[發明專利]一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構在審
| 申請號: | 201711201072.2 | 申請日: | 2017-11-27 |
| 公開(公告)號: | CN109839682A | 公開(公告)日: | 2019-06-04 |
| 發明(設計)人: | 韓崇利 | 申請(專利權)人: | 成都中源紅科技有限公司 |
| 主分類號: | G02B1/14 | 分類號: | G02B1/14;G02B1/115 |
| 代理公司: | 暫無信息 | 代理人: | 暫無信息 |
| 地址: | 610100 四川省成都市*** | 國省代碼: | 四川;51 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 保護膜 硫化鋅 保護層 紅外光學窗口 類金剛石膜層 硫化鋅膜層 硒化鋅膜層 膜系結構 粘接層 多層減反射膜 硫化鋅材料 強度保護層 薄膜材料 窗口表面 反射損失 高速運動 基底結合 極端環境 膜層沉積 牢固度 吹塵 多層 膜系 制備 抵抗 應用 | ||
本發明涉及一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2?5層,其厚度為20?30nm;所述硒化鋅膜層有1?3層,其厚度為10?20nm;所述硫化鋅膜層有5?8層,其厚度為30?50nm;本發明通過高強度保護層技術,解決硫化鋅窗口的軟肋問題,提高了窗口抵抗雨蝕、吹塵等極端環境的能力,擴大硫化鋅窗口在高速運動平臺上的應用范圍;采用多層粘接層技術,提高了保護層與基底結合的牢固度,使粘接層與保護層構成多層減反射膜系結構,有效降低了由于保護層引起的窗口表面的反射損失。
技術領域
本發明涉及光學薄膜技術領域,具體涉及一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構。
背景技術
現有的紅外光學窗口保護膜由于膜系最外層采用了SiO2材料,雖然在一定程度上提高了硫化鋅基底的強度,但由于SiO2材料本身硬度的局限,保護膜不能具備承受高速砂塵沖擊的能力,所以膜層并不適用于高速運動平臺的光學窗口,因為高速運動平臺的光電系統處于惡劣工作環境中,對膜層的牢固度、強度、環境適應性要求很高,申請人對上述膜層以及目前公開的普通膜層按照國軍標進行試驗,均無法滿足要求。
發明內容
本發明提供如下技術方案:一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構,包括:基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2-5層,其厚度為20-30nm;所述硒化鋅膜層有1-3層,其厚度為10-20nm;所述硫化鋅膜層有5-8層,其厚度為30-50nm。
進一步,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有2層,其厚度為20nm;所述硒化鋅膜層有1層,其厚度為10nm;所述硫化鋅膜層有5層,其厚度為30nm。
進一步,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有3層,其厚度為23nm;所述硒化鋅膜層有2層,其厚度為15nm;所述硫化鋅膜層有6層,其厚度為35nm。
進一步,包括基片和高強度保護膜系;所述基片由硫化鋅材料制成;所述高強度保護膜系由三種薄膜材料制備的膜層沉積而成;所述膜系依次包括:類金剛石膜層、硒化鋅膜層和硫化鋅膜層;所述類金剛石膜層有5層,其厚度為30nm;所述硒化鋅膜層有3層,其厚度為20nm;所述硫化鋅膜層有8層,其厚度為50nm。
本發明的有益效果是:本發明通過高強度保護層技術,解決硫化鋅窗口的軟肋問題,提高了窗口抵抗雨蝕、吹塵等極端環境的能力,擴大硫化鋅窗口在高速運動平臺上的應用范圍;采用多層粘接層技術,提高了保護層與基底結合的牢固度,使粘接層與保護層構成多層減反射膜系結構,有效降低了由于保護層引起的窗口表面的反射損失。
附圖說明
圖1為本發明實施例1的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構示意圖;
圖2為本發明實施例2的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構示意圖;
圖3為本發明實施例3的一種硫化鋅紅外光學窗口保護膜的膜系結構示意圖。
其中,1、基片;2、硫化鋅膜層;3、硒化鋅膜層;4、類金剛石膜層。
具體實施方式
下面結合附圖對本發明的具體實施方式做詳細地描述:
實施例1:
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于成都中源紅科技有限公司,未經成都中源紅科技有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.17sss.com.cn/pat/books/201711201072.2/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:一種熔融石英窗口片
- 下一篇:一種無衍射貝塞爾光束非球面透鏡





