液壓管一端可被凸柱抵到，所述液壓管另一端通過T型的活塞連接配重板，所述液壓管繞在滑輪上，所示液壓管與配重板間達(dá)到受力平衡，所述配重板上固設(shè)有可穿過插孔抵到滾球的插柱。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的自動(dòng)清洗設(shè)備，其特征在于：所述配重板與滑道的內(nèi)壁間連接有壓簧，所述壓簧在液壓管未被凸柱抵到時(shí)被配重板壓住處于壓縮狀態(tài)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)清洗設(shè)備，其特征在于：所述鋼網(wǎng)囊包括相互交錯(cuò)形成網(wǎng)狀的螺旋條，所述螺旋條由不銹鋼鋼絲卷曲形成。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的自動(dòng)清洗設(shè)備，其特征在于：所述軟質(zhì)網(wǎng)膜上開設(shè)有開口，所述開口處的軟質(zhì)網(wǎng)膜中填充有磁鐵。
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