不直接向焊料(S)照射照射光(Li)，通過向基板(B)的表面(Bs)射出照射光(Li)，而向焊料(S)照射被該表面(Bs)反射的照射光(Li)。這樣經由焊料(S)在表面(Bs)的反射而照射至焊料(S)的照射光(Li)與直接照射至焊料(S)的照射光(Li)不同，被陡斜面(Ss)反射之后入射至相機(5)。其結果，能夠拍攝焊料(S)具有的陡斜面(Ss)。

技術領域

本發明涉及對接合于基板的焊料進行檢查的外觀檢查技術。

背景技術

以往，為了判斷接合于基板的焊料是否良好，使用從上方向焊料照射光并對被焊料反射的光進行拍攝的外觀檢查技術。例如，在專利文獻1中，波長分別不同的光(紅外、紅、綠及藍)以互不相同的角度從斜上方向焊料照射，與基板相向的相機對被焊料反射的光進行拍攝。此時，越是長波長的光，則向基板的入射角設定得越小，被焊料的斜面反射并入射至相機的光的波長根據該斜面的斜度而不同。其結果，焊料的斜面越平緩，則越拍攝到長波長的光。由此，能夠基于拍攝焊料而成的圖像求得焊料的形狀。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特開2010-71844號公報

發明內容

發明要解決的技術問題

但是，專利文獻1的外觀檢查裝置中，直接向設置于基板的表面的焊料照射光，利用與基板的表面相向的相機對被焊料反射的光進行拍攝。在該結構中，如上所述，被比預定平緩的斜面反射的光入射至相機，另一方面，被比預定陡峭的斜面反射的光不能入射至相機。因此，如專利文獻1所示那樣，元件附近的焊料的陡斜面不能被相機拍攝而變暗。但是，為了判斷焊料的狀態為良，優選能夠確認到元件附近的焊料濕潤而形成陡斜面。因此，謀求能夠對焊料具有的陡斜面進行拍攝的技術。

本發明是鑒于上述技術問題而提出的，其目的在于提供能夠對焊料具有的陡斜面進行拍攝的技術。

用于解決技術問題的技術方案

本發明的外觀檢查裝置具備：基板保持部，對基板進行保持，該基板具有設置有焊料接合位置的表面，在焊料接合位置接合有焊料；第一照射部，通過向基板的表面射出照射光，而向焊料照射被表面反射的照射光；拍攝部，與表面相向地拍攝焊料；及控制部，基于拍攝部拍攝焊料所得的結果來檢查焊料的狀態。

本發明的外觀檢查方法，具備以下工序：通過向在焊料接合位置接合有焊料的基板的表面射出照射光，而向焊料照射被表面反射的照射光；與基板的表面相向地拍攝焊料；及基于拍攝焊料所得的結果來檢查焊料的狀態。

這樣構成的本發明(外觀檢查裝置、外觀檢查方法)不直接向焊料照射照射光，而通過向基板的表面射出照射光，向焊料照射被該表面反射的照射光。這樣經由基板的表面的反射照射至焊料的照射光與直接照射至焊料的照射光相比較，被陡斜面反射之后入射至拍攝部。其結果，能夠對焊料具有的陡斜面進行拍攝。

另外，外觀檢查裝置可以構成為，控制部基于對在拍攝部拍攝焊料所得的圖像上是否存在亮度為預定的閾值亮度以上的部分進行確認的結果，來檢查焊料的狀態。也就是說，在焊料濕潤而焊料具有陡斜面的情況下，被該陡斜面反射的光入射至拍攝部。因此，通過確認在拍攝焊料所得的圖像具有預定以上亮度的部分，能夠判斷為焊料的狀態良好。

另外，外觀檢查裝置可以構成為，第一照射部向表面射出預定的投影圖案作為照射光，拍攝部對被焊料反射的照射光具有的觀測圖案進行拍攝，控制部基于觀測圖案來求得焊料的形狀。在該構成中，能夠準確地求得焊料的形狀。

具體地說，外觀檢查裝置可以構成為，控制部基于投影圖案與觀測圖案的形狀的不同來求得焊料的形狀。此時，外觀檢查裝置可以構成為，投影圖案具有隔開間隔地排列的顏色互不相同的多條線。在該構成中，即使在觀測圖案中相鄰的線接近的情況下，也能夠通過顏色的不同來區別這些線，所以能夠準確地求得焊料的形狀。