[發(fā)明專利]成膜用掩模及成膜裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201780025519.7 | 申請日： | 2017-04-24 |
| 公開（公告）號： | CN109072423B | 公開（公告）日： | 2020-07-14 |
| 發(fā)明（設計）人： | 藤井嚴;江藤謙次;阿部洋一;神保洋介 | 申請（專利權）人： | 株式會社愛發(fā)科 |
| 主分類號： | C23C16/04 | 分類號： | C23C16/04;C23C14/04;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 袁波;劉繼富 |
| 地址： | 日本神*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 成膜用掩模 裝置 | ||
1.一種成膜用掩模，具有：一對第一板部和一對第二板部，
所述成膜用掩模被配置在成膜時能夠加熱地支承基板的載置臺的周圍，并覆蓋所述基板的周緣部而隔離于成膜源，
所述一對第一板部具有：一對第一內(nèi)周緣部，其分別具有在第一軸向上相向并朝向相互分離的方向呈凸形狀的第一彎曲部；一對第一外周緣部，其分別與所述一對第一內(nèi)周緣部在所述第一軸向上相向；
所述一對第二板部具有：一對第二內(nèi)周緣部，其分別具有在第二軸向上相向并朝向相互分離的方向呈凸形狀的第二彎曲部；一對第二外周緣部，其分別與所述一對第二內(nèi)周緣部在所述第二軸向上相向，
在所述一對第一板部和所述一對第二板部中，通過成膜時來自所述載置臺的輸入熱量，所述第一彎曲部和所述第二彎曲部以成為直線形狀的方式變形。
2.根據(jù)權利要求1所述的成膜用掩模，其中，
所述一對第一板部還具有多個第一缺口部，所述多個第一缺口部分別設置于所述一對第一外周緣部，在與所述第一軸向正交的第二軸向上隔開間隔地配置；
所述一對第二板部還具有多個第二缺口部，所述多個第二缺口部分別設置于所述一對第二外周緣部，在所述第一軸向上隔開間隔地配置。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的成膜用掩模，其中，
所述一對第一板部和所述一對第二板部分別由單獨的板構(gòu)件構(gòu)成。
4.根據(jù)權利要求3所述成膜用掩模，其中，
所述一對第一板部的兩端部與所述一對第二板部的兩端部重合。
5.根據(jù)權利要求1或2所述的成膜用掩模，其中，
所述一對第一板部和所述一對第二板部由陶瓷材料構(gòu)成。
6.一種成膜裝置，具有：
真空腔；
載置臺，其配置在所述真空腔的內(nèi)部，以能夠?qū)暹M行加熱的方式支承所述基板；
成膜源，其以與所述載置臺相向的方式配置；
掩模，其配置在所述載置臺的周圍，覆蓋所述基板的周緣部而隔離于所述成膜源，
所述掩模具有：一對第一板部和一對第二板部，
所述一對第一板部具有：一對第一內(nèi)周緣部，其分別具有在第一軸向上相向并朝向相互分離的方向呈凸形狀的第一彎曲部；一對第一外周緣部，其分別與所述一對第一內(nèi)周緣部在所述第一軸向上相向；
所述一對第二板部具有：一對第二內(nèi)周緣部，其分別具有在第二軸向上相向并朝向相互分離的方向呈凸形狀的第二彎曲部；一對第二外周緣部，其分別與所述一對第二內(nèi)周緣部在所述第二軸向上相向，
在所述一對第一板部和所述一對第二板部中，通過成膜時來自所述載置臺的輸入熱量，所述第一彎曲部和所述第二彎曲部以成為直線形狀的方式變形。
7.根據(jù)權利要求6所述的成膜裝置，其中，
所述一對第一板部還具有多個第一缺口部，所述多個第一缺口部分別設置在所述一對第一外周緣部，在與所述第一軸向正交的第二軸向上隔開間隔地配置；
所述一對第二板部還具有多個第二缺口部，所述多個第二缺口部分別設置在所述一對第二外周緣部，在所述第一軸向上隔開間隔地配置。
8.根據(jù)權利要求6或7所述的成膜裝置，其中，
還具有能夠支承所述掩模的掩模支承構(gòu)件；
所述掩模支承構(gòu)件設置在所述載置臺的周圍，具有容許與所述第一軸向以及第二軸向平行的面內(nèi)的所述掩模的熱伸長的支承部。
9.根據(jù)權利要求8所述的成膜裝置，其中，
所述一對第一板部分別具有第一主貫穿孔和一對第一輔助貫穿孔，所述第一主貫穿孔具有與所述第一軸向平行的長軸，所述一對第一輔助貫穿孔具有與所述第二軸向平行的長軸，夾著所述第一主貫穿孔在所述第二軸向上相互相向；
所述支承部包含多個第一定位銷，所述第一定位銷分別穿過所述第一主貫穿孔以及所述一對第一輔助貫穿孔，能夠相對于所述一對第一板部相對移動。
10.根據(jù)權利要求8所述的成膜裝置，其中，
所述一對第二板部分別具有第二主貫穿孔和一對第二輔助貫穿孔，所述第二主貫穿孔具有與所述第二軸向平行的長軸，所述一對第二輔助貫穿孔具有與所述第一軸向平行的長軸，夾著所述第二主貫穿孔在所述第一軸向上相互相向；
所述支承部包含多個第二定位銷，所述第二定位銷分別穿過所述第二主貫穿孔以及所述一對第二輔助貫穿孔，能夠相對于所述一對第二板部相對移動。
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C23C 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面擴散法，化學轉(zhuǎn)化或置換法的金屬材料表面處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態(tài)化合物分解且表面材料的反應產(chǎn)物不留存于鍍層中的化學鍍覆，例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上，例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
