[發明專利]顯影液回收系統有效
| 申請號： | 201780060322.7 | 申請日： | 2017-08-23 |
| 公開（公告）號： | CN109791374B | 公開（公告）日： | 2022-05-17 |
| 發明（設計）人： | 區煒鋒 | 申請（專利權）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/26 | 分類號： | G03F7/26 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 518172 廣東省深圳市龍崗區*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 顯影液 回收 系統 | ||
1.一種顯影液回收系統，其特征在于，包括：
顯影液儲罐，所述顯影液儲罐具有顯影液入口和顯影液出口；
顯影機，所述顯影機具有顯影液噴頭、印版入口和顯影后液出口，所述顯影液噴頭與所述顯影液出口相連，所述顯影后液出口與所述顯影液儲罐相連；
顯影液回收罐，所述顯影液回收罐具有顯影回收液入口和顯影回收液出口，所述顯影液入口與所述顯影液儲罐相連；
光刻膠過濾裝置，所述光刻膠過濾裝置具有回收液入口、過濾后液出口和光刻膠出口，所述回收液入口與所述顯影回收液出口相連，所述過濾后液出口與所述顯影液入口相連，所述光刻膠出口與所述顯影液儲罐相連。
2.根據權利要求1所述的顯影液回收系統，其特征在于，所述顯影液回收罐上的出液口與所述顯影液儲罐相連。
3.根據權利要求2所述的顯影液回收系統，其特征在于，所述顯影液回收罐上的出液口通過補液泵與所述顯影液儲罐相連。
4.根據權利要求2-3中任一項所述的顯影液回收系統，其特征在于，所述顯影回收液出口與所述回收液入口通過泵相連。
5.根據權利要求4所述的顯影液回收系統，其特征在于，包括多個所述顯影液儲罐和多個所述顯影機，并且所述顯影液儲罐與所述顯影機一一對應。
6.根據權利要求5所述的顯影液回收系統，其特征在于，包括五臺所述顯影液儲罐和五臺所述顯影機。
7.一種顯影液回收系統，其特征在于，包括：
顯影液儲罐，所述顯影液儲罐具有顯影液入口和顯影液出口；
顯影機，所述顯影機具有顯影液噴頭、印版入口和顯影后液出口，所述顯影液噴頭與所述顯影液出口相連，所述顯影后液出口與所述顯影液儲罐相連；
顯影液回收罐，所述顯影液回收罐具有顯影回收液入口和顯影回收液出口，所述顯影液入口與所述顯影液儲罐相連；
光刻膠過濾裝置，所述光刻膠過濾裝置具有回收液入口、過濾后液出口和光刻膠出口，所述回收液入口與所述顯影回收液出口相連，所述顯影液回收罐上的出液口和所述光刻膠出口均與所述顯影液儲罐相連。
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