[發明專利]外觀檢查裝置、外觀檢查方法有效
| 申請號： | 201780087964.6 | 申請日： | 2017-03-07 |
| 公開（公告）號： | CN110383001B | 公開（公告）日： | 2020-12-25 |
| 發明（設計）人： | 田端伸章 | 申請（專利權）人： | 雅馬哈發動機株式會社 |
| 主分類號： | G01B11/24 | 分類號： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219 | 代理人： | 楊青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 外觀 檢查 裝置 方法 | ||
1.一種外觀檢查裝置，具備：
基板保持部，對基板進行保持，該基板具有設置有焊料接合位置的表面，在所述焊料接合位置接合有焊料；
第一照射部，通過向所述基板的所述表面射出照射光，而向所述焊料照射被所述表面反射的所述照射光；
拍攝部，與所述表面相向地拍攝所述焊料；及
控制部，基于所述拍攝部拍攝所述焊料所得的結果來檢查所述焊料的狀態，
所述第一照射部向所述表面射出預定的投影圖案作為所述照射光，
所述拍攝部對被所述焊料反射的所述照射光具有的觀測圖案進行拍攝，
所述控制部基于所述觀測圖案來求得所述焊料的形狀。
2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其中，
所述控制部基于對在所述拍攝部拍攝所述焊料所得的圖像上是否存在亮度為預定的閾值亮度以上的部分進行確認的結果，來檢查所述焊料的狀態。
3.根據權利要求1或2所述的外觀檢查裝置，其中，
所述控制部基于所述投影圖案與所述觀測圖案的形狀的不同來求得所述焊料的形狀。
4.根據權利要求3所述的外觀檢查裝置，其中，
所述投影圖案具有隔開間隔地排列的顏色互不相同的多條線。
5.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其中，
所述第一照射部向所述表面照射相位互不相同的3個以上正弦波條紋圖案作為所述投影圖案，
所述拍攝部針對所述3個以上正弦波條紋圖案分別取得所述觀測圖案，
所述控制部基于根據所述觀測圖案通過相位偏移法計算出的相位，求得所述照射光入射至所述表面的入射位置與所述照射光被所述焊料反射的反射位置之間的對應關系，基于該對應關系來求得所述焊料的形狀。
6.一種外觀檢查裝置，具備：
基板保持部，對基板進行保持，該基板具有設置有焊料接合位置的表面，在所述焊料接合位置接合有焊料；
第一照射部，通過向所述基板的所述表面射出照射光，而向所述焊料照射被所述表面反射的所述照射光；
拍攝部，與所述表面相向地拍攝所述焊料；及
控制部，基于所述拍攝部拍攝所述焊料所得的結果來檢查所述焊料的狀態，
在所述基板的所述表面設置有多個所述焊料接合位置，
所述第一照射部在所述表面上與所述多個焊料接合位置對應地設定多個照射范圍，通過向所述多個照射范圍分別射出所述照射光，將在所述照射范圍被反射的所述反射光照射至接合于與該照射范圍對應的所述焊料接合位置的所述焊料。
7.根據權利要求6所述的外觀檢查裝置，其中，
所述第一照射部向所述多個照射范圍中的滿足預定的位置關系的多個特定照射范圍同時射出波長互不相同的所述照射光，
所述控制部基于所述拍攝部拍攝到的所述照射光的波長，將被射出所述照射光的所述特定照射范圍與對在該特定照射范圍被反射的所述照射光進行反射的所述焊料建立對應。
8.一種外觀檢查裝置，具備：
基板保持部，對基板進行保持，該基板具有設置有焊料接合位置的表面，在所述焊料接合位置接合有焊料；
第一照射部，通過向所述基板的所述表面射出照射光，而向所述焊料照射被所述表面反射的所述照射光；
拍攝部，與所述表面相向地拍攝所述焊料；
控制部，基于所述拍攝部拍攝所述焊料所得的結果來檢查所述焊料的狀態；及
第二照射部，從不同的角度向所述焊料射出波長不同的3個以上的光，
所述控制部基于所述拍攝部對被所述焊料反射的所述3個以上的光進行拍攝所得的結果來檢查所述焊料的狀態。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于雅馬哈發動機株式會社，未經雅馬哈發動機株式會社許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.17sss.com.cn/pat/books/201780087964.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：激光光源單元
- 下一篇：一種寬帶圓極化毫米波多饋源多波束透鏡天線
