提供了顯影液回收系統，該系統包括：顯影液儲罐，所述顯影液儲罐具有顯影液入口和顯影液出口；顯影機，所述顯影機具有顯影液噴頭、印版入口和顯影后液出口，所述顯影液噴頭與所述顯影液出口相連，所述顯影后液出口與所述顯影液儲罐相連；顯影液回收罐，所述顯影液回收罐具有顯影回收液入口和顯影回收液出口，所述顯影液入口與所述顯影液儲罐相連；光刻膠過濾裝置，所述光刻膠過濾裝置具有回收液入口、過濾后液出口和光刻膠出口，所述回收液入口與所述顯影回收液出口相連，所述過濾后液出口與所述顯影液入口相連，所述顯影液回收罐上的出液口和所述光刻膠出口中的至少之一與所述顯影液儲罐相連。

技術領域

本發明屬于印制版技術領域，具體而言，本發明涉及顯影液回收系統。

背景技術

顯影液管理系統是用于調節并穩定顯影液中TMAH、碳酸根以及光刻膠濃度的設備，其可以同時管理多臺顯影機，然而當其中一臺顯影液儲罐中光刻膠濃度偏低時，顯影液管理系統無法添加高光刻膠濃度的藥液來調整光刻膠濃度，而需要專門投入一些涂布了光刻膠的玻璃來提高光刻膠濃度，再投入正式產品，造成物料成本和時間成本浪費。

因此，現有的顯影液處理系統有待進一步改進。

發明內容

本發明旨在至少在一定程度上解決相關技術中的技術問題之一。為此，本發明的一個目的在于提出一種顯影液回收系統，采用該系統可以實現系統內光刻膠的循環利用，從而可以顯著降低顯影成本。

在本發明的一個方面，本發明提出了一種顯影液回收系統。根據本發明的實施例，所述系統包括：

顯影液儲罐，所述顯影液儲罐具有顯影液入口和顯影液出口；

顯影機，所述顯影機具有顯影液噴頭、印版入口和顯影后液出口，所述顯影液噴頭與所述顯影液出口相連，所述顯影后液出口與所述顯影液儲罐相連；

顯影液回收罐，所述顯影液回收罐具有顯影回收液入口和顯影回收液出口，所述顯影液入口與所述顯影液儲罐相連；

光刻膠過濾裝置，所述光刻膠過濾裝置具有回收液入口、過濾后液出口和光刻膠出口，所述回收液入口與所述顯影回收液出口相連，所述過濾后液出口與所述顯影液入口相連，所述顯影液回收罐上的出液口和所述光刻膠出口中的至少之一與所述顯影液儲罐相連。

根據本發明實施例的顯影液回收系統通過將顯影液回收罐中的含有的高濃度光刻膠的回收液或/和經光刻膠過濾裝置得到的光刻膠供給至顯影液儲罐中，保證供給到顯影機中的顯影液中光刻膠濃度穩定，從而實現了光刻膠的循環使用，相較于現有技術外加涂布了光刻膠的玻璃來補充光刻膠，采用本申請的系統可以顯著降低原料成本，并且該系統結構簡單易于操作。

另外，根據本發明上述實施例的顯影液回收系統還可以具有如下附加的技術特征：

在本發明的一些實施例中，所述顯影液回收罐上的出液口與所述顯影液儲罐相連。由此，可以顯著降低系統原料和時間成本。

在本發明的一些實施例中，所述顯影液回收罐上的出液口通過補液泵與所述顯影液儲罐相連。

在本發明的一些實施例中，所述光刻膠出口與所述顯影液儲罐相連。由此，可以進一步降低系統原料和時間成本。

在本發明的一些實施例中，所述顯影液回收罐上的出液口和所述光刻膠出口均與所述顯影液儲罐相連。由此，可以進一步降低系統原料和時間成本。

在本發明的一些實施例中，所述顯影回收液出口與所述回收液入口通過泵相連。

在本發明的一些實施例中，所述回收顯影液系統包括多個所述顯影液儲罐和多個所述顯影機，并且所述顯影液儲罐與所述顯影機一一對應。由此，可以顯著提高系統利用率。

在本發明的一些實施例中，所述回收顯影液系統包括五臺所述顯影液儲罐和五臺所述顯影機。由此，可以進一步提高系統利用率。