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[發明專利]一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構在審

專利信息
申請號: 201711201072.2 申請日: 2017-11-27
公開(公告)號: CN109839682A 公開(公告)日: 2019-06-04
發明(設計)人: 韓崇利 申請(專利權)人: 成都中源紅科技有限公司
主分類號: G02B1/14 分類號: G02B1/14;G02B1/115
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 610100 四川省成都市*** 國省代碼: 四川;51
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 保護膜 硫化鋅 保護層 紅外光學窗口 類金剛石膜層 硫化鋅膜層 硒化鋅膜層 膜系結構 粘接層 多層減反射膜 硫化鋅材料 強度保護層 薄膜材料 窗口表面 反射損失 高速運動 基底結合 極端環境 膜層沉積 牢固度 吹塵 多層 膜系 制備 抵抗 應用
【說明書】:

發明涉及一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2?5層,其厚度為20?30nm;所述硒化鋅膜層有1?3層,其厚度為10?20nm;所述硫化鋅膜層有5?8層,其厚度為30?50nm;本發明通過高強度保護層技術,解決硫化鋅窗口的軟肋問題,提高了窗口抵抗雨蝕、吹塵等極端環境的能力,擴大硫化鋅窗口在高速運動平臺上的應用范圍;采用多層粘接層技術,提高了保護層與基底結合的牢固度,使粘接層與保護層構成多層減反射膜系結構,有效降低了由于保護層引起的窗口表面的反射損失。

技術領域

本發明涉及光學薄膜技術領域,具體涉及一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構。

背景技術

現有的紅外光學窗口保護膜由于膜系最外層采用了SiO2材料,雖然在一定程度上提高了硫化鋅基底的強度,但由于SiO2材料本身硬度的局限,保護膜不能具備承受高速砂塵沖擊的能力,所以膜層并不適用于高速運動平臺的光學窗口,因為高速運動平臺的光電系統處于惡劣工作環境中,對膜層的牢固度、強度、環境適應性要求很高,申請人對上述膜層以及目前公開的普通膜層按照國軍標進行試驗,均無法滿足要求。

發明內容

本發明提供如下技術方案:一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,包括:基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2-5層,其厚度為20-30nm;所述硒化鋅膜層有1-3層,其厚度為10-20nm;所述硫化鋅膜層有5-8層,其厚度為30-50nm。

進一步,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2層,其厚度為20nm;所述硒化鋅膜層有1層,其厚度為10nm;所述硫化鋅膜層有5層,其厚度為30nm。

進一步,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有3層,其厚度為23nm;所述硒化鋅膜層有2層,其厚度為15nm;所述硫化鋅膜層有6層,其厚度為35nm。

進一步,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有5層,其厚度為30nm;所述硒化鋅膜層有3層,其厚度為20nm;所述硫化鋅膜層有8層,其厚度為50nm。

本發明的有益效果是:本發明通過高強度保護層技術,解決硫化鋅窗口的軟肋問題,提高了窗口抵抗雨蝕、吹塵等極端環境的能力,擴大硫化鋅窗口在高速運動平臺上的應用范圍;采用多層粘接層技術,提高了保護層與基底結合的牢固度,使粘接層與保護層構成多層減反射膜系結構,有效降低了由于保護層引起的窗口表面的反射損失。

附圖說明

圖1為本發明實施例1的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構示意圖;

圖2為本發明實施例2的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構示意圖;

圖3為本發明實施例3的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構示意圖。

其中,1、基片;2、硫化鋅膜層;3、硒化鋅膜層;4、類金剛石膜層。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明的具體實施方式做詳細地描述:

實施例1:

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